روکش پلاسما با خلاء بالا مگنترون دو سر

نمونه محصول

VTC -600-2HD

شرایط نصب

این تجهیزات باید در ارتفاع 1000 متر یا کمتر، دمای 25 ± 15 درجه سانتیگراد و رطوبت 55٪ Rh ± 10٪ Rh استفاده شود.

1. آب: تجهیزات مجهز به یک کولر آبی خودگردان (پر کردن با آب خالص یا آب دیونیزه) است.

2. الکتریسیته: AC220V 50Hz، باید زمین خوبی داشته باشد

3. گاز: محفظه تجهیزات باید با گاز آرگون (خلوص 99.99٪ یا بیشتر) پر شود و سیلندرهای گاز آرگون (با اتصالات دو فرول Ø6 میلی متر) و شیر کاهش فشار باید توسط کاربران ارائه شود.

4. میز کار: اندازه 1500mm×600mm×700mm، تحمل وزن بیش از 200 کیلوگرم

5. دستگاه تهویه: مورد نیاز

پارامترهای اصلی

(مشخصات)

1. ولتاژ منبع تغذیه: 220 ولت 50 هرتز

2. قدرت: 900W

3. قطر داخلی محفظه:  ;Ø300 میلی متر

4. حد درجه خلاء: 9.0×10-4Pa

5. دمای گرمایش مرحله نمونه: RT -500 ℃، دقت ± 1 ℃ (دما را می توان با توجه به نیازهای واقعی افزایش داد.)

6. تعداد اسلحه هدف: 2 عدد (مقادیر دیگر برای گزینه)

7. روش خنک کننده تفنگ هدف: خنک کننده با آب

8. اندازه مواد هدف: Ø2 اینچ، ضخامت 0.1-5 میلی متر (ضخامت های مختلف به دلیل مواد هدف مختلف)

9. قدرت کندوپاش دی سی : 500W; قدرت کندوپاش RF : 300 وات (نوع منبع تغذیه هدف اختیاری است، انتخاب دو منبع تغذیه دی سی یا دو منبع تغذیه RF ، یا یک منبع تغذیه دی سی به اضافه یک منبع تغذیه RF .)

10. مرحله نمونه: Ø140mm، تابع ولتاژ بایاس اختیاری را می توان با توجه به نیاز مشتری برای دستیابی به کیفیت بالاتر پوشش نصب کرد.

11. سرعت مرحله نمونه: قابل تنظیم در 1rpm-20rpm

12. گاز کار: آر و سایر گازهای بی اثر

13. مسیر هوای ورودی: دبی سنج جرمی 2 مسیر ورودی هوا را کنترل می کند، یکی 100SCCM و دیگری 200SCCM.

ابعاد و وزن محصول

1. ابعاد دستگاه اصلی: 500mm×560mm×660mm

2. ابعاد کلی: 1300mm×660mm×1200mm

3. ابعاد محفظه خلاء: φ300×300 میلی متر

4. وزن: 160 کیلوگرم

لوازم جانبی استاندارد

1. سیستم کنترل برق دی سی : 1 مجموعه

2. سیستم کنترل قدرت RF : 1 مجموعه

3. سیستم مانیتور ضخامت فیلم: 1 مجموعه

4. پمپ مولکولی (وارداتی از آلمان): 1 عدد

5. کولر آبی: 1 عدد

6.لوله پلی استر PU (Ø6mm): 4m

لوازم جانبی اختیاری

مواد هدف مختلف مانند طلا، ایندیم، نقره، پلاتین و غیره.