دستگاه لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ سه هدفه برای پوشش‌دهی زیرلایه‌ها و ویفرها
۱. سیستم آماده‌سازی باتری لایه نازک با جعبه داشبورد مجهز به سه تفنگ هدف‌گیری است و یک منبع تغذیه آر اف منطبق می‌تواند از طریق یک سوئیچ تبدیل به هر هد هدف‌گیری متصل شود که برای پوشش‌دهی اسپاترینگ مواد هدف‌گیری مختلف استفاده می‌شود (تفنگ هدف‌گیری را می‌توان در هر زمانی با توجه به نیاز مشتری تعویض کرد).
۲. سیستم آماده‌سازی باتری لایه نازک با جعبه داشبورد می‌تواند انواع لایه‌های نازک را آماده کند و کاربرد گسترده‌ای دارد.
۳. سیستم آماده‌سازی باتری لایه نازک با جعبه داشبورد، اندازه کوچکی دارد و کار با آن بسیار آسان است.
- Shenyang Kejing
- شنیانگ، چین
- ۱۰ روز کاری
- ۵۰ مجموعه
- اطلاعات
معرفی دستگاه لایه نشانی پلاسما اسپاترینگ فشرده:
سیستم آماده‌سازی باتری لایه نازک وی جی بی-600-3HD با جعبه داشبورد می‌تواند برای عملیات آزمایشی در جعبه داشبورد مورد استفاده قرار گیرد و برای آماده‌سازی لایه‌های نازک فروالکتریک تک لایه یا چند لایه، لایه‌های نازک رسانا، لایه‌های نازک آلیاژی، لایه‌های نازک نیمه‌هادی، لایه‌های نازک سرامیکی، لایه‌های نازک دی‌الکتریک، لایه‌های نازک نوری، لایه‌های نازک اکسیدی، لایه‌های نازک سخت، لایه‌های نازک پلی تترافلوئورواتیلن و غیره استفاده می‌شود. دستگاه لایه‌نشانی پاشش پلاسمای فشرده مجهز به سه تفنگ هدف است و یک منبع تغذیه آر اف منطبق می‌تواند از طریق یک سوئیچ تبدیل به هر هد هدف متصل شود که برای لایه‌نشانی پاشش مواد هدف مختلف استفاده می‌شود. در مقایسه با تجهیزات مشابه، دستگاه لایه‌نشانی پاشش پلاسمای فشرده نه تنها به طور گسترده مورد استفاده قرار می‌گیرد، بلکه از مزایای اندازه کوچک و کارکرد آسان نیز برخوردار است. این یک وسیله ایده‌آل برای آماده‌سازی آزمایشگاهی لایه‌های مواد است. دستگاه لایه‌نشانی پاشش پلاسمای فشرده به ویژه برای تحقیقات آزمایشگاهی روی باتری‌های لایه نازک، الکترولیت‌های جامد و OLEDها مناسب است. در مقایسه با پاشش مگنترون معمولی، می‌توان از آن برای آزمایش‌های پوشش‌دهی روی اهداف لیتیوم و اهداف مواد مبتنی بر لیتیوم استفاده کرد. این یک تجهیزات ایده‌آل برای آزمایش‌های پوشش آزمایشگاهی در صنعت انرژی جدید است.
مزایای دستگاه لایه نشانی مگنترون آر اف سه هدفه:
۱. مجهز به سه هدف پاشش، یک منبع تغذیه آر اف می‌تواند از طریق یک سوئیچ انتقال به هر هد هدفی سوئیچ شود و امکان رسوب‌گذاری پاششی مواد هدف مختلف را فراهم کند (تفنگ‌های هدف را می‌توان مطابق با نیاز کاربر تعویض کرد).
۲. قادر به تهیه انواع مختلف لایه‌های نازک، با طیف کاربردی وسیع.
3. اندازه جمع و جور و عملکرد آسان.
