-
سیستم رسوب شیمیایی بخار با خلاء بالا (PECVD)
PECVD خازنی با صفحه موازی، فناوری است که از پلاسما برای فعال کردن گازهای واکنشی برای ترویج واکنش های شیمیایی در سطح بستر یا فضای نزدیک به سطح برای تشکیل فیلم های حالت جامد استفاده می کند. اصل اساسی فناوری رسوب بخار شیمیایی پلاسما این است که تحت تأثیر میدان الکتریکی با فرکانس بالا یا دی سی، گاز منبع یونیزه می شود تا پلاسما تشکیل شود و پلاسما با دمای پایین به عنوان منبع انرژی استفاده می شود، مقدار مناسبی از گاز واکنش پذیر است. معرفی می شود و تخلیه پلاسما برای فعال کردن گاز راکتیو استفاده می شود و رسوب بخار شیمیایی را تشکیل می دهد.
Send Email جزئیات -
سیستم رسوب لیزر پالسی کروی
این سیستم یک تجهیزات تحقیق و توسعه برای سیستم رسوب لیزر پالسی کروی (PLD
) است. فناوری رسوب لیزر پالسی به طور گسترده ای مورد استفاده قرار می گیرد و می توان از آن برای تهیه فیلم های نازک از مواد مختلف مانند فلزات، نیمه هادی ها، اکسیدها، نیتریدها، کاربیدها، بوریدها، سیلیسیدها، سولفیدها و فلوریدها استفاده کرد. حتی برای تهیه برخی از فیلم‌های مواد با سنتز دشوار مانند فیلم‌های الماس و نیترید مکعبی استفاده می‌شود.Send Email جزئیات
