روکش پراکنده مگنترون سه هدف برای پوشش زیرلایه ها و ویفرها
1. سیستم آماده سازی باتری فیلم نازک با جعبه دستکش مجهز به سه تفنگ هدف است و یک منبع تغذیه مطابق با rf را می توان از طریق یک سوئیچ تبدیل به هر سر هدف متصل کرد که برای پوشش دهی مواد هدف مختلف استفاده می شود (تفنگ هدف را می توان در هر زمان با توجه به نیاز مشتری تعویض کرد).
2. سیستم تهیه باتری فیلم نازک با جعبه دستکش می تواند انواع فیلم های نازک را تهیه کند و به طور گسترده مورد استفاده قرار می گیرد.
3. سیستم تهیه باتری فیلم نازک با جعبه دستکش اندازه کوچکی دارد و کارکرد آن بسیار آسان است.
- Shenyang Kejing
- شن یانگ، چین
- 10 روز کاری
- 50 ست
- اطلاعات
معرفی پوشش فشرده پلاسما کندوپاش کردن:
سیستم آماده سازی باتری فیلم نازک VGB-600-3HD با جعبه دستکش را می توان برای عملیات آزمایشی در جعبه دستکش استفاده کرد و برای تهیه فیلم های نازک فروالکتریک تک لایه یا چند لایه، فیلم های نازک رسانا، فیلم های نازک آلیاژی، فیلم های نازک نیمه هادی، فیلم های نازک اپی سرامیکی، فیلم های نازک اپی سرامیکی، فیلم های نازک الیافی، فیلم های نازک اپی الیاژی لایه‌های نازک، لایه‌های نازک سخت، لایه‌های نازک پلی تترا فلوئورواتیلن و غیره. پوشش فشرده پلاسما به سه تفنگ هدف مجهز است و یک منبع تغذیه RF منطبق را می‌توان از طریق یک سوئیچ تبدیل به هر سر هدف متصل کرد که برای پوشش کندوپاش مواد مختلف هدف استفاده می‌شود. در مقایسه با تجهیزات مشابه، پوشش فشرده پلاسما نه تنها به طور گسترده مورد استفاده قرار می گیرد، بلکه دارای مزایای اندازه کوچک و عملکرد آسان است. این یک تجهیزات ایده آل برای آماده سازی آزمایشگاهی فیلم های مواد است. پوشش فشرده پلاسما به ویژه برای تحقیقات آزمایشگاهی در مورد باتری های لایه نازک، الکترولیت های جامد و OLED مناسب است. در مقایسه با کندوپاش مگنترون معمولی، می توان از آن برای آزمایشات پوشش روی اهداف لی و اهداف مواد مبتنی بر لیتیوم استفاده کرد. این یک تجهیزات ایده آل برای آزمایش های پوشش آزمایشگاهی در صنعت انرژی های جدید است.
مزایای سه هدف پوشش کندوپاش مگنترون RF:
1. پوشش کندوپاش مگنترون RF سه هدف طراحی مدولار را اتخاذ می کند و محفظه خلاء، گروه پمپ خلاء و منبع تغذیه کنترل تقسیم می شوند و می توانند بر اساس نیازهای واقعی کاربران تنظیم شوند.
2. سه هدف RF پوشش کندوپاش مگنترون می تواند منبع تغذیه را با توجه به نیازهای واقعی کاربران انتخاب کند. یک منبع تغذیه می تواند چندین تفنگ هدف را کنترل کند، یا چندین منبع تغذیه می تواند یک تفنگ هدف را کنترل کند (اختیاری).
3. پوشش کندوپاش مگنترون RF سه هدف را می توان برای عملیات آزمایشی در جعبه دستکش استفاده کرد و انواع مختلفی از مواد هدف که به راحتی اکسید می شوند را می توان برای آزمایش های پوشش جایگزین کرد.
