دستگاه لایه نشانی چرخشی ضد خوردگی (6 هزار دور در دقیقه و حداکثر ویفر 6 اینچی)

معرفی محصول

دستگاه لایه‌نشانی چرخشی خلاء وی تی سی-200P برای فرآیندهای لایه‌نشانی سطح در نیمه‌هادی‌ها، کریستال‌ها، دیسک‌های نوری، لیتوگرافی و کاربردهای مرتبط طراحی شده است. این دستگاه برای تهیه پوشش‌ها با استفاده از محلول‌های اسیدی قوی یا قلیایی قوی مناسب است.

خود محفظه قابل تخلیه نیست؛ در عوض، در حین کار، نمونه با جذب چاک خلاء روی نگهدارنده زیرلایه ثابت می‌شود. این سیستم می‌تواند تا 12 برنامه را ذخیره کند که هر کدام شامل 6 مرحله متوالی است. سرعت چرخش‌های مختلف را می‌توان برای هر مرحله تنظیم کرد و به پوشش‌دهنده اجازه می‌دهد تا به تدریج به حداکثر سرعت خود برسد. این امر تشکیل لایه نازک یکنواخت روی سطح نمونه را تضمین می‌کند و در عین حال ضایعات مواد را به حداقل می‌رساند.

پوشش بالایی محفظه می‌تواند به صورت اختیاری به عملکرد گرمایشی مجهز شود که پوشش‌دهی مواد فیلم با ویسکوزیته بالا را تسهیل می‌کند.

دستگاه لایه نشانی چرخشی در خلاء وی تی سی-200P با مزایایی مانند کارکرد آسان، تمیز کردن راحت و طراحی جمع و جور، به طور گسترده در آزمایشگاه‌های دانشگاه‌ها و موسسات تحقیقاتی برای تهیه لایه نازک مورد استفاده قرار می‌گیرد.

ویژگی‌های اصلی

۱. این دستگاه می‌تواند ۱۲ مجموعه برنامه را ذخیره کند و هر مجموعه شامل ۶ مرحله اجرا است. محدوده تنظیم سرعت شتاب‌گیری و کاهش سرعت برای هر مرحله: ۱۰۰ دور در دقیقه بر ثانیه تا ۲۰۰۰ دور در دقیقه بر ثانیه، محدوده زمانی برای هر مرحله: ۰ تا ۶۰ ثانیه

2. نمونه با استفاده از جذب خلاء تثبیت می‌شود که کار با آن آسان است.

۳. درجه خلاء می‌تواند به -۰.۰۸ مگاپاسکال برسد.

۴. نمونه‌ها را می‌توان به راحتی با استفاده از ابزار موقعیت‌یابی در مرکز قرار داد تا لرزش یا پرتاب شدن ناشی از عدم تراز کاهش یابد.

5. با توجه به مشخصات نمونه، می‌توان از چاک‌های مختلف استفاده کرد و تعویض آن راحت و ساده است.

۶. یک موتور دی سی بدون جاروبک ۲۴ ولتی به کار گرفته شده است که دارای مزایای قابلیت اطمینان بالا، سازگاری قوی، تعمیر و نگهداری ساده، سر و صدای کم، لرزش کم، عملکرد پایدار، راه‌اندازی سریع و پایدار، عملکرد پایدار پس از شتاب‌گیری است تا از ثبات و یکنواختی ضخامت پوشش اطمینان حاصل شود.

۷. این دستگاه را می‌توان در جعبه‌ی دستکش‌دار استفاده کرد، اما قسمت کنترل و پمپ خلاء باید خارج از جعبه قرار گیرند.

۸. پوشش‌دهی را می‌توان در اتمسفر گاز بی‌اثر (مانند آر، N2) انجام داد.

۹. پمپ خلاء میله موازی بدون روغن مزایای اندازه کوچک، ساختار ساده، عملکرد آسان، نگهداری راحت و عدم آلودگی محیط زیست را دارد.

۱۰. محفظه از جنس پی پی با طول عمر بیشتر ساخته شده است تا توانایی مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و ترک خوردگی ناشی از تنش عالی را بهبود بخشد، و بدنه دستگاه از ساختار آلومینیوم ریخته‌گری شده استفاده می‌کند که بادوام و سبک وزن است.

۱۱. سیستم عامل انگلیسی

۱۲. این دستگاه دارای عملکرد محافظت در برابر باز شدن پوشش است. هنگامی که پوشش بالایی در طول فرآیند پوشش‌دهی یا در پایان پوشش‌دهی باز می‌شود، دستگاه بلافاصله به سرعت سرعت خود را کاهش می‌دهد تا زمانی که متوقف شود.

۱۳. کنترلر از یک جعبه کنترل واحد با نمایشگر عددی ال سی دی استفاده می‌کند که شهودی‌تر و قابل اعتمادتر است.

تیپارامترهای فنی

سلوازم جانبی استاندارد

اینلوازم جانبی اختیاری

گارانتی

· محدودیت زمانی یک ساله با پشتیبانی مادام العمر (شامل قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری نمی‌شود)

لجستیک