لایه‌نشانی پلاسمایی مگنترون با خلاء بالا
۱. توان ورودی دستگاه لایه نشانی مگنترون دو هدفه، ۲۲۰ ولت/۵۰ هرتز و قطر داخلی حفره، Ø۳۰۰ میلی‌متر است.
۲. روش خنک‌سازی تفنگ هدف در دستگاه لایه‌نشانی مگنترون اسپاترینگ دو هدفه، خنک‌سازی با آب است.
۳. سیستم پر کردن گاز دستگاه لایه نشانی مگنترون دو هدفه از یک فلومتر جرمی دو طرفه (آرگون یک طرفه ۱۰۰scc، آرگون دو طرفه ۲۰۰scc) استفاده می‌کند. گازهای خاص را می‌توان سفارشی‌سازی کرد.
- Shenyang Kejing
- شنیانگ، چین
- ۱۰ روز کاری
- ۵۰ مجموعه
- اطلاعات
معرفی دستگاه لایه نشانی کندوپاش مگنترون دو سره:
دستگاه لایه نشانی مگنترون دو سر وی تی سی-600-2HD-1000 یک دستگاه لایه نشانی در خلاء بالا است که به تازگی توسط شرکت ما توسعه داده شده است. این دستگاه می‌تواند برای تهیه فیلم‌های فروالکتریک تک لایه یا چند لایه، فیلم‌های رسانا، فیلم‌های آلیاژی، فیلم‌های نیمه‌هادی، فیلم‌های سرامیکی، فیلم‌های دی‌الکتریک، فیلم‌های نوری، فیلم‌های اکسیدی، فیلم‌های سخت، فیلم‌های پلی تترافلوئورواتیلن و غیره استفاده شود. دستگاه لایه نشانی مگنترون دو سر مجهز به دو تفنگ هدف و دو منبع تغذیه است، یک منبع تغذیه آر اف برای لایه نشانی اسپاترینگ مواد غیر رسانا و یک منبع تغذیه دی سی برای لایه نشانی اسپاترینگ مواد رسانا استفاده می‌شود. دستگاه لایه نشانی مگنترون دو سر می‌تواند به اهداف مغناطیسی قوی برای لایه نشانی اسپاترینگ مواد فرومغناطیس مجهز شود. در مقایسه با تجهیزات مشابه، دستگاه لایه نشانی مگنترون دو سر دارای مزایای اندازه کوچک و عملکرد آسان و طیف گسترده‌ای از مواد قابل استفاده است. این دستگاه، یک دستگاه ایده‌آل برای تهیه فیلم‌های مختلف مواد در آزمایشگاه است.
مزایای دستگاه لایه نشانی پلاسمایی مگنترون دو سر:
۱. دستگاه لایه‌نشانی پاشش پلاسمایی مگنترون دو سره به دو تفنگ هدف‌گیری مجهز است، یکی با منبع تغذیه آر اف برای لایه‌نشانی پاشش مواد هدف نارسانا و دیگری با منبع تغذیه دی سی برای لایه‌نشانی پاشش مواد رسانا.
۲. دستگاه لایه‌نشانی پلاسمایی مگنترون دو سره می‌تواند انواع لایه‌های نازک را آماده کند و کاربردهای گسترده‌ای دارد.
۳. دستگاه لایه نشانی پلاسمایی مگنترون دو سره، اندازه کوچکی دارد و کار با آن بسیار آسان است.
پارامترهای فنی دستگاه لایه نشانی کندوپاش مگنترون با دو هدف:
| نام محصول | دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ مگنترونی دو سر وی تی سی-600-2HD-1000 |
| مدل محصول | وی تی سی-600-2HD-1000 |
| شرایط نصب | این دستگاه باید در دمای 25℃±15℃ و رطوبت 55%ر±10%ر کار کند. ۱. آب: این تجهیزات مجهز به دستگاه خنک‌کننده آب با گردش خودکار (پر از آب خالص یا آب دیونیزه) هستند. ۲. برق: AC220V 50Hz، باید به خوبی به زمین متصل شود. ۳. گاز: محفظه تجهیزات باید با آرگون (با خلوص بالای ۹۹.۹۹٪) پر شود و شما باید سیلندر گاز آرگون (با کانکتور دو حلقه‌ای Ø۶ میلی‌متری) و شیر کاهنده فشار خود را آماده کنید. ۴. میز کار: ابعاد ۱۵۰۰ میلی‌متر × ۶۰۰ میلی‌متر × ۷۰۰ میلی‌متر، ظرفیت تحمل بار بالای ۲۰۰ کیلوگرم. ۵. دستگاه تهویه: الزامی است. |
| پارامترهای اصلی | ۱. برق ورودی: ۲۲۰ ولت/۵۰ هرتز. ۲. تعداد اهداف کندوپاش: ۲. ۳. قطر داخلی محفظه: Ø۳۰۰ میلی‌متر. ۴. روش خنک‌سازی تفنگ هدف‌گیری: خنک‌سازی با آب. ۵. درجه خلاء نهایی: ۹.۰×10-4خب. ۶. مشخصات محفظه خلاء: Φ۳۰۰×۳۳۰ میلی‌متر. ۷. سیستم خلاء: پمپ مکانیکی وی آر دی-16 اف اف-100/150 توربومولکولی. ۸. بازیابی خلاء: سیستم از اتمسفر به ۵.۰E پمپ می‌شود.-3پا≤30 دقیقه (سیستم برای مدت کوتاهی در معرض جو قرار می‌گیرد). ۹. سیستم باد کردن: کنتور جرمی دو طرفه (آرگون یک طرفه ۱۰۰scc، آرگون دو طرفه ۲۰۰scc) گازهای مخصوص قابل تنظیم هستند. ۱۰. مشخصات هدف کندوپاش: Φ2"، ضخامت ۰.۱-۵ میلی‌متر (ضخامت به دلیل مواد هدف مختلف متفاوت است). ۱۱. جایگاه نمونه: Φ۱۴۰ میلی‌متر / قابل چرخش (۱-۲۰ دور در دقیقه) / قابل حرارت (دمای اتاق -۱۰۰۰ درجه سانتیگراد). |
| مشخصات محصول | اندازه میزبان: عرض ۹۰۰ میلی‌متر × عمق ۶۵۰ میلی‌متر × ارتفاع ۱۱۰۰ میلی‌متر |
درباره ما:
قبل از خروج محصول از کارخانه، کارکنان ما آزمایش‌های جامعی را برای اطمینان از دقت و پایداری محصول انجام می‌دهند. در عین حال، ما یک تیم خدمات پس از فروش حرفه‌ای نیز داریم. اگر در مورد محصول سوالی دارید، تیم ما به موقع به شما پاسخ خواهد داد تا تجهیزات شما بتواند برای مدت طولانی به طور پایدار کار کند.
