روکش چرخشی ضد خوردگی (6K دور در دقیقه و حداکثر 6 اینچ ویفر)
نام تجاری Shenyang Kejing
منبع محصول شن یانگ، چین
زمان تحویل 10 روز کاری
ظرفیت عرضه 50 ست
روکش اسپین خلاء VTC-200P برای فرآیندهای نیمه هادی، کریستال، دیسک نوری، ساخت صفحه و پوشش سطح و غیره مناسب است. این تجهیزات می تواند 12 مجموعه برنامه را ذخیره کند و هر مجموعه شامل 6 مرحله اجرا است. پوشش بالایی محفظه می تواند نمونه را گرم کند (عملکرد اختیاری) که برای فرآیند پوشش مواد لایه نازک با ویسکوزیته بالا مفید است.
ویژگی های اصلی
1. این تجهیزات می تواند 12 مجموعه برنامه را ذخیره کند و هر مجموعه شامل 6 مرحله اجرا است. محدوده تنظیم نرخ شتاب و کاهش سرعت برای هر مرحله: 100rpm/s-2000rpm/s، محدوده زمانی برای هر مرحله: 0-60s
2. نمونه با استفاده از جذب خلاء ثابت می شود که کارکرد آن آسان است.
3. درجه خلاء می تواند به -0.08MPa برسد.
4. نمونه ها را می توان به راحتی با استفاده از ابزار موقعیت یابی در مرکز قرار داد تا لرزش یا خروجی های ناشی از ناهماهنگی کاهش یابد.
5. چاک های مختلف را می توان با توجه به مشخصات نمونه استفاده کرد و جایگزینی راحت و ساده است.
6. یک موتور دی سی بدون جاروبک 24 ولت پذیرفته شده است و دارای مزایای قابلیت اطمینان بالا، سازگاری قوی، تعمیر و نگهداری ساده، سر و صدای کم، لرزش کوچک، عملکرد پایدار، راه اندازی سریع و پایدار، عملکرد پایدار پس از شتاب، برای اطمینان از ثبات و یکنواختی ضخامت پوشش
7. این دستگاه را می توان در جعبه دستکش استفاده کرد، اما قسمت کنترل و پمپ خلاء باید در خارج از جعبه قرار گیرد.
8. پوشش را می توان در یک اتمسفر گاز بی اثر (مانند آر، N2) انجام داد.
9. پمپ خلاء نوار موازی بدون روغن دارای مزایای اندازه کوچک، ساختار ساده، عملیات آسان، نگهداری راحت و بدون آلودگی محیطی است.
10. محفظه از مواد PP با عمر طولانی تر برای بهبود توانایی های مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و ترک استرس عالی ساخته شده است و بدنه دستگاه از ساختار آلومینیوم ریخته گری استفاده می کند که با دوام و وزن سبک است.
11. سیستم عامل انگلیسی
12. عملکرد محافظت از پوشش باز را دارد. هنگامی که پوشش بالایی در طول فرآیند پوشش یا در انتهای پوشش باز می شود، سرعت دستگاه بلافاصله کاهش می یابد تا زمانی که متوقف شود.
13. کنترلر یک جعبه کنترل با صفحه نمایش عددی ال سی دی را انتخاب می کند که بصری تر و قابل اعتمادتر است.
تیپارامترهای فنی
نام محصول | روکش چرخشی وکیوم VTC-200P |
نمونه محصول | VTC-200P |
شرایط نصب | این تجهیزات باید در ارتفاع 1000 متر یا کمتر، دمای 25 ± 15 درجه سانتیگراد و رطوبت 55٪ Rh ± 10٪ Rh استفاده شود. 1. آب: مجهز به ورودی و خروجی آب 2. الکتریسیته: AC220V 50Hz، باید زمین خوبی داشته باشد 3. گاز: N/A 4. میز کار: اندازه 600mm×600mm×700mm، تحمل وزن بیش از 50 کیلوگرم 5. دستگاه تهویه: مورد نیاز |
پارامترهای اصلی (مشخصات) | 1. منبع تغذیه: 220 ولت 50 هرتز 2. قدرت موتور: 360W/24V 3. محدوده سرعت: 500rpm-6000rpm قابل تنظیم 4. عملیات برنامه: 12 گروه از برنامه ها را می توان ذخیره کرد، هر گروه شامل 6 مرحله اجرا است. 5. محدوده تنظیم نرخ شتاب و کاهش سرعت هر مرحله: 100rpm/s-2000rpm/s، محدوده زمانی هر مرحله: 0-60s. 6. اندازه چاک: φ100mm 7. دستگاه را می توان با عملکرد گرمایش مجهز کرد: * محدوده گرمایش: RT-100℃ * پوشش بالایی و مخزن سینک/آب از PP ساخته شده است. * دما از یک کنترلر مستقل استفاده می کند که به کنترل برنامه میزبان مربوط نمی شود |
ابعاد و وزن محصول | ابعاد: φ250mm×360mm وزن:20 کیلوگرم
|
اسلوازم جانبی استاندارد
خیر | نام | تعداد | تصویر |
1 | چاک خلاء (φ100 میلی متر) | 1 عدد | |
2 | واشر | 1 عدد | - |
3 | موقعیت یاب مرکزی (شامل 4 گل میخ تعیین موقعیت) | 1 عدد |
|
4 | انژکتور/سرنگ اپوکسی (20 میلی لیتر) | 1 عدد |
|
5 | براکت انژکتور/سرنگ | 1 عدد | - |
6 | پمپ وکیوم بدون روغن | 1 عدد |
|
Oلوازم جانبی اختیاری
خیر | نام | نوع عملکردی | تصویر |
1 | وکیوم چاک سایر مشخصات | (اختیاری) | |
2 | پیپت (ساخت چین) | (اختیاری) | |
3 | پیپت (وارداتی) | (اختیاری) |
|
ضمانتنامه
· یک سال محدود با پشتیبانی مادام العمر (بدون احتساب قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری)
لجستیک
