داخل صفحه

دستگاه کندوپاش مگنترون سه هدفه

۱. تجهیزات پوشش‌دهی سه‌گانه دارای دقت بالا، خطای کم در نتیجه و آسودگی خاطر بیشتر در حین استفاده هستند.
۲. تجهیزات پوشش‌دهی سه‌گانه به راحتی کار می‌کنند و زمان یادگیری را کاهش می‌دهند.
۳. تجهیزات پوشش‌دهی سه‌گانه برای انواع مواد مناسب است و مصرف تجهیزات متعدد را کاهش می‌دهد.

  • Shenyang Kejing
  • شنیانگ، چین
  • ۱۰ روز کاری
  • ۵۰ مجموعه
  • اطلاعات

معرفی تجهیزات پوشش‌دهی در خلاء سه‌گانه:

دستگاه پوشش‌دهی خلاء سه‌هدفه وی تی سی-600-3HD-1000 یک دستگاه پوشش‌دهی با خلاء بالا است که به تازگی توسط شرکت ما توسعه داده شده است. از این دستگاه می‌توان برای تهیه فیلم‌های فروالکتریک تک‌لایه یا چندلایه، فیلم‌های رسانا، فیلم‌های آلیاژی، فیلم‌های نیمه‌رسانا، فیلم‌های سرامیکی، فیلم‌های دی‌الکتریک، فیلم‌های نوری، فیلم‌های اکسیدی، فیلم‌های سخت، فیلم‌های پلی‌تترافلوئورواتیلن و غیره استفاده کرد. دستگاه پوشش‌دهی خلاء سه‌هدفه وی تی سی-600-3HD-1000 مجهز به سه تفنگ هدف‌گیری و سه منبع تغذیه است، یک منبع تغذیه آر اف برای پوشش‌دهی اسپاترینگ مواد غیررسانا، یک منبع تغذیه دی سی برای پوشش‌دهی اسپاترینگ مواد رسانا و یک هدف مغناطیسی قوی برای پوشش‌دهی اسپاترینگ مواد فرومغناطیسی قابل استفاده است. در مقایسه با تجهیزات مشابه، دستگاه پوشش‌دهی خلاء سه‌هدفه مزایای اندازه کوچک و کارکرد آسان را دارد و می‌توان از طیف گسترده‌ای از مواد استفاده کرد. این دستگاه، یک دستگاه ایده‌آل برای تهیه فیلم‌های مختلف مواد در آزمایشگاه است.


ویژگی‌های اصلی دستگاه لایه‌نشانی سه‌گانه با خلاء بالا:

۱. دستگاه لایه‌نشانی سه‌گانه با خلاء بالا مجهز به سه تفنگ هدف‌گیری است، دو منبع تغذیه آر اف منطبق برای لایه‌نشانی پاششی مواد هدف نارسانا و یک منبع تغذیه دی سی منطبق برای لایه‌نشانی پاششی مواد رسانا استفاده می‌شود.

۲. دستگاه لایه‌نشانی سه‌گانه با خلاء بالا می‌تواند انواع لایه‌های نازک را آماده کند و کاربرد گسترده‌ای دارد.

۳. دستگاه لایه‌نشانی سه‌گانه با خلاء بالا، کوچک و کاربرپسند است.


پارامترهای فنی تجهیزات پوشش سه هدفه:

نام محصولوی تی سی-600-3HD-1000 سه هدفدستگاه کندوپاش مگنترونی

مدل محصول

وی تی سی-600-3HD-1000

شرایط نصب

این دستگاه باید در شرایط دمایی ۲۵ ± ۱۵ ℃ و رطوبت نسبی ۵۵٪ ± ۱۰٪ آر اچ کار کند.

۱. آب: این دستگاه مجهز به یک چیلر خودگردش (پر شده با آب تصفیه شده یا دیونیزه) است.

۲. برق: ۲۲۰ ولت متناوب، ۵۰ هرتز، با اتصال زمین مناسب الزامی است.

۳. گاز: محفظه باید با گاز آرگون (با خلوص ≥ ۹۹.۹۹٪) پر شود. یک سیلندر آرگون (با اتصال دو حلقه‌ای Ø۶ میلی‌متری) و تنظیم‌کننده فشار باید توسط کاربر آماده شود.

