روکش پلاسما با مگنترون با خلاء بالا
1. قدرت ورودی پوشش دهنده دوگانه هدف مگنترون 220 ولت / 50 هرتز است و قطر داخلی حفره Ø300 میلی متر است.
2. روش خنک کننده تفنگ هدف پوشش دوگانه مگنترون کندوپاش خنک کننده آب را اتخاذ می کند.
3. سیستم پر کردن گاز پوشش‌دهنده مگنترون دو هدفه از دبی‌سنج جرمی 2 طرفه (آرگون 100scc یک طرفه، آرگون 200scc 2 طرفه) استفاده می‌کند. گازهای ویژه را می توان سفارشی کرد.
- Shenyang Kejing
- شن یانگ، چین
- 10 روز کاری
- 50 ست
- اطلاعات
معرفی روکش کندوپاش مگنترون دو سر:
روکش کندوپاش مگنترون دو سر VTC-600-2HD-1000 یک تجهیزات پوشش خلاء بالا است که به تازگی توسط شرکت ما ساخته شده است. می توان از آن برای تهیه فیلم های فروالکتریک تک لایه یا چند لایه، فیلم های رسانا، فیلم های آلیاژی، فیلم های نیمه هادی، فیلم های سرامیکی، فیلم های دی الکتریک، فیلم های نوری، فیلم های اکسید، فیلم های سخت، فیلم های پلی تترا فلوئورواتیلن و غیره استفاده کرد. برای پوشش کندوپاش مواد غیر رسانا و یک منبع تغذیه دی سی برای پوشش کندوپاش مواد رسانا استفاده می شود. روکش کندوپاش مگنترون دو سر را می توان به اهداف مغناطیسی قوی برای پوشش کندوپاش مواد فرومغناطیسی مجهز کرد. در مقایسه با تجهیزات مشابه، روکش کندوپاش مگنترون دو سر دارای مزایای اندازه کوچک و عملکرد آسان و طیف گسترده ای از مواد قابل استفاده است. این یک وسیله ایده آل برای تهیه فیلم های مواد مختلف در آزمایشگاه است.
مزایای پوشش پلاسما مگنترون دو سر:
1. پوشش کندوپاش پلاسما مگنترون دو سر مجهز به دو تفنگ هدف است، یکی با منبع تغذیه RF برای پوشش کندوپاش مواد هدف غیر رسانا، و دیگری با منبع تغذیه دی سی برای پوشش کندوپاش مواد رسانا.
2. روکش پلاسما مگنترون دو سر می تواند انواع لایه های نازک را تهیه کند و کاربردهای گسترده ای دارد.
3. روکش پلاسما مگنترون دو سر از نظر اندازه کوچک است و کار با آن بسیار آسان است.
پارامترهای فنی پوشش کندوپاش مگنترون هدف دوگانه:
| نام محصول | روکش مگنترون دو سر VTC-600-2HD-1000 |
| مدل محصول | VTC-600-2HD-1000 |
| شرایط نصب | این تجهیزات باید در دمای 25 ± 15 درجه سانتیگراد و رطوبت 55٪ Rh ± 10٪ Rh استفاده شود. 1. آب: تجهیزات مجهز به یک دستگاه آب خنک کننده خود گردشی (پر از آب خالص یا آب دیونیزه) است. 2. الکتریسیته: AC220V 50Hz، باید به خوبی زمین شود. 3. گاز: محفظه تجهیزات باید با آرگون (خلوص بالای 99.99٪) پر شود و شما باید سیلندر گاز آرگون (با اتصال دهنده دو فرول Ø6 میلی متر) و شیر کاهش فشار خود را تهیه کنید. 4. میز کار: اندازه 1500mm×600mm×700mm، ظرفیت تحمل بار بالای 200 کیلوگرم. 5. دستگاه تهویه: مورد نیاز است. |
| پارامترهای اصلی | 1. برق ورودی: 220V/50Hz. 2. تعداد اهداف کندوپاش: 2. 3. قطر داخلی محفظه: Ø300mm. 4. روش خنک کننده تفنگ هدف: خنک کننده آب. 5. درجه خلاء نهایی: 9.0x10-4Pa. 6. مشخصات محفظه خلاء: Φ300×330 میلی متر. 7. سیستم خلاء: پمپ مکانیکی VRD-16 FF-100/150 پمپ توربومولکولی. 8. بازیابی خلاء: سیستم از اتمسفر به 5.0E-3pa≤30 دقیقه پمپ می شود (سیستم برای مدت کوتاهی در معرض جو قرار می گیرد). 9. سیستم باد کردن: دبی سنج جرمی 2 طرفه (آرگون 100scc یک طرفه، آرگون 200scc 2 طرفه) گازهای ویژه را می توان سفارشی کرد. 10. مشخصات هدف کندوپاش: Φ2"، ضخامت 0.1-5mm (ضخامت به دلیل مواد هدف مختلف متفاوت است). 11. مرحله نمونه: Φ140mm/قابل چرخش (1-20rpm)/قابل گرم شدن (دمای اتاق-1000℃). |
| مشخصات محصول | اندازه میزبان: عرض 900 میلی متر × عمق 650 میلی متر × ارتفاع 1100 میلی متر |
درباره ما:
قبل از خروج محصول از کارخانه، کارکنان ما آزمایشات جامعی را برای اطمینان از دقت و پایداری محصول انجام خواهند داد. در عین حال، ما یک تیم خدمات پس از فروش حرفه ای نیز داریم. اگر در مورد محصول سوالی دارید، تیم ما به موقع به شما پاسخ خواهد داد تا تجهیزات شما برای مدت طولانی پایدار بماند.