۴. کل سیستم از طراحی ماژولار بهره می‌برد - محفظه خلاء، واحد پمپاژ خلاء و منبع تغذیه کنترل به طور مستقل از هم جدا هستند و امکان پیکربندی انعطاف‌پذیر را مطابق با نیاز کاربر فراهم می‌کنند.
۵. کاربران می‌توانند پیکربندی منبع تغذیه را بر اساس نیازهای واقعی انتخاب کنند - یا یک منبع تغذیه که چندین هدف را کنترل می‌کند یا چندین منبع تغذیه که به طور مستقل هر هدف را کنترل می‌کنند (اختیاری).
۶. این سیستم می‌تواند درون یک محفظه مخصوص برای رسوب‌گذاری با استفاده از مواد هدف مختلف حساس به اکسیداسیون، مورد استفاده قرار گیرد.
پارامترهای فنی دستگاه پوشش‌دهی پاششی پلاسمای فشرده:
| نام محصول | دستگاه لایه نشانی پلاسما اسپاترینگ فشرده وی جی بی-600-3HD |
| مدل محصول | وی جی بی-600-3HD |
| پارامترهای اصلی | بخش کندوپاش مگنترون سه هدفه: ۱. ولتاژ منبع تغذیه: ۲۲۰ ولت ۵۰ هرتز. ۲. توان کل: ۲.۵ کیلووات. ۳. خلاء نهایی: ۴. دمای کار: آر تی-500℃، دقت ±۱℃ (دما را می‌توان با توجه به نیازهای واقعی افزایش داد). ۵. تعداد تفنگ‌های هدف‌گیری: ۳. ۶. روش خنک‌سازی تفنگ هدف‌گیری: خنک‌سازی با آب. ۷. اندازه هدف: Ø۲ اینچ، ضخامت ۰.۱ میلی‌متر تا ۵ میلی‌متر (ضخامت به دلیل جنس متفاوت هدف متفاوت است). ۸. توان پاشش: ۳۰۰ وات (آر اف) / ۵۰۰ وات (دی سی). ۹. حامل نمونه: Ø۱۴۰ میلی‌متر. ۱۰. سرعت حامل نمونه: قابل تنظیم در ۱rpm-۲۰rpm. ۱۱. گاز محافظ: گاز بی‌اثر مانند آرگون و نیتروژن2. ۱۲. مسیر گاز ورودی: کنتور جرمی ۲ مسیر ورودی را کنترل می‌کند، یکی جریان ۱۰۰ SCCM و دیگری جریان ۲۰۰ SCCM. |
جیبخش جعبه عشق: ۱. منبع تغذیه: تک فاز AC110V-220V 50Hz/60Hz. 2. جنس پوسته: فولاد ضد زنگ 304. ۳. محفظه داشبورد: ۱۲۲۰ میلی‌متر × ۷۶۰ میلی‌متر × ۹۰۰ میلی‌متر. ۴. محفظه پیش‌مرحله: ۲ محفظه پیش‌مرحله وجود دارد، محفظه بزرگ پیش‌مرحله دارای ابعاد Ø۳۶۰ میلی‌متر × ۶۰۰ میلی‌متر و محفظه کوچک پیش‌مرحله دارای ابعاد Ø۱۵۰ میلی‌متر × ۳۰۰ میلی‌متر است. ۵. محیط محفظه: محتوای آب <1ppm (20℃، 1atm)، محتوای اکسیژن <1ppm (20℃، 1atm). ۶. گاز کاری: گاز بی‌اثر مانند N22، آر، او. ۷. گاز کنترل: هوای فشرده یا گاز بی‌اثر. ۸. گاز احیا: مخلوطی از گاز عامل و H22(اگر سیستم تصفیه فقط وظیفه حذف آب را داشته باشد، گاز احیا همان گاز عامل است). ۹. سیستم تصفیه گاز: مواد دی‌اکسیدکننده شرکت باسف آلمانی، مواد جاذب آب یو او پی آمریکایی، کنترل خودکار فرآیند بازسازی سیستم تصفیه، عملکردهای آب‌زدایی و دی‌اکسیداسیون خودکار، که می‌تواند خلوص گاز را در آب <1ppm و اکسیژن <1ppm برای مدت طولانی حفظ کند. ۱۰. سیستم کنترل فشار: فشار هوای حفره را می‌توان به طور خودکار توسط صفحه لمسی پی ال سی با دقت کنترل ±۱Pa کنترل کرد و همچنین می‌توان آن را به صورت دستی توسط سوئیچ پایی کنترل کرد. ۱۱. سیستم فیلتر: فیلترها در انتهای ورودی و خروجی نصب شده‌اند و دقت فیلتراسیون آنها ۰.