دستگاه لایه نشانی پلاسمایی مگنترون با خلاء بالا تک سر

مدل محصول

وی تی سی-600-1HD

شرایط نصب

این تجهیزات باید در ارتفاع ۱۰۰۰ متر یا کمتر، دمای ۲۵ درجه سانتیگراد ± ۱۵ درجه سانتیگراد و رطوبت ۵۵٪ ± ۱۰٪ ± رطوبت نسبی (ر) استفاده شوند.

۱. آب: این دستگاه مجهز به یک خنک‌کننده آب خودگردش (پرکننده با آب خالص یا آب دیونیزه) است.

۲. برق: AC220V 50Hz، باید اتصال زمین خوبی داشته باشد

۳. گاز: محفظه تجهیزات باید با گاز آرگون (با خلوص ۹۹.۹۹٪ یا بیشتر) پر شود، و سیلندرهای گاز آرگون (با اتصالات دو حلقه‌ای Ø۶ میلی‌متری) و شیر کاهنده فشار باید توسط کاربران تهیه شوند.

۴. میز کار: ابعاد ۱۵۰۰ میلی‌متر × ۶۰۰ میلی‌متر × ۷۰۰ میلی‌متر، تحمل وزن بیش از ۲۰۰ کیلوگرم

۵. دستگاه تهویه: مورد نیاز

پارامترهای اصلی

(مشخصات)

۱. ولتاژ منبع تغذیه: ۲۲۰ ولت ۵۰ هرتز

2. توان: <1KW (شامل پمپ خلاء نمی‌شود)

۳. قطر داخلی محفظه: Ø300 میلی‌متر

۴. حد درجه خلاء: ۹.۰ × ۱۰^-4خب

۵. دمای گرمایش مرحله نمونه: آر تی-500℃، دقت ±۱℃ (دما را می‌توان با توجه به نیازهای واقعی افزایش داد.)

6. تعداد اسلحه‌های هدف: 1 عدد (مقادیر دیگر برای گزینه)

7. روش خنک کننده تفنگ هدف: خنک کننده آب

۸. اندازه ماده هدف: Ø۲ اینچ، ضخامت ۰.۱-۵ میلی‌متر (ضخامت‌های مختلف به دلیل مواد هدف مختلف)

۹. توان پاشش دی سی: ۵۰۰ وات؛ توان پاشش آر اف: ۳۰۰ وات (نوع منبع تغذیه مورد نظر اختیاری است: یک منبع تغذیه دی سی یا یک منبع تغذیه آر اف.)

۱۰. جایگاه نمونه: Ø۱۴۰ میلی‌متر، تابع ولتاژ بایاس اختیاری می‌تواند مطابق با نیاز مشتری نصب شود تا کیفیت پوشش بالاتری حاصل شود.

11. سرعت مرحله نمونه: قابل تنظیم در 1rpm-20rpm

۱۲. گاز عامل: آرگون و سایر گازهای بی‌اثر

۱۳. مسیر هوای ورودی: کنتور جرمی ۲ مسیر ورودی هوا را کنترل می‌کند، یکی ۱۰۰SCCM و دیگری ۲۰۰SCCM.

1. ابعاد اصلی دستگاه: 500mm × 560mm × 660mm

2. ابعاد کلی: 1300mm × 660mm × 1200mm

۳. وزن: ۱۶۰ کیلوگرم

4. ابعاد محفظه خلاء: φ300 × 300 میلی‌متر