روکش پلاسما با خلاء بالا مگنترون تک سر

نمونه محصول

VTC -600-1HD

شرایط نصب

این تجهیزات باید در ارتفاع 1000 متر یا کمتر، دمای 25 ± 15 درجه سانتیگراد و رطوبت 55٪ Rh ± 10٪ Rh استفاده شود.

1. آب: تجهیزات مجهز به یک کولر آبی خودگردان (پر کردن با آب خالص یا آب دیونیزه) است.

2. الکتریسیته: AC220V 50Hz، باید زمین خوبی داشته باشد

3. گاز: محفظه تجهیزات باید با گاز آرگون (خلوص 99.99٪ یا بیشتر) پر شود و سیلندرهای گاز آرگون (با اتصالات دو فرول Ø6 میلی متر) و شیر کاهش فشار باید توسط کاربران ارائه شود.

4. میز کار: اندازه 1500mm×600mm×700mm، تحمل وزن بیش از 200 کیلوگرم

5. دستگاه تهویه: مورد نیاز

پارامترهای اصلی

(مشخصات)

1. ولتاژ منبع تغذیه: 220 ولت 50 هرتز

2. قدرت: &آن ;1 کیلو وات (بدون احتساب پمپ خلاء)

3. قطر داخلی محفظه:  ;Ø300 میلی متر

4. حد درجه خلاء: 9.0×10-4Pa

5. دمای گرمایش مرحله نمونه: RT -500 ℃، دقت ± 1 ℃ (دما را می توان با توجه به نیازهای واقعی افزایش داد.)

6. تعداد اسلحه هدف: 1 عدد (مقادیر دیگر برای گزینه)

7. روش خنک کننده تفنگ هدف: خنک کننده با آب

8. اندازه مواد هدف: Ø2 اینچ، ضخامت 0.1-5 میلی متر (ضخامت های مختلف به دلیل مواد هدف مختلف)

9. قدرت کندوپاش دی سی : 500W; قدرت کندوپاش RF : 300 وات (نوع منبع تغذیه هدف اختیاری است: یک منبع تغذیه دی سی یا یک منبع تغذیه RF .)

10. مرحله نمونه: Ø140mm، تابع ولتاژ بایاس اختیاری را می توان با توجه به نیاز مشتری برای دستیابی به کیفیت بالاتر پوشش نصب کرد.

11. سرعت مرحله نمونه: قابل تنظیم در 1rpm-20rpm

12. گاز کار: آر و سایر گازهای بی اثر

13. مسیر هوای ورودی: دبی سنج جرمی 2 مسیر ورودی هوا را کنترل می کند، یکی 100SCCM و دیگری 200SCCM.

ابعاد و وزن محصول

1. ابعاد دستگاه اصلی: 500mm×560mm×660mm

2. ابعاد کلی: 1300mm×660mm×1200mm

3. وزن: 160 کیلوگرم

4. ابعاد محفظه خلاء: φ300×300 میلی متر

لوازم جانبی استاندارد

1. سیستم کنترل برق دی سی : 1 مجموعه (اختیاری)

2. سیستم کنترل قدرت RF : 1 مجموعه (اختیاری)

3. کولر آبی: 1 عدد

4. لوله پلی استر PU (Ø6mm): 4m

لوازم جانبی اختیاری

1. مواد هدف مختلف مانند طلا، ایندیم، نقره، پلاتین و غیره.

2. سیستم نظارت بر ضخامت فیلم

3. پمپ مولکولی (وارداتی از آلمان)