۳ میکرومتر است. ۱۲. سیستم کنترل: صفحه نمایش لمسی رنگی زیمنس (6 اینچ)، سیستم کنترل پی ال سی، قابلیت تعویض زبان چینی و انگلیسی به دو زبان؛ پراب آب از برند آمریکایی جنرال الکتریک، صفحه نمایش لمسی 0-1000ppm، دقت 0.1ppm استفاده می‌کند. فرستنده اکسیژن از برند آمریکایی ای آی آی، صفحه نمایش لمسی 0-1000ppm، دقت 0.1ppm استفاده می‌کند. سنسور فشار از برند آمریکایی سترا، صفحه نمایش لمسی با رنج -2500-2500Pa، دقت ±1Pa استفاده می‌کند. ۱۳. پمپ خلاء: برند ادواردز بریتانیا، سرعت پمپاژ ۸.۴ متر3/ساعت-۱۲ متر3/ساعت. ۱۴. دستکش: لاستیک مصنوعی بوتیل با نام تجاری شمال آمریکا. ۱۵. سیستم روشنایی: لامپ فلورسنت برند فیلیپس. | |
| مشخصات محصول | · بخش اسپاترینگ مگنترون سه هدفه: 950mm×460mm×810mm. · بخش جعبه داشبورد: ۲۳۰۰ میلی‌متر × ۱۵۰۰ میلی‌متر × ۱۹۰۰ میلی‌متر. |
تعهد کیفیت سه هدف پوشش‌دهی با روش کندوپاش مگنترون آر اف:
شرکت ما تضمین می‌کند که دستگاه لایه‌نشانی پلاسمایی فشرده ارائه شده نو و استفاده نشده است، کاملاً مطابق با کیفیت، مشخصات و الزامات عملکردی مندرج در قرارداد است و سیستم آماده‌سازی باتری لایه نازک ما با جعبه داشبورد می‌تواند تحت شرایط نصب، استفاده و نگهداری صحیح و در طول عمر مفید، به طور عادی کار کند.
گارانتی:
یک سال گارانتی محدود، پشتیبانی مادام العمر (به استثنای قطعاتی که به دلیل شرایط نامناسب نگهداری زنگ زده‌اند)
خدمات ما:
محصولات ما به دلیل عملکرد عالی، کیفیت پایدار و دوام طولانی مدت توسط بسیاری از مشتریان شناخته شده است. ما یک تیم فنی حرفه ای داریم که می تواند طیف کاملی از خدمات پشتیبانی مانند انتخاب محصول، نصب و راه اندازی و آموزش بهره برداری را به مشتریان ارائه دهد. مهم نیست که در طول استفاده با چه مشکلاتی روبرو شوید، ما تلاش خواهیم کرد تا راه حل های به موقع و موثری را برای شما ارائه دهیم تا خط تولید شما به طور کارآمد و پایدار کار کند.
درباره ما:
چندی پیش، منطقه ما در سنگاپور در نمایشگاه فوتونیک آسیا (میمون 2025) شرکت کرد، جایی که ما ماشین‌های سنگ‌زنی و صیقل‌کاری، ماشین‌های پوشش‌دهی و سایر محصولات خود را به نمایش گذاشتیم. بسیاری از مشتریان پس از آشنایی دقیق با محصولات، تجهیزات ما را ستودند و تمایل خود را برای همکاری با ما ابراز کردند.
