سیستم رسوب شیمیایی بخار با خلاء بالا (PECVD)

شرایط نصب

1. دمای محیط: 10℃ تا 35℃

2. رطوبت نسبی: حداکثر 75٪

3. منبع تغذیه: 220 ولت، تک فاز، 50±0.5 هرتز

4. قدرت تجهیزات: کمتر از 4 کیلو وات

5. منبع آب: فشار آب 0.2 مگاپاسکال تا 0.4 مگا پاسکال، دمای آب 15 ℃ تا 25 ℃

6. محیط اطراف تجهیزات باید مرتب باشد، هوا تمیز باشد و گرد و غبار یا گازی وجود نداشته باشد که باعث خوردگی دستگاه برقی یا سایر سطوح فلزی شود یا باعث هدایت بین فلزات شود.

پارامترهای اصلی

(مشخصات)

1. سیستم یک ساختار تک لوله ای و درب ورودی دستی را اتخاذ می کند.

2. اجزای محفظه خلاء و لوازم جانبی همه از فولاد ضد زنگ با کیفیت بالا (304)، جوش آرگون، و سطح با انفجار شیشه و پولیش و غیرفعال کردن الکتروشیمیایی درمان می شود. مجهز به پنجره مشاهده بصری و بافل/دریچه است. اندازه محفظه خلاء Φ300mm×300mm است.

3. حد درجه خلاء: 8.0×10^-5خوب

(پس از پخت و گاز زدایی، از پمپ مولکولی 600L/S برای پمپاژ هوا استفاده کنید و از 4L/S برای مرحله جلویی استفاده کنید).

نرخ نشت تشخیص نشت خلاء سیستم: ≤5.0×10^-7پا.L/S;

این سیستم شروع به پمپاژ هوا از جو به 8.0×10 می کند^-4پا، که می توان در 40 دقیقه به آن رسید. درجه خلاء پس از توقف پمپ به مدت 12 ساعت: ≤20 پا

4. روش کوپلینگ خازنی با نمونه در پایین و آبپاش در بالا.

5. حداکثر دمای گرمایش نمونه: 500 ℃، دقت کنترل دما: ± 1 ℃، و متر کنترل دما برای کنترل دما استفاده می شود.

6. اندازه سر آبپاش: Φ90 میلی متر، فاصله الکترود بین سر آبپاش و نمونه به طور پیوسته به صورت آنلاین بین 15 تا 50 میلی متر قابل تنظیم است (با توجه به نیاز فرآیند قابل تنظیم است)، با نمایشگر شاخص مقیاس

7. خلاء کاری رسوب: 13.3-133Pa (قابل تنظیم با توجه به نیاز فرآیند)

8. منبع تغذیه RF: فرکانس 13.56 مگاهرتز، حداکثر توان تطبیق خودکار 300 وات

9. نوع گاز (ارائه شده توسط کاربران)، پیکربندی استاندارد کنترل کننده کیفیت 2 کانال 100sccm است، کاربران می توانند پیکربندی مدار گاز را با توجه به نیاز فرآیند تغییر دهند.

10. سیستم تصفیه گاز اگزوز سیستم (ارائه شده توسط کاربران)