لایه‌نشانی کندوپاش مگنترونی با خلاء بالا
۱. حداکثر خلاء دستگاه لایه نشانی کندوپاش تک سر می‌تواند به ۸.۰X۱۰-۵Pa برسد.
۲. دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ تک سر مجهز به ۱ محفظه گرمایش تبخیر، ۲ ایستگاه کوره منبع پرتو (۱ کوره منبع پرتو استاندارد است)، ۱ مجموعه کنتور جریان (یک مجموعه گاز آرگون) با پنجره مشاهده شیشه‌ای φ150 است.
۳. پس از دریافت دستگاه لایه نشانی پاششی تک سر، ما خدمات جامع پس از فروش، مانند راهنمایی از راه دور را نیز ارائه خواهیم داد.
- Shenyang Kejing
- شنیانگ، چین
- ۱۰ روز کاری
- ۵۰ مجموعه
- اطلاعات
معرفی دستگاه لایه نشانی کندوپاش مگنترونی در خلاء بالا:
دستگاه لایه نشانی مگنترون خلاء بالا وی تی سی-1HD-زداف۲ یک دستگاه لایه نشانی چند منظوره در خلاء بالا است که شامل یک دستگاه لایه نشانی مگنترون تک هدفه می باشد. از دستگاه لایه نشانی مگنترون خلاء بالا می توان برای تهیه فیلم های فروالکتریک تک یا چند لایه، فیلم های رسانا، فیلم های آلیاژی، فیلم های نیمه هادی، فیلم های سرامیکی، فیلم های دی الکتریک، فیلم های نوری، فیلم های اکسیدی، فیلم های سخت، فیلم های پلی تترافلوئورواتیلن و غیره استفاده کرد.
مزایای دستگاه لایه نشانی پلاسمایی مگنترون اسپاترینگ:
۱. دستگاه لایه نشانی پلاسمای مگنترون مجهز به یک محفظه گرمایشی رسوب بخار است که به ویژه برای رسوب بخار فیلم‌های فلزی حساس به اکسیژن (مانند تیتانیوم، آلومینیوم، طلا و غیره) مناسب است. یک بافل قابل چرخش در بالای محفظه گرمایش دستگاه لایه نشانی پلاسمای مگنترون، ۲ ایستگاه کوره منبع پرتو (۱ کوره منبع پرتو استاندارد است). ۱ مجموعه کنتور جریان (یک مجموعه گاز آرگون) با پنجره مشاهده شیشه‌ای φ۱۵۰ وجود دارد.
۲. محدوده کاربرد دستگاه لایه نشانی پلاسمایی مگنترون: آماده سازی دستگاه برای مواد پروسکایت، مواد دوبعدی، سلول‌های خورشیدی فتوولتائیک و غیره
۳.۳ دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ با ورودی برق تک سر: AC220V/50Hz. توان کمتر از ۳.۵ کیلووات.
پارامترهای فنی دستگاه پوشش‌دهی با روش کندوپاش پلاسمای مگنترون:
| نام محصول | دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ مگنترونی خلاء بالا وی تی سی-1HD-زداف۲ | |
| مدل محصول | وی تی سی-1HD-زداف۲ | |
| پارامترهای اصلی | ۱. محفظه خلاء: φ۳۲۴×۳۳۰ جاروبرقی نهایی ۸.۰×10-5پا (سیستم پمپ مولکولی) میزان نشت: ۲.۰×10-10پ.م3/ها جنس آن از فولاد ضد زنگ 304 جوشکاری شده و سطح آن با عملیات پرداخت الکتروشیمیایی صیقل داده شده است. قسمت فعال با یک حلقه آب‌بندی لاستیکی و قسمت غیرفعال با یک حلقه آب‌بندی مسی آب‌بندی شده است. انتقال قدرت از اتصال کوپلینگ مغناطیسی استفاده می‌کند. محفظه خلاء دارای یک موقعیت هدف کنترل مغناطیسی، مجموعه‌ای از الکترودهای تبخیر (دو) و دو موقعیت کوره منبع پرتو (کوره استاندارد با یک منبع پرتو) است. یک مجموعه فلومتر (یک مجموعه گاز آرگون) با پنجره مشاهده شیشه‌ای φ150 و یک رابط فلنج C35 رزرو شده است. | |