پارامترهای فنی روکش کندوپاش پلاسما فشرده:
| نام محصول | روکش فشرده پلاسما VGB-600-3HD |
| مدل محصول | VGB-600-3HD |
| پارامترهای اصلی | بخش کندوپاش مگنترون سه هدف: 1. ولتاژ منبع تغذیه: 220 ولت 50 هرتز. 2. توان کل: 2.5KW. 3. خلاء نهایی: < E-6mbar (در صورت استفاده با تجهیزات پمپ مکانیکی شرکت ما می تواند به E-3mbar برسد). 4. دمای کار: RT-500 ℃، دقت ± 1℃ (دما را می توان با توجه به نیازهای واقعی افزایش داد). 5. تعداد اسلحه هدف: 3. 6. روش خنک کننده تفنگ هدف: خنک کننده با آب. 7. اندازه هدف: Ø2 اینچ، ضخامت 0.1mm-5mm (ضخامت به دلیل مواد هدف مختلف متفاوت است). 8. قدرت کندوپاش: 300W (RF)/500W (دی سی). 9. حامل نمونه: Ø140mm. 10. سرعت حامل نمونه: قابل تنظیم در 1rpm-20rpm. 11. گاز محافظ: گاز بی اثر مانند آر و N2. 12. مسیر گاز ورودی: دبی سنج 2 مسیر ورودی را کنترل می کند، یک جریان 100 SCCM و جریان دیگر 200 SCCM است. |
جیقسمت جعبه عشق: 1. منبع تغذیه: تک فاز AC110V-220V 50Hz/60Hz. 2. مواد پوسته: فولاد ضد زنگ 304. 3. محفظه جعبه دستکش: 1220mm×760mm×900mm. 4. محفظه پیش مرحله: 2 محفظه پیش مرحله وجود دارد، محفظه بزرگ پیش مرحله Ø360mm×600mm و محفظه پیش مرحله کوچک Ø150mm×300mm است. 5. محیط محفظه: محتوای آب <1ppm (20℃، 1atm)، محتوای اکسیژن <1ppm (20℃، 1atm). 6. گاز کار: گاز بی اثر مانند N2، آر، او. 7. گاز کنترل: هوای فشرده یا گاز بی اثر. 8. گاز احیا: مخلوطی از گاز در حال کار و H2 (اگر سیستم تصفیه فقط وظیفه حذف آب را داشته باشد، گاز احیا همان گاز کار می باشد). 9. سیستم تصفیه گاز: مواد اکسید زدا آلمانی BASF، مواد جاذب آب UOP آمریکایی، کنترل خودکار فرآیند بازسازی سیستم تصفیه، عملکردهای کم آبی و اکسیداسیون خودکار، که می تواند خلوص گاز را در آب <1ppm و اکسیژن <1ppm را برای مدت طولانی حفظ کند. 10. سیستم کنترل فشار: فشار هوای حفره را می توان به طور خودکار توسط صفحه لمسی PLC با دقت کنترل ± 1Pa کنترل کرد و همچنین می تواند به صورت دستی توسط سوئیچ پا کنترل شود. 11. سیستم فیلتر: فیلترها در انتهای ورودی و خروجی نصب می شوند، با دقت فیلتر 0.3μm. 12. سیستم کنترل: صفحه نمایش لمسی رنگی زیمنس (6 اینچ)، سیستم کنترل PLC، دوزبانه چینی و انگلیسی قابل تعویض. کاوشگر آب از برند آمریکایی جنرال الکتریک، صفحه نمایش لمسی 0-1000ppm، دقت 0.1ppm استفاده می کند. فرستنده اکسیژن از برند آمریکایی AII استفاده می کند، صفحه نمایش لمسی 0-1000ppm، دقت 0.1ppm. سنسور فشار از نام تجاری سترا آمریکایی استفاده می کند، صفحه نمایش لمسی -2500-2500Pa، دقت ± 1Pa. 13. پمپ خلاء: برند بریتانیایی ادواردز سرعت پمپاژ 8.4m3/h-12m3/h. 14. دستکش: لاستیک مصنوعی بوتیل برند شمال آمریکایی. 15. سیستم روشنایی: لوله فلورسنت مارک فیلیپس. | |
| مشخصات محصول | بخش کندوپاش مگنترون سه هدف: 950mm×460mm×810mm. قسمت جعبه دستکش: 2300mm×1500mm×1900mm. |
تعهد کیفیت سه هدف پوشش کندوپاش مگنترون RF:
شرکت ما تضمین می‌کند که روکش کندوپاش پلاسمای جمع‌وجور ارائه شده جدید و بلااستفاده است، به طور کامل با کیفیت، مشخصات و الزامات عملکرد مندرج در قرارداد مطابقت دارد و سیستم آماده‌سازی باتری فیلم نازک ما با جعبه دستکش می‌تواند در شرایط نصب صحیح، استفاده صحیح و نگهداری و در طول عمر سرویس به طور معمول کار کند.
گارانتی:
گارانتی محدود یک ساله، پشتیبانی مادام العمر (به استثنای قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری)
خدمات ما:
محصولات ما توسط بسیاری از مشتریان به دلیل عملکرد عالی، کیفیت پایدار و دوام طولانی مدت آنها شناخته شده است. ما یک تیم فنی حرفه ای داریم که می تواند طیف کاملی از خدمات پشتیبانی مانند انتخاب محصول، نصب و راه اندازی و آموزش عملیات را به مشتریان ارائه دهد. مهم نیست که در حین استفاده با چه مشکلاتی مواجه می شوید، ما تلاش خواهیم کرد تا راه حل های به موقع و موثری را به شما ارائه دهیم تا خط تولید شما کارآمد و پایدار باشد.
درباره ما:
چندی پیش، منطقه ما سنگاپور در نمایشگاه فوتونیک آسیا (APE 2025) شرکت کرد، جایی که ما ماشین های سنگ زنی و پرداخت، ماشین های پوشش و سایر محصولات خود را به نمایش گذاشتیم. پس از آشنایی کامل با محصولات، بسیاری از مشتریان از تجهیزات ما تمجید کردند و تمایل خود را برای همکاری با ما اعلام کردند.
