دستگاه لایه نشانی پاشش پلاسما با 3 منبع پاشش و جعبه داشبورد
سیستم آماده‌سازی باتری لایه نازک وی جی بی-600-3HD می‌تواند عملیات آزمایشگاهی را در محفظه دستکش انجام دهد و برای آماده‌سازی فیلم فروالکتریک تک لایه یا چند لایه، فیلم رسانا، فیلم آلیاژی، فیلم نیمه‌هادی، فیلم‌های سرامیکی، فیلم دی‌الکتریک، فیلم نوری، فیلم اکسید، فیلم سخت، فیلم PTFE و غیره استفاده می‌شود. این سیستم مجهز به سه تفنگ هدف و یک منبع تغذیه آر اف برای پوشش‌دهی اسپاترینگ مواد هدف مختلف است. منبع تغذیه آر اف را می‌توان توسط یک سوئیچ انتقال به هر هد هدف متصل کرد.
- Shenyang Kejing
- شنیانگ، چین
- ۴۴ روز کاری
- ۵۰ مجموعه
- اطلاعات
معرفی محصول
سیستم رسوب باتری لایه نازک وی جی بی-600-3HDبرای استفاده در داخل محفظه دستکش طراحی شده است و امکان تهیه لایه‌های نازک تک لایه یا چند لایه مانند لایه‌های فروالکتریک، لایه‌های رسانا، لایه‌های آلیاژی، لایه‌های نیمه‌هادی، لایه‌های سرامیکی، لایه‌های دی‌الکتریک، لایه‌های نوری، لایه‌های اکسیدی، پوشش‌های سخت و لایه‌های PTFE را فراهم می‌کند.
این سیستم مجهز بهسه تفنگ پاشش، با یکیمنبع تغذیه آر افکه می‌تواند از طریق یک سوئیچ انتقال به هر یک از سه هدف تغییر یابد و امکان پاشش انعطاف‌پذیر مواد هدف مختلف را فراهم کند.
در مقایسه با تجهیزات مشابه، وی جی بی-600-3HD مزایای زیر را ارائه می‌دهد:تطبیق پذیری کاربرد گسترده تر،ساختار جمع و جور، وعملیات آسان، و آن را به یکابزاری ایده‌آل برای تهیه لایه نازک آزمایشگاهیاین به ویژه برای موارد زیر مناسب است:تحقیق در مورد باتری‌های لایه نازک، الکترولیت‌های حالت جامد و مواد OLED.
برخلاف سیستم‌های کندوپاش مگنترون مرسوم، این مدل از کندوپاش با استفاده ازلیتیوم و مواد هدف مبتنی بر لیتیومو آن را به یک راه حل ترجیحی برای ... تبدیل می‌کند.آزمایش‌های پوشش لایه نازک در آزمایشگاه‌های انرژی‌های نو.
ویژگی‌های اصلی
۱. این سیستم مجهز به سه تفنگ هدف‌گیری و یک منبع تغذیه آر اف برای پوشش‌دهی اسپاترینگ مواد هدف‌گیری مختلف است. منبع تغذیه آر اف را می‌توان توسط یک سوئیچ انتقال به هر هد هدف‌گیری متصل کرد. (تفنگ هدف‌گیری را می‌توان با توجه به نیاز مشتری تعویض کرد).
۲. انواع لایه‌های نازک را می‌توان با طیف وسیعی از کاربردها تهیه کرد.
۳. اندازه کوچک و کارکرد آسان
۴. طراحی ماژولار کل دستگاه؛ طراحی جداگانه/تقسیم‌شده محفظه خلاء، گروه پمپ خلاء و منبع تغذیه کنترل، که می‌تواند با توجه به نیازهای واقعی کاربران تنظیم شود. (اختیاری)
۵. منبع تغذیه را می‌توان با توجه به نیازهای واقعی کاربر انتخاب کرد. یک منبع تغذیه می‌تواند چندین تفنگ هدف‌گیری را کنترل کند، یا چندین منبع تغذیه می‌توانند یک تفنگ هدف‌گیری واحد را کنترل کنند.
۶. عملیات آزمایشی را می‌توان در جعبه داشبورد انجام داد و انواع مختلفی از اهداف که به راحتی اکسید می‌شوند را می‌توان برای آزمایش‌های پوشش‌دهی جایگزین کرد.