2. سر هدف پاشش: 2 اینچ (φ50.8 میلی‌متر) خلاء کاری: 10Pa ~ 0.2Pa. میزان استفاده از مواد هدف: ههههه35% (هدف مسی استاندارد 3 میلی‌متری، خلاء سطح هدف 0.5Pa) حداکثر توان: <240 وات (کاملاً خنک) ولتاژ عایق: > 2000 ولت (با منبع تغذیه 1500 وات دی سی) | ||
۳. تبخیر مقاومتی: ولتاژ خروجی تبخیر: ای سی 0-8V قابل تنظیم مداوم. جریان تبخیر محدود 200 آمپر. قدرت تبخیر محدود <1.6KW. دما غیرقابل کنترل و غیرقابل اندازه‌گیری است. | ||
۴. کوره منبع پرتو: ظرفیت بوته: ۳CC. دمای گرمایش: دمای اتاق تا ۷۰۰ درجه سانتیگراد. دمای گرمایش را می‌توان اندازه‌گیری، تنظیم و کنترل کرد. دقت کنترل دما: ±۰.۵ درجه سانتیگراد. بوته کوارتز با بافل و ترموکوپل به صورت استاندارد. منبع تغذیه: ۵۰۰ وات، ۳۶ ولت. | ||
۵. جایگاه نمونه: φ۱۲۰. کنترل دما: دمای اتاق - ۵۰۰ درجه سانتیگراد. سرعت: ۱-۲۰ دور در دقیقه جایگاه نمونه‌برداری را می‌توان به صورت دستی بالا و پایین برد، و حداکثر میزان حرکت آن 50 میلی‌متر است. | ||
۶. ضخامت سنج فیلم هوش هیجانی (EQ)-TM106-1. ۱) منبع تغذیه: دی سی 5V (±۱۰%)، حداکثر جریان ۴۰۰ میلی‌آمپر. ۲) وضوح فرکانس: ±۰.۰۳ هرتز. ۳) وضوح ضخامت فیلم: ۰.۰۱۳۶ آنگستروم (آلومینیوم). ۴) دقت ضخامت لایه نازک: ±۰.۵٪، بسته به شرایط فرآیند، به ویژه موقعیت حسگر، تنش ماده، دما و چگالی. 5) سرعت اندازه‌گیری: 100ms-1s/زمان، قابل تنظیم. ۶) محدوده اندازه‌گیری: ۵۰۰۰۰۰ آنگستروم (آلومینیوم). ۷) کریستال سنسور استاندارد: ۶ مگاهرتز. ۸) رابط کامپیوتر: رابط سریال آر اس-232/485 (نرخ باود ۱۲۰۰، ۲۴۰۰، ۴۸۰۰، ۹۶۰۰، ۱۹۲۰۰، ۳۸۴۰۰ قابل تنظیم است، بیت داده: ۸، بیت توقف: ۱، بررسی: هیچکدام) ۹) خروجی آنالوگ: وضوح ۸ بیتی، خروجی مدولاسیون پهنای پالس مدولاسیون پهنای پالس (PWM) (خروجی کلکتور باز یا ۵ ولت داخلی) ۱۰) محیط کار: دمای ۰-۵۰ درجه سانتیگراد، رطوبت ۵٪-۸۵٪ آر اچ، بدون چگالش. ۱۱) ابعاد: ۹۰ میلی‌متر × ۵۰ میلی‌متر × ۱۸ میلی‌متر. | ||
| ۷. این تجهیزات به صورت استاندارد مجهز به چیلر (مدل KJ5000) هستند. مشتریان ملزم به تهیه چیلر و آب دیونیزه یا آب تصفیه شده شخصی خود هستند. | ||
| ۸. برق ورودی کل دستگاه: AC220V/50Hz. توان کمتر از ۳.۵ کیلووات. | ||
۹. مشخصات محصول: ابعاد: حدود ۱۱۰۰ میلی‌متر × ۶۵۰ میلی‌متر × ۱۱۰۰ میلی‌متر. وزن: حدود ۱۶۰ کیلوگرم. |
| |
درباره ما:
ما تجهیزات تولیدی پیشرفته و یک سیستم مدیریت کیفیت دقیق داریم تا اطمینان حاصل کنیم که هر محصول مطابق با استانداردهای بین‌المللی است. در میان آنها، دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ تک سر ما به ویژه برای تبخیر فیلم‌های فلزی حساس به اکسیژن مناسب است. این دستگاه عملکرد پایداری دارد و به طور گسترده در زمینه تحقیقات مواد مورد استفاده قرار می‌گیرد. تیم تحقیق و توسعه ما همچنان به نوآوری ادامه می‌دهد و تقاضای بازار و بازخورد مشتری را برای ارائه راه‌حل‌های دقیق‌تر و کارآمدتر ترکیب می‌کند. با سال‌ها تجربه در صنعت و دانش فنی، ما نه تنها شهرت خوبی در صنعت کسب کرده‌ایم، بلکه از سوی بسیاری از مشتریان نیز به رسمیت شناخته شده‌ایم.
