-
روکش چرخشی جمع و جور (8K دور در دقیقه، حداکثر 4 اینچ ویفر) دور انداختن طراحی کم
روکش وکیوم اسپین کوتر VTC-100B یک نسخه ارتقا یافته از روکش اسپین خلاء VTC-100 است. پوشش بالایی برای باز و بسته شدن تا می شود و مجهز به قفل ایمنی است. در عین حال، عملکرد محافظت از پوشش باز را برای تضمین بهتر ایمنی اپراتور دارد.
Send Email جزئیات -
روکش چرخشی ضد خوردگی (6K دور در دقیقه و حداکثر 6 اینچ ویفر)
روکش اسپین خلاء VTC-200P برای فرآیندهای نیمه هادی، کریستال، دیسک نوری، ساخت صفحه و پوشش سطح و غیره مناسب است. این تجهیزات می تواند 12 مجموعه برنامه را ذخیره کند و هر مجموعه شامل 6 مرحله اجرا است. پوشش بالایی محفظه می تواند نمونه را گرم کند (عملکرد اختیاری) که برای فرآیند پوشش مواد لایه نازک با ویسکوزیته بالا مفید است.
Send Email جزئیات -
روکش چرخشی جاروبرقی و کنترل شده با اتمسفر
روکش اسپین خلاء VTC-200PV مناسب برای فرآیندهای نیمه هادی، کریستال، دیسک نوری، صفحه سازی و پوشش سطح و غیره است. مواد فیلمی که به راحتی در هوا اکسید شده و خراب می شوند. هنگامی که محفظه جاروبرقی می شود از یک گیره برای تثبیت نمونه استفاده می شود. این تجهیزات می تواند 12 مجموعه برنامه را ذخیره کند و هر مجموعه شامل 6 مرحله اجرا است.
Send Email جزئیات -
روکش اسپری اولتراسونیک (300-3000 دور در دقیقه، حداکثر 12 اینچ ویفر)
روکش اسپری اسپری اولتراسونیک/چسب پاش VTC-300USS می تواند نسبت استوکیومتری محلول، سرعت پاشش ذرات غبار، اندازه ذرات غبار و سایر پارامترها را دقیقاً کنترل کند. قطر زیرلایه های قابل جذب (سپری اسپری التراسونیک کوتر/چسب پاش VTC-300USS) می تواند تا 12 اینچ (300 میلی متر) باشد.
Send Email جزئیات -
روکش چرخشی با سرعت 20000 دور در دقیقه
روکش اسپین خلاء VTC-100PAH برای فرآیندهای نیمه هادی، کریستال، دیسک نوری، ساخت صفحه و پوشش سطح و غیره مناسب است. نمونه با استفاده از جذب خلاء ثابت می شود تا نمونه ها آزادانه برداشت و قرار داده شوند. موتور به سرعت و پایدار راه اندازی می شود که می تواند یکنواختی و یکنواختی ضخامت پوشش را تضمین کند.
Send Email جزئیات -
روکش چرخشی ضد خوردگی (6K دور در دقیقه و حداکثر 6 اینچ ویفر) -
روکش اسپین خلاء VTC-200P برای فرآیندهای نیمه هادی، کریستال، دیسک نوری، ساخت صفحه و پوشش سطح و غیره مناسب است. این تجهیزات می تواند 12 مجموعه برنامه را ذخیره کند و هر مجموعه شامل 6 مرحله اجرا است. پوشش بالایی محفظه می تواند نمونه را گرم کند (عملکرد اختیاری) که برای فرآیند پوشش مواد لایه نازک با ویسکوزیته بالا مفید است.
Send Email جزئیات
