ابزار کندوپاش مگنترون با خلاء بالا

معرفی تجهیزات کندوپاش مگنترون:

روکش کندوپانی مگنترون با خلاء بالا VTC-600G یک تجهیزات پوششی است که به تازگی توسعه یافته است، که می تواند برای تهیه فیلم های فروالکتریک تک لایه یا چند لایه، فیلم های رسانا، فیلم های آلیاژی، فیلم های نیمه هادی، فیلم های سرامیکی، فیلم های دی الکتریک، فیلم های نوری، فیلم های پلی اتیل، فیلم هارد فلو اتیل، فیلم های اکسید فلو اتیل و غیره استفاده شود. تجهیزات کندوپاش مگنترون VTC-600G را می توان با چندین تفنگ هدف مجهز کرد و منبع تغذیه RF منطبق برای پوشش کندوپاش مواد هدف غیر رسانا استفاده می شود و منبع تغذیه دی سی منطبق برای پوشش کندوپاش مواد رسانا استفاده می شود. در مقایسه با تجهیزات مشابه، تجهیزات کندوپاش مگنترون نه تنها به طور گسترده استفاده می شود، بلکه دارای مزایای اندازه کوچک و عملکرد آسان است. این یک تجهیزات ایده آل برای آماده سازی آزمایشگاهی فیلم های مواد است، به ویژه برای تحقیقات آزمایشگاهی روی الکترولیت های جامد و OLED ها مناسب است.

ویژگی های اصلی تجهیزات کندوپاش مگنترون:

· ابزار کندوپاش مگنترون خلاء را می توان با چندین تفنگ هدف مجهز کرد و منبع تغذیه RF منطبق برای پوشش کندوپاش مواد هدف غیر رسانا استفاده می شود و منبع تغذیه دی سی منطبق برای پوشش کندوپاش مواد رسانا استفاده می شود (تفنگ هدف را می توان به دلخواه با توجه به نیاز مشتری جایگزین کرد).

· ابزار کندوپاش مگنترون خلاء می تواند انواع لایه های نازک را تهیه کند و به طور گسترده ای مورد استفاده قرار می گیرد.

· ابزار کندوپاش مگنترون خلاء از نظر اندازه کوچک است و کار با آن آسان است.

· کل دستگاه دارای طراحی مدولار است و محفظه خلاء، گروه پمپ خلاء و منبع تغذیه کنترل طرح های تقسیم شده است که می تواند با توجه به نیاز واقعی کاربران تنظیم شود.

· منبع تغذیه را می توان با توجه به نیازهای واقعی کاربر انتخاب کرد. یک منبع تغذیه می تواند چندین تفنگ هدف را کنترل کند، یا چندین منبع تغذیه می تواند یک تفنگ هدف را کنترل کند.

پارامترهای فنی دستگاه کندوپاش مگنترون خلاء:

نام محصول	ابزار کندوپاش مگنترون با خلاء بالا VTC-600G
مدل محصول	VTC-600G
پارامترهای اصلی	1. ساختار: ساختار درب جلو رومیزی، سیستم اگزوز عقب.
	2. خلاء نهایی: 6.0X10-5Pa.
	3. نرخ نشت: 1h≤0.5Pa.
	4. زمان اگزوز حدود 20 دقیقه از اتمسفر تا 5.0X10-3 است.
	5. گروه پمپ خلاء: پمپ مکانیکی + پمپ مولکولی.
	6. مرحله نمونه: φ140، دمای اتاق -500 ℃، دقت ± 1 ℃ (دما را می توان با توجه به نیازهای واقعی افزایش داد) چرخش قابل تنظیم در 5rpm-20rpm. تابع بایاس را می توان با توجه به نیاز مشتری برای دستیابی به پوشش با کیفیت بالاتر اضافه کرد.
	7. سیستم پر کردن گاز: 2 متر جریان جرمی (هر کدام آرگون/نیتروژن).
	8. زاویه بین سر هدف و محور مرکزی مرحله نمونه 34 درجه است.
	9. تعداد سر هدف: 3 (120 درجه نسبت به یکدیگر).
	10. روش خنک کننده تفنگ هدف: خنک کننده با آب.
	11. اندازه مواد هدف: φ2 اینچ، ضخامت 0.1-5 میلی متر (ضخامت به دلیل مواد هدف مختلف متفاوت است).
	12. مشخصات محصول: · ابعاد: اندازه دستگاه کامل: 700mm×852mm×1529mm.

لوازم جانبی اختیاری تجهیزات کندوپاش مگنترون:

گارانتی:

یک سال محدود با پشتیبانی مادام العمر (بدون احتساب قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری)

لجستیک:

درباره ما：

ما یک شرکت با فناوری پیشرفته هستیم که بر تحقیق و توسعه و تولید ماشین آلات پوشش تمرکز دارد و همچنین در صنعت پیشرو هستیم. هر یک از محصولات ما با دقت طراحی شده و توسط طراحان آزمایش شده است و دارای سطح بالایی در عملکرد و دقت تجهیزات است. ما نه تنها بر روی خود محصول تمرکز می کنیم، بلکه به نوآوری های تکنولوژیکی و روابط با مشتری نیز توجه می کنیم و متعهد به ارائه ابزارهای آزمایشی سطح بالا به مشتریان جهانی هستیم.