روکش پراکنده مگنترون با خلاء بالا
1. خلاء نهایی پوشش کندوپاش با سر تک می تواند به 8.0X10-5Pa برسد.
2. پوشش کندوپاش با سر تک مجهز به 1 قایق گرمایش تبخیر، 2 ایستگاه کوره منبع پرتو (1 کوره منبع پرتو استاندارد است)، 1 مجموعه جریان سنج (یک مجموعه گاز آرگون) با پنجره مشاهده شیشه ای φ150.
3. پس از دریافت روکش کندوپاش با سر تک، ما خدمات پس از فروش جامعی مانند راهنمایی از راه دور را نیز ارائه خواهیم داد.
- Shenyang Kejing
- شن یانگ، چین
- 10 روز کاری
- 50 ست
- اطلاعات
معرفی روکش کندوپاش مگنترون با خلاء بالا:
روکش کندوپانی مگنترون با خلاء بالا VTC-1HD-ZF2 یک تجهیزات پوشش دهی با خلاء بالا چند منظوره است که شامل یک ابزار کندوپاش مگنترون هدف تکی است. پوشش پراکنده مگنترون خلاء بالا را می توان برای تهیه فیلم های فروالکتریک تک یا چند لایه، فیلم های رسانا، فیلم های آلیاژی، فیلم های نیمه هادی، فیلم های سرامیکی، فیلم های دی الکتریک، فیلم های نوری، فیلم های اکسید، فیلم های سخت، فیلم های پلی تترا فلوئورواتیلن و غیره استفاده کرد.
مزایای پوشش پلاسما مگنترون کندوپاش کردن:
1. پوشش دهنده پلاسما مگنترون مجهز به یک قایق گرمایش رسوب بخار است که به ویژه برای رسوب بخار فیلم های فلزی حساس به اکسیژن (مانند Ti، ال، طلا، و غیره) مناسب است. یک بافل قابل چرخش در بالای قایق گرمایش پوشش دهنده پلاسما مگنترون، 2 ایستگاه کوره منبع پرتو (1 کوره منبع پرتو استاندارد است) وجود دارد. 1 ست دبی سنج (یک ست گاز آرگون) با پنجره مشاهده شیشه ای φ150.
2. دامنه کاربرد روکش کندوپاش پلاسما مگنترون: تهیه دستگاه مواد پروسکایت، مواد دو بعدی، سلول های خورشیدی فتوولتائیک و غیره.
3.3. روکش اسپترینگ با ورودی برق تک سر: AC220V/50Hz. قدرت <3.5 کیلووات
پارامترهای فنی پوشش کندوپاش مگنترون پلاسما:
| نام محصول | روکش کندوپاش مگنترون با خلاء بالا VTC-1HD-ZF2 |
| مدل محصول | VTC-1HD-ZF2 |
| پارامترهای اصلی | 1. محفظه خلاء: φ324X330 خلاء نهایی 8.0X10-5Pa (سیستم پمپ مولکولی) نرخ نشت: 2.0x10-10Pa.m3/s مواد جوشکاری فولاد ضد زنگ 304، درمان پرداخت سطح الکتروشیمیایی است. قسمت فعال با حلقه مهر و موم لاستیکی و قسمت غیر فعال با حلقه مهر و موم مسی آب بندی می شود. انتقال نیرو از اتصال جفت مغناطیسی استفاده می کند. محفظه خلاء دارای موقعیت هدف کنترل مغناطیسی، مجموعه ای از الکترودهای تبخیر (دو) و 2 موقعیت کوره منبع پرتو (کوره استاندارد 1 منبع پرتو) است. یک مجموعه فلومتر (یک مجموعه گاز آرگون) با پنجره مشاهده شیشه ای φ150 و رابط فلنج C35 رزرو شده است. |
