دستگاه پوشش‌دهی چرخشی (۸ هزار دور در دقیقه، حداکثر ویفر ۴ اینچ) با ۳ سه نظام خلاء
دستگاه لایه نشانی چرخشی خلاء VTC-100 مجهز به 3 سه نظام خلاء (استاندارد) با اندازه‌های مختلف است و سه نظام خلاء مختلف را می‌توان بسته به اندازه نمونه‌ها تنظیم کرد. در حین کار، دستگاه لایه نشانی چرخشی خلاء VTC-100 از روش جذب سطحی صفحات خلاء برای تثبیت نمونه روی صفحه نمونه استفاده می‌کند. این دستگاه از برنامه دو مرحله‌ای برای کنترل سرعت استفاده می‌کند.
- Shenyang Kejing
- شنیانگ، چین
- ۱۰ روز کاری
- ۵۰ مجموعه
- اطلاعات
معرفی محصول
دستگاه لایه‌نشانی چرخشی خلاء VTC-100 برای فرآیندهایی مانند ساخت نیمه‌هادی‌ها، لیتوگرافی نوری و پوشش‌دهی سطح مناسب است. این دستگاه با بهره‌گیری آسان، تمیز کردن راحت و طراحی جمع‌وجور، عمدتاً در آزمایشگاه‌های دانشگاه‌ها و مؤسسات تحقیقاتی برای تهیه لایه‌های نازک استفاده می‌شود.
این دستگاه از روش چفت و بست خلاء برای تثبیت نمونه استفاده می‌کند که امکان بارگیری و تخلیه آسان نمونه‌ها را فراهم می‌کند و در عین حال مراحل عملیاتی پیچیده قبلی را کاهش می‌دهد. این دستگاه به صورت استاندارد با سه چفت و بست خلاء پلی‌پروپیلن (φ25 میلی‌متر، φ50 میلی‌متر و φ100 میلی‌متر) ارائه می‌شود که آن را برای پوشش‌دهی ویفرهای سیلیکونی و سایر مواد با اندازه‌های مختلف مناسب می‌سازد.
سیستم برق داخلی، بخش موتور را از بخش کنترل جدا می‌کند و هر کدام منبع تغذیه مستقلی دارند. سیستم کنترل سرعت از یک میکروکنترلر بسیار مقاوم در برابر تداخل استفاده می‌کند که چرخش پایدار در محدوده ۱۰۰۰ تا ۸۰۰۰ دور در دقیقه را تضمین می‌کند. دستگاه پوشش‌دهی چرخشی به سرعت شروع به کار می‌کند و سرعت پایدار را حفظ می‌کند و یکنواختی و ثبات ضخامت فیلم را تضمین می‌کند. علاوه بر این، اقدامات میرایی ارتعاش در ساختار نصب اعمال می‌شود که باعث می‌شود تجهیزات در حین کار پایدارتر باشند و صدا کاهش یابد.
ویژگی‌های اصلی
۱. سرعت توسط یک برنامه دو مرحله‌ای کنترل می‌شود: چسب در مرحله اول با سرعت کم تزریق می‌شود و چسب در مرحله دوم با سرعت بالا تراز می‌شود.
2. نمونه با جذب خلاء ثابت می‌شود که کار با آن آسان و گرفتن و قرار دادن نمونه راحت است.
3. ساختار آلومینیومی ریخته‌گری شده، عملکرد پایدار و سر و صدای کم
۴. منبع تغذیه موتور و کنترلر به طور مستقل تأمین می‌شوند.
۵. تنظیم سرعت توسط یک کامپیوتر تک تراشه‌ای با قابلیت ضد تداخل بالا کنترل می‌شود و سرعت در محدوده ۱۰۰۰ تا ۸۰۰۰ دور در دقیقه بسیار پایدار است.
6. صفحه نمایش دیجیتال LED، با عملکرد نمایش شمارش معکوس پوشش چرخشی
۷. پمپ خلاء میله موازی بدون روغن مزایای اندازه کوچک، ساختار ساده، عملکرد آسان، نگهداری راحت و عدم آلودگی محیط زیست را دارد.
تیپارامترهای فنی
نام محصول | دستگاه لایه نشانی چرخشی در خلاء VTC-100 | |
مدل محصول | وی تی سی-100 | |
شرایط نصب | ۱. دما و رطوبت: ۱۰-۸۵٪ RH (در دمای ۲۵ درجه سانتیگراد بدون چگالش) دما: ۰-۴۵ درجه سانتیگراد. 2. هیچ منبع لرزش قوی و گاز خورنده ای در اطراف تجهیزات وجود ندارد. ۳. آب لازم نیست ۴. برق: تک فاز: AC220V 50Hz 10A. ۵. گاز: فشار منفی خلاء (پمپ خلاء) سرعت جریان اگزوز کمتر از ۷۰ لیتر در دقیقه نباشد 6. میز کار: 800 میلی‌متر × 600میلی‌متر×تحمل وزن بیش از ۱۰۰ کیلوگرم توسط ۷۰۰ میلی‌متر توصیه می‌شود (سکوی سیمانی محکم بهتر است) 7. دستگاه تهویه: هیچ الزام خاصی ندارد | |
پارامترهای اصلی | ۱. رابط منبع تغذیه: پریز برق با بیمه: AC220/110V 50/60Hz، مشخصات لوله بیمه ۱۰A، φ5×20mm 2. قدرت کل: ≤150 وات ۳. سینی نمونه (لیوان مکش): لیوان مکش خلاء پلی‌پروپیلن Φ۲۵ میلی‌متر φ۵۰ میلی‌متر φ۱۰۰ میلی‌متر، از هر کدام یک عدد ۴. حالت عملکرد: چرخش در خلاف جهت عقربه‌های ساعت، با دو مرحله عملکرد 5. سرعت پوشش: سرعت SPD1: 500-8000 دور در دقیقه موثر سرعت SPD2: 500-8000 دور در دقیقه موثر 6. زمان پوشش: زمان T1: 1--600 ثانیه موثر زمان T2: 1 تا 600 ثانیه موثر ۷. پایداری سرعت: ±۱٪ 8. حالت کنترل: میکرو کامپیوتر تک تراشه PCB، کنترل دکمه، صفحه نمایش لوله دیجیتال | |
۹. مشخصات محصول: ابعاد: ۳۸۰ میلی‌متر × ۲۶۰ میلی‌متر × ۳۳۰ میلی‌متر · وزن: ۱۲ کیلوگرم |
| |
سلوازم جانبی استاندارد
خیر. | نام | تعداد | تصویر |
1 | چاک خلاء (پی پی،Ø25 میلی‌متر،Ø50 میلی‌متر،Ø100 میلی‌متر) | هر کدام ۱ عدد | |
2 | تزریق کننده/سرنگ | ۱ عدد | |
3 | پمپ خلاء بدون روغن | ۱ عدد |  |
اینلوازم جانبی اختیاری
خیر. | نام | نوع عملکردی | تصویر |
1 | سه نظام مخصوص وکیوم (PTFE، آلیاژ آلومینیوم) | (اختیاری) | - |
2 | سه نظام میکرو | (اختیاری) | |
3 | فیلتر (برای پمپ خلاء) | (اختیاری) | - |
4 | پیپت (ساخت چین) | (اختیاری) | |
5 | پیپت (وارداتی) | (اختیاری) | |
6 | صفحه بستن نمونه | (اختیاری) |
|
گارانتی
یک سال محدود با پشتیبانی مادام العمر (شامل قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری نمی‌شود)
لجستیک
