روکش کندوپاش پلاسما با خلاء بالا مگنترون تک سر
نام تجاری Shenyang Kejing
منبع محصول شن یانگ، چین
زمان تحویل 22 روز کاری
ظرفیت عرضه 50 ست
روکش مگنترون تک سر VTC-600-1HD یک تجهیزات پوشش با خلاء بالا است که به تازگی توسط شرکت ما ساخته شده است و برای تهیه فیلم فروالکتریک تک لایه یا چند لایه، فیلم رسانا، فیلم آلیاژی، فیلم نیمه هادی، فیلم های سرامیکی استفاده می شود. فیلم دی الکتریک، فیلم نوری، فیلم اکسید، فیلم سخت، فیلم PTFE و غیره.
پوشش کندوپاش مگنترون تک سر VTC-600-1HD مجهز به یک تفنگ هدف است که یک هدف مغناطیسی قوی یا یک هدف مغناطیسی ضعیف را انتخاب می کند.
ویژگی های اصلی
1. مجهز به یک تفنگ هدف، انتخاب یک منبع تغذیه RF برای پوشش کندوپاش مواد غیر رسانا یا یک منبع تغذیه دی سی برای پوشش پاشش مواد رسانا استفاده می شود.
2. انواع لایه های نازک را می توان با طیف وسیعی از کاربردها تهیه کرد.
3. اندازه کوچک و آسان برای کار
تیپارامترهای فنی
نام محصول | روکش کندوپاش مگنترونی تک سر VTC-600-1HD |
نمونه محصول | VTC-600-1HD |
شرایط نصب | این تجهیزات باید در ارتفاع 1000 متر یا کمتر، دمای 25 ± 15 درجه سانتیگراد و رطوبت 55٪ Rh ± 10٪ Rh استفاده شود. 1. آب: تجهیزات مجهز به یک آب سرد کن خود گردشی (پر کردن با آب خالص یا آب دیونیزه) است. 2. الکتریسیته: AC220V 50Hz، باید زمین خوبی داشته باشد 3. گاز: محفظه تجهیزات باید با گاز آرگون (خلوص 99.99٪ یا بیشتر) پر شود و سیلندرهای گاز آرگون (با اتصالات دو فرول Ø6 میلی متر) و شیر کاهش فشار باید توسط کاربران ارائه شود. 4. میز کار: اندازه 1500mm×600mm×700mm، تحمل وزن بیش از 200 کیلوگرم 5. دستگاه تهویه: مورد نیاز |
پارامترهای اصلی (مشخصات) | 1. ولتاژ منبع تغذیه: 220 ولت 50 هرتز 2. قدرت: &آن;1 کیلو وات (بدون احتساب پمپ خلاء) 3. قطر داخلی محفظه: Ø300 میلی متر 4. حد درجه خلاء: 9.0×10-4Pa 5. دمای گرمایش مرحله نمونه: RT-500 ℃، دقت ± 1 ℃ (دما را می توان با توجه به نیازهای واقعی افزایش داد.) 6. تعداد اسلحه هدف: 1 عدد (مقادیر دیگر برای گزینه) 7. روش خنک کننده تفنگ هدف: خنک کننده با آب 8. اندازه مواد هدف: Ø2 اینچ، ضخامت 0.1-5 میلی متر (ضخامت های مختلف به دلیل مواد هدف مختلف) 9. قدرت کندوپاش دی سی: 500W; قدرت کندوپاش RF: 300 وات (نوع منبع تغذیه هدف اختیاری است: یک منبع تغذیه دی سی یا یک منبع تغذیه RF.) 10. مرحله نمونه: Ø140mm، تابع ولتاژ بایاس اختیاری را می توان با توجه به نیاز مشتری برای دستیابی به کیفیت بالاتر پوشش نصب کرد. 11. سرعت مرحله نمونه: قابل تنظیم در 1rpm-20rpm 12. گاز کار: آر و سایر گازهای بی اثر 13. مسیر هوای ورودی: دبی سنج جرمی 2 مسیر ورودی هوا را کنترل می کند، یکی 100SCCM و دیگری 200SCCM. |
ابعاد و وزن محصول | 1. ابعاد دستگاه اصلی: 500mm×560mm×660mm 2. ابعاد کلی: 1300mm×660mm×1200mm 3. وزن: 160 کیلوگرم 4. ابعاد محفظه خلاء: φ300×300 میلی متر |
لوازم جانبی استاندارد | 1. سیستم کنترل برق دی سی: 1 مجموعه (اختیاری) 2. سیستم کنترل قدرت RF: 1 مجموعه (اختیاری) 3. کولر آبی: 1 عدد 4. لوله پلی استر PU (Ø6mm): 4m |
لوازم جانبی اختیاری | 1. مواد هدف مختلف مانند طلا، ایندیم، نقره، پلاتین و غیره. 2. سیستم نظارت بر ضخامت فیلم 3. پمپ مولکولی (وارداتی از آلمان) |
ازرانتی
یک سال محدود با پشتیبانی مادام العمر (بدون احتساب قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری)
لجستیک