روکش پلاسما با 3 منبع کندوپاش و جعبه دستکش

نمونه محصول

VGB -600-3HD

پارامترهای اصلی

(مشخصات)

بخش کندوپاش مگنترون سه سر:

1. ولتاژ منبع تغذیه: 220 ولت 50 هرتز

2. توان کل: 2.5 کیلو وات

3. حد درجه خلاء: E-6mbar (در صورت استفاده با تجهیزات پمپ مکانیکی شرکت ما می توان به E-3mbar رسید)

4. دمای گرمایش: RT -500 ℃، دقت ± 1 ℃ (دما را می توان با توجه به نیازهای واقعی افزایش داد.)

5. تعداد اسلحه هدف: 3 عدد

6. روش خنک کننده تفنگ هدف: خنک کننده آب

7. اندازه مواد هدف: Ø2 اینچ، ضخامت 0.1-5 میلی متر (ضخامت های مختلف به دلیل مواد هدف مختلف)

8. منبع تغذیه کندوپاش: 300W (RF )/500W (دی سی )

9. مرحله نمونه: Ø140mm

10. سرعت مرحله نمونه: قابل تنظیم در 1rpm تا 20rpm

11. گاز کار: آر , N₂و سایر گازهای بی اثر

12. مسیر هوای ورودی: دبی سنج جرمی 2 مسیر ورودی هوا را کنترل می کند، یکی 100SCCM و دیگری 200SCCM.

قسمت جعبه دستکش:

1. منبع تغذیه: تک فاز AC110V-220V 50Hz/60Hz

2. مواد پوسته: فولاد ضد زنگ 304

3. محفظه جعبه دستکش: 1220mm×760mm×900mm

4. محفظه جلو: 2 محفظه جلو وجود دارد، محفظه جلویی بزرگ Ø360mm×600mm، و محفظه جلوی کوچک Ø150mm×300mm است.

5. محیط محفظه: محتوای آب &آن ;1ppm (20℃، 1atm)، محتوای اکسیژن &آن ;1ppm (20℃، 1atm)

6. گاز کار: N₂، آر ، او و سایر گازهای بی اثر

7. گاز کنترل: هوای فشرده یا گاز بی اثر

8. گاز کاهنده: مخلوطی از گاز در حال کار و H₂ (اگر سیستم تصفیه فقط وظیفه حذف آب را داشته باشد، گاز کاهنده همان گاز در حال کار است.)

9. سیستم تصفیه گاز:

مواد ضد اکسید کننده BASF آلمان، مواد جاذب آب با راندمان بالا UOP آمریکایی، کنترل خودکار فرآیند بازسازی سیستم تصفیه، عملکردهای حذف خودکار آب و اکسیژن، قادر به حفظ خلوص گاز (در سطح آب &آن ;1ppm و اکسیژن &آن ;1ppm) ) در بلند مدت

10. سیستم کنترل فشار: فشار هوای محفظه را می توان به طور خودکار توسط صفحه لمسی PLC کنترل کرد، دقت کنترل ± 1Pa است و همچنین می توان آن را به صورت دستی توسط یک سوئیچ پا کنترل کرد.

11. سیستم فیلتراسیون: فیلترها در انتهای ورودی و خروجی نصب می شوند و دقت فیلتراسیون 0.3μm است.

12. سیستم کنترل: صفحه نمایش لمسی رنگی زیمنس (6 اینچ)، سیستم کنترل PLC ، سوئیچ دو زبانه چینی و انگلیسی

  ;   ; * کاوشگر آب از برند آمریکایی جنرال الکتریک استفاده می کند، با صفحه نمایش لمسی 0-1000ppm و دقت 0.1ppm.

  ;   ; * فرستنده اکسیژن از برند آمریکایی AII استفاده می کند، با صفحه نمایش لمسی 0-1000ppm و دقت 0.1ppm.

  ;   ; * سنسور فشار با نام تجاری سترا آمریکایی، با صفحه نمایش لمسی -2500-2500Pa و دقت ±1Pa.

13. پمپ خلاء: برند بریتانیایی ادواردز با سرعت پمپاژ 8.4m3/h-12m³/h

14. دستکش: برند شمال آمریکایی (لاستیک مصنوعی بوتیل)

15. سیستم روشنایی: مارک فیلیپس (لوله فلورسنت)

ابعاد محصول

بخش کندوپاش مگنترون سه سر: 950mm×460mm×810mm

قسمت جعبه دستکش: 2300mm×1500mm×1900mm