۴. میز کار: ابعاد ۱۵۰۰ میلی‌متر × ۶۰۰ میلی‌متر × ۷۰۰ میلی‌متر، با ظرفیت بار ≥ ۲۰۰ کیلوگرم.

۵. تهویه: الزامی است.

پارامترهای اصلی

۱. برق ورودی: ۲۲۰ ولت/۵۰ هرتز.

۲. تعداد اهداف پاشش: ۳.

۳. قطر داخلی محفظه: Ø۳۰۰ میلی‌متر.

۴. روش خنک‌سازی تفنگ هدف‌گیری: خنک‌سازی با آب.

۵. درجه خلاء نهایی: ۷.۴E-۵pa.

۶. مشخصات محفظه خلاء: Φ۳۰۰×۳۳۰ میلی‌متر.

۷. سیستم خلاء: پمپ مکانیکی وی آر دی-16 اف اف-100/150 توربومولکولی.

۸. بازیابی خلاء: سیستم از جو به مدت ۵.۰E-3pa≤30 دقیقه پمپ می‌شود (سیستم برای مدت کوتاهی در معرض جو قرار می‌گیرد).

۹. سیستم باد کردن: کنتور جرمی دو طرفه (یک طرفه آرگون ۱۰۰scc، یک طرفه آرگون ۲۰۰scc) گاز مخصوص قابل تنظیم است.

۱۰. مشخصات هدف کندوپاش: Φ2"، ضخامت ۰.۱-۵ میلی‌متر (ضخامت به دلیل مواد هدف مختلف متفاوت است).

۱۱. جایگاه نمونه: Φ70 میلی‌متر // قابل حرارت (دمای اتاق ~ ۱۰۰۰ درجه سانتیگراد).

مشخصات محصول

اندازه میزبان: عرض ۹۰۰ میلی‌متر × عمق ۶۵۰ میلی‌متر × ارتفاع ۱۱۰۰ میلی‌متر


لوازم جانبی اختیاری

خیر.نامدسته بندی عملکردتصویر
1اهداف مختلف (طلا، ایندیوم، نقره، پلاتین و غیره)اختیاری-
2هدف مغناطیسی قوی (برای پاشش مواد فرومغناطیسی)اختیاری-
3ماسکاختیاری-
4مرحله نمونه برداری ارتعاشیاختیاری-
5دستگاه پوشش‌دهی چرخشی دولایهاختیاریthree-target coating equipment


گارانتی:

یک سال محدود با پشتیبانی مادام العمر (شامل قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری نمی‌شود).


لجستیک

three-target vacuum coating equipment


درباره ما:

شرکت ما سال‌هاست که عمیقاً در زمینه فیلم‌سازی فعالیت دارد و تجربه فوق‌العاده‌ای دارد. در عین حال، شرکت ما تجهیزات متنوعی را برای مواد مختلف و برای رفع نیازهای مختلف شما ارائه می‌دهد. ما همچنین می‌توانیم به شما در آزمایش تأثیر تجهیزات کمک کنیم. شما می‌توانید نمونه‌هایی را ارائه دهید و ما نمونه‌هایی را آماده خواهیم کرد تا بتوانید تأثیر محصولات ما را به طور شهودی‌تری مشاهده کنید. اگر محصولات ما را تأیید می‌کنید، می‌توانید آنها را خریداری کنید و به شما امکان می‌دهیم کار خود را روان‌تر انجام دهید.

از مشاوره گرفته تا خدمات پس از فروش، ما می‌توانیم خدمات درجه یک را به هر مشتری ارائه دهیم. تیم حرفه‌ای ما می‌تواند تجهیزات مناسب را به شما پیشنهاد دهد، در طول استفاده از محصول پشتیبانی فنی ارائه دهد، به سوالات شما پاسخ دهد و به شما در انجام روان‌تر پروژه کمک کند. ما معتقدیم که با سال‌ها تجربه خود، می‌توانیم به شرکت‌های بیشتری در دستیابی به اهدافشان کمک کنیم.


high-Vacuum triple target sputter coater


آخرین قیمت را دریافت می کنید؟ ما در اسرع وقت (ظرف 12 ساعت) پاسخ خواهیم داد
This field is required
This field is required
Required and valid email address
This field is required
This field is required
For a better browsing experience, we recommend that you use Chrome, Firefox, Safari and Edge browsers.