روکش پلاسما با خلاء بالا مگنترون دو سر

نمونه محصول

VTC-600-2HD

شرایط نصب

این تجهیزات باید در ارتفاع 1000 متر یا کمتر، دمای 25 ± 15 درجه سانتیگراد و رطوبت 55٪ Rh ± 10٪ Rh استفاده شود.

1. آب: تجهیزات مجهز به یک آب سرد کن خود گردشی (پر کردن با آب خالص یا آب دیونیزه) است.

2. الکتریسیته: AC220V 50Hz، باید زمین خوبی داشته باشد

3. گاز: محفظه تجهیزات باید با گاز آرگون (خلوص 99.99٪ یا بیشتر) پر شود و سیلندرهای گاز آرگون (با اتصالات دو فرول Ø6 میلی متر) و شیر کاهش فشار باید توسط کاربران ارائه شود.

4. میز کار: اندازه 1500mm×600mm×700mm، تحمل وزن بیش از 200 کیلوگرم

5. دستگاه تهویه: مورد نیاز

پارامترهای اصلی

(مشخصات)

1. ولتاژ منبع تغذیه: 220 ولت 50 هرتز

2. قدرت: 900W

3. قطر داخلی محفظه: Ø300 میلی متر

4. حد درجه خلاء: 9.0×10-4Pa

5. دمای گرمایش مرحله نمونه: RT-500 ℃، دقت ± 1 ℃ (دما را می توان با توجه به نیازهای واقعی افزایش داد.)

6. تعداد اسلحه هدف: 2 عدد (مقادیر دیگر برای گزینه)

7. روش خنک کننده تفنگ هدف: خنک کننده با آب

8. اندازه مواد هدف: Ø2 اینچ، ضخامت 0.1-5 میلی متر (ضخامت های مختلف به دلیل مواد هدف مختلف)

9. قدرت کندوپاش دی سی: 500W; قدرت کندوپاش RF: 300 وات (نوع منبع تغذیه هدف اختیاری است، انتخاب دو منبع تغذیه دی سی یا دو منبع تغذیه RF، یا یک منبع تغذیه دی سی به اضافه یک منبع تغذیه RF.)

10. مرحله نمونه: Ø140mm، تابع ولتاژ بایاس اختیاری را می توان با توجه به نیاز مشتری برای دستیابی به کیفیت بالاتر پوشش نصب کرد.

11. سرعت مرحله نمونه: قابل تنظیم در 1rpm-20rpm

12. گاز کار: آر و سایر گازهای بی اثر

13. مسیر هوای ورودی: دبی سنج جرمی 2 مسیر ورودی هوا را کنترل می کند، یکی 100SCCM و دیگری 200SCCM.

ابعاد و وزن محصول

1. ابعاد دستگاه اصلی: 500mm×560mm×660mm

2. ابعاد کلی: 1300mm×660mm×1200mm

3. ابعاد محفظه خلاء: φ300×300 میلی متر

4. وزن: 160 کیلوگرم

لوازم جانبی استاندارد

1. سیستم کنترل برق دی سی: 1 مجموعه

2. سیستم کنترل قدرت RF: 1 مجموعه

3. سیستم مانیتور ضخامت فیلم: 1 مجموعه

4. پمپ مولکولی (وارداتی از آلمان): 1 عدد

5. کولر آبی: 1 عدد

6.لوله پلی استر PU (Ø6mm): 4m

لوازم جانبی اختیاری

مواد هدف مختلف مانند طلا، ایندیم، نقره، پلاتین و غیره.