2. سر هدف کندوپاش: 2 اینچ (φ50.8mm) خلاء کار: 10Pa~0.2Pa. میزان استفاده از مواد مورد نظر: >35٪ (هدف مس استاندارد 3 میلی متر، خلاء سطح هدف 0.5Pa) حداکثر توان: <240W (کاملا خنک شده) ولتاژ عایق: >2000V (با منبع تغذیه 1 500W دی سی) | |
3. تبخیر مقاومتی: ولتاژ خروجی تبخیر: AC 0-8V به طور مداوم قابل تنظیم است. جریان تبخیر محدود 200A. توان تبخیر محدود <1.6KW. دما غیر قابل کنترل و غیر قابل اندازه گیری است. | |
4. کوره منبع تیر: ظرفیت بوته: 3CC. دمای گرمایش: دمای اتاق تا 800 درجه سانتیگراد. دمای گرمایش را می توان اندازه گیری، تنظیم و کنترل کرد. دقت کنترل دما: ± 0.5 درجه سانتیگراد. بوته کوارتز با بافل و ترموکوپل به صورت استاندارد. منبع تغذیه: 500 وات، 36 ولت. | |
5. مرحله نمونه: φ120. کنترل دما: دمای اتاق - 500 درجه سانتیگراد. سرعت: 1-20 دور در دقیقه مرحله نمونه را می توان به صورت دستی بالا و پایین برد، با حداکثر ضربه قابل تنظیم 50 میلی متر. | |
6. ضخامت سنج فیلم EQ-TM106-1. 1) منبع تغذیه: دی سی 5V (±10%)، حداکثر جریان 400mA. 2) وضوح فرکانس: ± 0.03 هرتز. 3) وضوح ضخامت فیلم: 0.0136Å (آلومینیوم). 4) دقت ضخامت فیلم: ± 0.5٪، بسته به شرایط فرآیند، به ویژه موقعیت سنسور، تنش مواد، دما و چگالی. 5) سرعت اندازه گیری: 100ms-1s/زمان، قابل تنظیم. 6) محدوده اندازه گیری: 500000Å (آلومینیوم). 7) کریستال سنسور استاندارد: 6 مگاهرتز. 8) رابط کامپیوتر: رابط سریال RS-232/485 (باود نرخ 1200، 2400، 4800، 9600، 19200، 38400 قابل تنظیم است، بیت داده: 8، بیت توقف: 1، بررسی: هیچکدام) 9) خروجی آنالوگ: وضوح 8 بیت، خروجی مدولاسیون عرض پالس PWM (کلکتور باز یا خروجی 5 ولت داخلی) 10) محیط کار: درجه حرارت 0-50 ℃، رطوبت 5٪ -85٪ RH، بدون تراکم. 11) ابعاد: 90mm×50mm×18mm. | |
| 7. تجهیزات به صورت استاندارد مجهز به چیلر (مدل KJ5000) می باشد. مشتریان موظفند چیلر و آب دیونیزه یا آب تصفیه شده خود را تهیه کنند. | |
| 8. ورودی برق کل دستگاه: AC220V/50Hz. قدرت <3.5 کیلووات | |
9. مشخصات محصول: اندازه: حدود 1300mm×660mm×1200mm. وزن: حدود 160 کیلوگرم. |
درباره ما:
ما تجهیزات تولید پیشرفته و یک سیستم مدیریت کیفیت دقیق داریم تا اطمینان حاصل کنیم که هر محصول با استانداردهای بین المللی مطابقت دارد. در میان آنها، پوشش کندوپاش کردن ما با سر تک به ویژه برای تبخیر لایه های فلزی حساس به اکسیژن مناسب است. عملکرد پایداری دارد و به طور گسترده در زمینه تحقیقات مواد استفاده می شود. تیم تحقیق و توسعه ما به نوآوری ادامه می دهد و تقاضای بازار و بازخورد مشتری را برای ارائه راه حل های دقیق تر و کارآمدتر ترکیب می کند. با سالها تجربه صنعت و انباشت فنی، ما نه تنها شهرت خوبی در صنعت ایجاد کرده ایم، بلکه از مشتریان زیادی نیز به رسمیت شناخته شده ایم.
