روکش کندوپاش پلاسما با 3 منبع کندوپاش

نام تجاری Shenyang Kejing

منبع محصول شن یانگ، چین

زمان تحویل 22 روز کاری

ظرفیت عرضه 50 ست

روکش سه سر مگنترون VTC-600-3HD یک تجهیزات پوششی است که به تازگی توسط شرکت ما ساخته شده است و برای تهیه فیلم فروالکتریک تک لایه یا چند لایه، فیلم رسانا، فیلم آلیاژی، فیلم نیمه هادی، فیلم های سرامیکی، فیلم دی الکتریک استفاده می شود. ، فیلم نوری، فیلم اکسید، فیلم سخت، فیلم PTFE و غیره. روکش سه سر مگنترون VTC-600-3HD مجهز به سه تفنگ هدف، یک منبع تغذیه RF برای پوشش کندوپاش مواد غیر رسانا و دو برق دی سی است. منابع برای پوشش کندوپاش مواد رسانا.

Email

روکش کندوپاش پلاسما با 3 منبع کندوپاش

ویژگی های اصلی

1. مجهز به سه اسلحه هدف است، یک منبع تغذیه RF برای پوشش کندوپاش مواد غیر رسانا و دو منبع تغذیه دی سی برای پوشش کندوپاش مواد رسانا استفاده می شود (تفنگ هدف را می توان با توجه به نیاز مشتری تعویض کرد) .

2. انواع لایه های نازک را می توان با طیف وسیعی از کاربردها تهیه کرد.

3. اندازه کوچک و آسان برای کار

4. طراحی مدولار کل دستگاه. طراحی جداگانه/تقسیم شده محفظه خلاء، گروه پمپ خلاء و منبع تغذیه کنترلی که می تواند با توجه به نیاز واقعی کاربران تنظیم شود.

5. منبع تغذیه را می توان با توجه به نیاز واقعی کاربر انتخاب کرد. یک منبع تغذیه می تواند چندین تفنگ هدف را کنترل کند یا چندین منبع تغذیه می تواند یک تفنگ هدف را کنترل کند.

تیپارامترهای فنی

نام محصول	روکش کندوپاش مگنترون سه سر VTC-600-3HD
نمونه محصول	VTC-600-3HD
شرایط نصب	این تجهیزات باید در ارتفاع 1000 متر یا کمتر، دمای 25 ± 15 درجه سانتیگراد و رطوبت 55٪ Rh ± 10٪ Rh استفاده شود. 1. آب: تجهیزات مجهز به یک کولر آبی خودگردان (پر کردن با آب خالص یا آب دیونیزه) است. 2. الکتریسیته: AC220V 50Hz، باید زمین خوبی داشته باشد 3. گاز: محفظه تجهیزات باید با گاز آرگون (خلوص 99.99٪ یا بیشتر) پر شود و سیلندرهای گاز آرگون (با اتصالات دو فرول Ø6 میلی متر) و شیر کاهش فشار باید توسط کاربران ارائه شود. 4. میز کار: اندازه 1500mm×600mm×700mm، تحمل بیش از 200 کیلوگرم 5. دستگاه تهویه: مورد نیاز
پارامترهای اصلی (مشخصات)	1. ولتاژ منبع تغذیه: 220 ولت 50 هرتز 2. قدرت: 2.5 کیلو وات 3. حد درجه خلاء: E-6mbar (در صورت استفاده با تجهیزات شرکت ما می توان به E-5mbar رسید) 4. دمای گرمایش: RT-500 ℃، دقت ± 1 ℃ (دما را می توان با توجه به نیازهای واقعی افزایش داد.) 5. تعداد اسلحه هدف: 3 عدد 6. روش خنک کننده تفنگ هدف: خنک کننده با آب 7. اندازه مواد هدف: Ø2 اینچ، ضخامت 0.1-5 میلی متر (ضخامت های مختلف به دلیل مواد هدف مختلف) 8. قدرت کندوپاش دی سی: 500W (اختیاری) 9. قدرت کندوپاش RF: 300W/500W (اختیاری) 10. مرحله نمونه: Ø140mm، تابع ولتاژ بایاس اختیاری را می توان با توجه به نیاز مشتری برای دستیابی به کیفیت بالاتر پوشش نصب کرد. 11. سرعت مرحله نمونه: قابل تنظیم در 1rpm تا 20rpm 12. گاز کار: آر , N₂و سایر گازهای بی اثر 13. مسیر هوای ورودی: دبی سنج جرمی 2 مسیر ورودی هوا را کنترل می کند، یکی 100SCCM و دیگری 200SCCM.
ابعاد و وزن محصول	ابعاد دستگاه اصلی: 500mm×560mm×660mm ابعاد کلی: 1300mm×660mm×1200mm وزن: 160 کیلوگرم
لوازم جانبی استاندارد	1. سیستم کنترل برق دی سی: 2 مجموعه 2. سیستم کنترل قدرت RF: 1 مجموعه 3. سیستم مانیتور ضخامت فیلم: 1 مجموعه 4. پمپ مولکولی (وارداتی از آلمان): 1 عدد 5. کولر آبی: 1 عدد 6.لوله پلی استر PU (Ø6mm): 4m
لوازم جانبی اختیاری	1. مواد هدف مختلف مانند طلا، ایندیم، نقره، پلاتین و غیره. 2. ماسک 3. مرحله نمونه ارتعاشی