تیپارامترهای فنی
نام محصول | سیستم آماده‌سازی باتری لایه نازک وی جی بی-600-3HD |
مدل محصول | وی جی بی-600-3HD |
پارامترهای اصلی (مشخصات) | بخش کندوپاش مگنترون سه سر: ۱. ولتاژ منبع تغذیه: ۲۲۰ ولت ۵۰ هرتز ۲. توان کل: ۲.۵ کیلووات ۳. حد مجاز درجه خلاء: E-6mbar (در صورت استفاده با تجهیزات پمپ مکانیکی شرکت ما، E-3mbar قابل دستیابی است) ۴. دمای گرمایش: آر تی-500℃، دقت ±۱℃ (دما را می‌توان با توجه به نیازهای واقعی افزایش داد.) ۵. تعداد تفنگ‌های هدف‌گیری: ۳ عدد 6. روش خنک کننده تفنگ هدف: خنک کننده آب ۷. اندازه ماده هدف: Ø۲ اینچ، ضخامت ۰.۱-۵ میلی‌متر (ضخامت‌های مختلف به دلیل مواد هدف مختلف) ۸. منبع تغذیه کندوپاش: ۳۰۰ وات (آر اف) / ۵۰۰ وات (دی سی) ۹. جایگاه نمونه: Ø۱۴۰ میلی‌متر ۱۰. سرعت مرحله نمونه: قابل تنظیم در ۱ دور در دقیقه تا ۲۰ دور در دقیقه ۱۱. گاز عامل: آرگون، نیتروژن2و سایر گازهای بی‌اثر ۱۲. مسیر هوای ورودی: کنتور جرمی دو مسیر ورودی هوا را کنترل می‌کند، یکی ۱۰۰SCCM و دیگری ۲۰۰SCCM. قسمت جعبه داشبورد: ۱. منبع تغذیه: تک فاز AC110V-220V 50Hz/60Hz 2. جنس پوسته: فولاد ضد زنگ 304 ۳. محفظه داشبورد: ۱۲۲۰ میلی‌متر × ۷۶۰ میلی‌متر × ۹۰۰ میلی‌متر ۴. محفظه جلویی: ۲ محفظه جلویی وجود دارد، محفظه جلویی بزرگ دارای ابعاد Ø۳۶۰ میلی‌متر × ۶۰۰ میلی‌متر و محفظه جلویی کوچک دارای ابعاد Ø۱۵۰ میلی‌متر × ۳۰۰ میلی‌متر است. ۵. محیط محفظه: محتوای آب <1ppm (20℃، 1atm)، محتوای اکسیژن <1ppm (20℃، 1atm) ۶. گاز کار: N2، آر، او و سایر گازهای بی‌اثر ۷. گاز کنترل: هوای فشرده یا گاز بی‌اثر ۸. گاز احیاکننده: مخلوطی از گاز عامل و H22 (اگر سیستم تصفیه فقط وظیفه حذف آب را داشته باشد، گاز کاهنده همان گاز عامل است.) ۹. سیستم تصفیه گاز: مواد اکسیژن‌زدای شرکت باسف آلمانی، مواد جاذب آب با راندمان بالای یو او پی آمریکایی، کنترل خودکار فرآیند احیا سیستم تصفیه، عملکردهای حذف خودکار آب و اکسیژن، قادر به حفظ مداوم خلوص گاز (در سطح آب <1ppm و اکسیژن <1ppm) در درازمدت ۱۰. سیستم کنترل فشار: فشار هوای محفظه را می‌توان به طور خودکار توسط صفحه لمسی پی ال سی کنترل کرد، دقت کنترل ±۱Pa است و همچنین می‌توان آن را به صورت دستی توسط یک سوئیچ پایی کنترل کرد. ۱۱. سیستم تصفیه: فیلترها در انتهای ورودی و خروجی نصب شده‌اند و دقت تصفیه ۰.۳ میکرومتر است. ۱۲. سیستم کنترل: صفحه نمایش لمسی رنگی زیمنس (۶ اینچ)، سیستم کنترل پی ال سی، سوئیچ دو زبانه چینی و انگلیسی * پراب آب از برند آمریکایی جنرال الکتریک با صفحه نمایش لمسی 0-1000ppm و دقت 0.1ppm استفاده می‌کند. * فرستنده اکسیژن از برند آمریکایی ای آی آی با صفحه نمایش لمسی 0-1000ppm و دقت 0.1ppm استفاده می‌کند. * سنسور فشار از برند آمریکایی سترا با صفحه نمایش لمسی -2500-2500Pa و دقت ±1Pa استفاده می‌کند. ۱۳. پمپ خلاء: برند ادواردز بریتانیا با سرعت پمپاژ ۸.۴ متر مکعب بر ساعت - ۱۲ متر مکعب3/ساعت ۱۴. دستکش: برند آمریکایی شمال (لاستیک مصنوعی بوتیل) ۱۵. سیستم روشنایی: برند فیلیپس (لامپ فلورسنت) |
ابعاد محصول | بخش پاشش مگنترون سه سر: 950 میلی‌متر × 460 میلی‌متر × 810 میلی‌متر بخش جعبه داشبورد: ۲۳۰۰ میلی‌متر × ۱۵۰۰ میلی‌متر × ۱۹۰۰ میلی‌متر |
گارانتی
یک سال محدود با پشتیبانی مادام العمر (شامل قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری نمی‌شود)
لجستیک
