دستگاه کندوپاش مگنترون با خلاء بالا

معرفی تجهیزات پاشش مگنترون:

دستگاه لایه نشانی مگنترون خلاء بالا وی تی سی-600G یک دستگاه لایه نشانی است که به تازگی و به طور مستقل توسعه یافته است و می‌تواند برای تهیه فیلم‌های فروالکتریک تک لایه یا چند لایه، فیلم‌های رسانا، فیلم‌های آلیاژی، فیلم‌های نیمه‌هادی، فیلم‌های سرامیکی، فیلم‌های دی‌الکتریک، فیلم‌های نوری، فیلم‌های اکسیدی، فیلم‌های سخت، فیلم‌های پلی تترافلوئورواتیلن و غیره استفاده شود. تجهیزات لایه نشانی مگنترون وی تی سی-600G را می‌توان به چندین تفنگ هدف مجهز کرد و منبع تغذیه آر اف مطابق برای لایه نشانی اسپاترینگ مواد هدف غیر رسانا و منبع تغذیه دی سی مطابق برای لایه نشانی اسپاترینگ مواد رسانا استفاده می‌شود. در مقایسه با تجهیزات مشابه، تجهیزات اسپاترینگ مگنترون نه تنها به طور گسترده مورد استفاده قرار می‌گیرد، بلکه از مزایای اندازه کوچک و کارکرد آسان نیز برخوردار است. این دستگاه، یک دستگاه ایده‌آل برای تهیه آزمایشگاهی فیلم‌های مواد است، به ویژه برای تحقیقات آزمایشگاهی روی الکترولیت‌های جامد و OLEDها مناسب است.

ویژگی‌های اصلی دستگاه کندوپاش مگنترون:

دستگاه کندوپاش مگنترون خلاء می‌تواند به چندین تفنگ هدف مجهز شود و منبع تغذیه آر اف مطابق برای پوشش‌دهی کندوپاش مواد هدف غیر رسانا و منبع تغذیه دی سی مطابق برای پوشش‌دهی کندوپاش مواد رسانا استفاده می‌شود (تفنگ هدف را می‌توان بنا به نیاز مشتری تعویض کرد).

دستگاه کندوپاش مگنترون خلاء می‌تواند انواع لایه‌های نازک را آماده کند و کاربرد گسترده‌ای دارد.

دستگاه کندوپاش مگنترون خلاء، کوچک و با کاربری آسان است.

کل دستگاه دارای طراحی ماژولار است و محفظه خلاء، گروه پمپ خلاء و منبع تغذیه کنترل، طرح‌های جداگانه‌ای دارند که می‌توانند با توجه به نیازهای واقعی کاربران تنظیم شوند.

منبع تغذیه را می‌توان با توجه به نیازهای واقعی کاربر انتخاب کرد. یک منبع تغذیه می‌تواند چندین تفنگ هدف‌گیری را کنترل کند، یا چندین منبع تغذیه می‌توانند یک تفنگ هدف‌گیری واحد را کنترل کنند.

پارامترهای فنی دستگاه کندوپاش مگنترون خلاء:

نام محصول	دستگاه کندوپاش مگنترون خلاء بالا وی تی سی-600G
مدل محصول	وی تی سی-600G
پارامترهای اصلی	۱. ساختار: ساختار درب جلو رومیزی، سیستم اگزوز عقب. ۲. خلاء نهایی: ۶.۰×۱۰-5خب. ۳. میزان نشت: متر ۱ ساعت≤۰.۵ پاسکال. ۴. زمان اگزوز حدود ۲۰ دقیقه از اتمسفر تا ۵.۰ است.×10-3. ۵. گروه پمپ وکیوم: پمپ مکانیکی + پمپ مولکولی. 6. جایگاه نمونه: φ140، دمای اتاق -500℃، دقت ±1℃ (دما می‌تواند با توجه به نیازهای واقعی افزایش یابد) چرخش قابل تنظیم در محدوده 5rpm-20rpm. عملکرد بایاس را می‌توان با توجه به نیاز مشتری برای دستیابی به پوشش با کیفیت بالاتر اضافه کرد. ۷. سیستم پر کردن گاز: ۲ جریان جرمی (هر کدام آرگون/نیتروژن). ۸. زاویه بین سر هدف و محور مرکزی صفحه نمونه ۳۴ درجه است. ۹. تعداد سرهای هدف: ۳ (با زاویه ۱۲۰ درجه نسبت به یکدیگر). ۱۰. روش خنک‌سازی تفنگ هدف‌گیری: خنک‌سازی با آب. ۱۱. اندازه ماده هدف: φ۲ اینچ، ضخامت ۰.۱-۵ میلی‌متر (ضخامت به دلیل مواد هدف مختلف متفاوت است).
	۱۲. مشخصات محصول:       · اندازه کامل دستگاه: 700 میلی‌متر × 852 میلی‌متر × 1529 میلی‌متر؛

لوازم جانبی اختیاری تجهیزات اسپکترومغناطیسی مگنترون:

گارانتی:

یک سال محدود با پشتیبانی مادام العمر (شامل قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری نمی‌شود)

لجستیک:

درباره ما：

ما یک شرکت با فناوری پیشرفته هستیم که بر تحقیق و توسعه و تولید ماشین‌آلات پوشش‌دهی تمرکز داریم و همچنین در این صنعت پیشرو هستیم. هر یک از محصولات ما با دقت طراحی و توسط طراحان به شدت آزمایش شده‌اند و از سطح بالایی در عملکرد و دقت تجهیزات برخوردارند. ما نه تنها بر خود محصول تمرکز می‌کنیم، بلکه به نوآوری‌های تکنولوژیکی و روابط با مشتری نیز توجه داریم و متعهد به ارائه ابزارهای تجربی سطح بالا به مشتریان جهانی هستیم.