روکش پلاسما با 3 منبع کندوپاش و جعبه دستکش
نام تجاری Shenyang Kejing
منبع محصول شن یانگ، چین
زمان تحویل 44 روز کاری
ظرفیت عرضه 50 ست
سیستم آماده سازی باتری لایه نازک VGB-600-3HD می تواند عملیات آزمایشی را در جعبه دستکش انجام دهد و برای تهیه فیلم فروالکتریک تک لایه یا چند لایه، فیلم رسانا، فیلم آلیاژی، فیلم نیمه هادی، فیلم های سرامیکی، فیلم دی الکتریک، استفاده می شود. فیلم نوری، فیلم اکسید، فیلم سخت، فیلم PTFE و غیره. این سیستم مجهز به سه تفنگ هدف و یک منبع تغذیه RF برای پوشش پراکنده مواد هدف مختلف است. منبع تغذیه RF را می توان با یک سوئیچ انتقال به هر سر هدف متصل کرد.
ویژگی های اصلی
1. این سیستم مجهز به سه تفنگ هدف و یک منبع تغذیه RF برای پوشش کندوپاش مواد مختلف هدف است. منبع تغذیه RF را می توان با یک سوئیچ انتقال به هر سر هدف متصل کرد. (تفنگ هدف را می توان با توجه به نیاز مشتری تعویض کرد).
2. انواع لایه های نازک را می توان با طیف وسیعی از کاربردها تهیه کرد.
3. اندازه کوچک و آسان برای کار
4. طراحی مدولار کل دستگاه. طراحی جداگانه/تقسیم شده محفظه خلاء، گروه پمپ خلاء و منبع تغذیه کنترلی که می تواند با توجه به نیاز واقعی کاربران تنظیم شود. (اختیاری)
5. منبع تغذیه را می توان با توجه به نیاز واقعی کاربر انتخاب کرد. یک منبع تغذیه می تواند چندین تفنگ هدف را کنترل کند یا چندین منبع تغذیه می تواند یک تفنگ هدف را کنترل کند.
6. عملیات آزمایشی را می توان در جعبه دستکش انجام داد و انواع مختلفی از اهداف به راحتی اکسید شده را می توان برای آزمایش های پوشش جایگزین کرد.
تیپارامترهای فنی
نام محصول | سیستم آماده سازی باتری لایه نازک VGB-600-3HD |
نمونه محصول | VGB-600-3HD |
پارامترهای اصلی (مشخصات) | بخش کندوپاش مگنترون سه سر: 1. ولتاژ منبع تغذیه: 220 ولت 50 هرتز 2. توان کل: 2.5 کیلو وات 3. حد درجه خلاء: E-6mbar (در صورت استفاده با تجهیزات پمپ مکانیکی شرکت ما می توان به E-3mbar رسید) 4. دمای گرمایش: RT-500 ℃، دقت ± 1 ℃ (دما را می توان با توجه به نیازهای واقعی افزایش داد.) 5. تعداد اسلحه هدف: 3 عدد 6. روش خنک کننده تفنگ هدف: خنک کننده با آب 7. اندازه مواد هدف: Ø2 اینچ، ضخامت 0.1-5 میلی متر (ضخامت های مختلف به دلیل مواد هدف مختلف) 8. منبع تغذیه کندوپاش: 300W (RF)/500W (دی سی) 9. مرحله نمونه: Ø140mm 10. سرعت مرحله نمونه: قابل تنظیم در 1rpm تا 20rpm 11. گاز کار: آر, N2و سایر گازهای بی اثر 12. مسیر هوای ورودی: دبی سنج جرمی 2 مسیر ورودی هوا را کنترل می کند، یکی 100SCCM و دیگری 200SCCM. قسمت جعبه دستکش: 1. منبع تغذیه: تک فاز AC110V-220V 50Hz/60Hz 2. مواد پوسته: فولاد ضد زنگ 304 3. محفظه جعبه دستکش: 1220mm×760mm×900mm 4. محفظه جلو: 2 محفظه جلو وجود دارد، محفظه جلویی بزرگ Ø360mm×600mm، و محفظه جلوی کوچک Ø150mm×300mm است. 5. محیط محفظه: محتوای آب &آن;1ppm (20℃، 1atm)، محتوای اکسیژن &آن;1ppm (20℃، 1atm) 6. گاز کار: N2، آر، او و سایر گازهای بی اثر 7. گاز کنترل: هوای فشرده یا گاز بی اثر 8. گاز کاهنده: مخلوطی از گاز در حال کار و H2 (اگر سیستم تصفیه فقط وظیفه حذف آب را داشته باشد، گاز کاهنده همان گاز در حال کار است.) 9. سیستم تصفیه گاز: ماده ضد اکسید کننده BASF آلمان، ماده جاذب آب با راندمان بالا UOP آمریکایی، کنترل خودکار فرآیند بازسازی سیستم تصفیه، عملکردهای حذف خودکار آب و اکسیژن، قادر به حفظ خلوص گاز (در سطح آب &آن;1ppm و اکسیژن &آن;1ppm) ) در دراز مدت 10. سیستم کنترل فشار: فشار هوای محفظه را می توان به طور خودکار توسط صفحه لمسی PLC کنترل کرد، دقت کنترل ± 1Pa است و همچنین می توان آن را به صورت دستی توسط سوئیچ پا کنترل کرد. 11. سیستم فیلتراسیون: فیلترها در انتهای ورودی و خروجی نصب می شوند و دقت فیلتراسیون 0.3μm است. 12. سیستم کنترل: صفحه نمایش لمسی رنگی زیمنس (6 اینچ)، سیستم کنترل PLC، سوئیچ دو زبانه چینی و انگلیسی * کاوشگر آب از برند آمریکایی جنرال الکتریک استفاده می کند، با صفحه نمایش لمسی 0-1000ppm و دقت 0.1ppm. * فرستنده اکسیژن از برند آمریکایی AII استفاده می کند، با صفحه نمایش لمسی 0-1000ppm و دقت 0.1ppm. * سنسور فشار با نام تجاری سترا آمریکایی، با صفحه نمایش لمسی -2500-2500Pa و دقت ±1Pa. 13. پمپ خلاء: برند بریتانیایی ادواردز با سرعت پمپاژ 8.4m3/h-12m3/h 14. دستکش: برند شمال آمریکایی (لاستیک مصنوعی بوتیل) 15. سیستم روشنایی: مارک فیلیپس (لوله فلورسنت) |
ابعاد محصول | بخش کندوپاش مگنترون سه سر: 950mm×460mm×810mm قسمت جعبه دستکش: 2300mm×1500mm×1900mm |
ضمانتنامه
یک سال محدود با پشتیبانی مادام العمر (بدون احتساب قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری)
لجستیک
