
دستگاه لایه نشانی چرخشی قابل وکیوم و کنترل شده با اتمسفر
دستگاه لایه نشانی چرخشی خلاء وی تی سی-200PV برای فرآیندهای نیمه هادی، کریستال، دیسک نوری، ساخت پلیت و پوشش سطح و غیره مناسب است. محفظه دستگاه لایه نشانی چرخشی خلاء وی تی سی-200PV را میتوان برای پوشش دادن نمونه در شرایط کاملاً خلاء، خلاء کرد که برای مواد فیلم که به راحتی اکسید شده و در هوا خراب میشوند، مناسب است. هنگام خلاء شدن محفظه، از یک گیره برای ثابت کردن نمونه استفاده میشود. این دستگاه میتواند 12 مجموعه برنامه را ذخیره کند و هر مجموعه شامل 6 مرحله اجرا است.
- Shenyang Kejing
- شنیانگ، چین
- ۱۰ روز کاری
- ۵۰ مجموعه
- اطلاعات
معرفی محصول
دستگاه لایهنشانی چرخشی خلاء وی تی سی-200PV برای فرآیندهای لایهنشانی سطح در نیمههادیها، کریستالها، دیسکهای نوری، لیتوگرافی و کاربردهای مرتبط طراحی شده است. این دستگاه برای تهیه پوششها با محلولهای اسیدی قوی یا قلیایی قوی مناسب است.
این سیستم میتواند محفظه پوششدهی را تخلیه کند و به نمونهها اجازه دهد تحت خلاء کامل پوششدهی شوند. این ویژگی به ویژه برای مواد لایه نازک که مستعد اکسیداسیون یا تخریب در هوا هستند، مناسب است. در طول عملیات خلاء، نمونهها با استفاده از یک گیره نمونه ثابت میشوند.
وقتی از تخلیه خلاء استفاده نمیشود، نمونهها از طریق جذب خلاء روی نگهدارنده زیرلایه نگه داشته میشوند. این سیستم میتواند تا 12 برنامه را ذخیره کند که هر کدام شامل 6 مرحله متوالی است. سرعت چرخشهای مختلف را میتوان برای هر مرحله تنظیم کرد و به پوششدهنده اجازه میدهد تا به تدریج به حداکثر سرعت خود برسد. این امر تشکیل لایه نازک یکنواخت روی سطح نمونه را تضمین میکند و در عین حال ضایعات مواد را به حداقل میرساند.
دستگاه لایه نشانی چرخشی در خلاء وی تی سی-200PV با مزایایی مانند کارکرد آسان، تمیز کردن راحت و طراحی جمع و جور، به طور گسترده در آزمایشگاههای دانشگاهها و موسسات تحقیقاتی برای تهیه لایه نازک استفاده میشود.
ویژگیهای اصلی
۱. این دستگاه میتواند ۱۲ مجموعه برنامه را ذخیره کند و هر مجموعه شامل ۶ مرحله اجرا است. محدوده تنظیم سرعت شتابگیری و کاهش سرعت برای هر مرحله: ۱۰۰ دور در دقیقه بر ثانیه تا ۲۰۰۰ دور در دقیقه بر ثانیه، محدوده زمانی برای هر مرحله: ۰ تا ۶۰ ثانیه
۲. نمونه با استفاده از جذب خلاء ثابت میشود و همچنین میتواند با اتصال یا گیره ثابت شود که کار با آن آسان است.
۳. درجه خلاء میتواند به -۰.۰۸ مگاپاسکال برسد.
۴. نمونهها را میتوان به راحتی با استفاده از ابزار موقعیتیابی در مرکز قرار داد تا لرزش یا پرتاب شدن ناشی از عدم تراز کاهش یابد.
5. با توجه به مشخصات نمونه، میتوان از چاکهای مختلف استفاده کرد و تعویض آن راحت و ساده است.
۶. یک موتور دی سی بدون جاروبک ۲۴ ولتی به کار گرفته شده است که دارای مزایای قابلیت اطمینان بالا، سازگاری قوی، تعمیر و نگهداری ساده، سر و صدای کم، لرزش کم، عملکرد پایدار، راهاندازی سریع و پایدار، عملکرد پایدار پس از شتابگیری است تا از ثبات و یکنواختی ضخامت پوشش اطمینان حاصل شود.
۷. پمپ خلاء میله موازی بدون روغن زمانی استفاده میشود که نمونه با جذب خلاء ثابت شده باشد و مزایای اندازه کوچک، ساختار ساده، عملکرد آسان، نگهداری راحت و عدم آلودگی محیط زیست را دارد.
۸. پوششدهی را میتوان در اتمسفر گاز بیاثر (مانند آر، N2) انجام داد.
۹. هنگامی که پوششدهی تحت شرایط خلاء انجام میشود، زیرلایه نمونه با اتصال یا گیره ثابت میشود.
۱۰. محفظه از جنس پی پی با طول عمر بیشتر ساخته شده است تا توانایی مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و ترک خوردگی ناشی از تنش عالی را بهبود بخشد، و بدنه دستگاه از ساختار آلومینیوم ریختهگری شده استفاده میکند که بادوام و سبک وزن است.
۱۱. سیستم عامل انگلیسی
۱۲. این دستگاه دارای عملکرد محافظت در برابر باز شدن پوشش است. هنگامی که پوشش بالایی در طول فرآیند پوششدهی یا در پایان پوششدهی باز میشود، دستگاه بلافاصله به سرعت سرعت خود را کاهش میدهد تا زمانی که متوقف شود.
۱۳. کنترلر از یک جعبه کنترل با نمایشگر عددی ال سی دی استفاده میکند که بصریتر و قابل اعتمادتر است.
تیپارامترهای فنی
نام محصول | دستگاه لایه نشانی چرخشی در خلاء وی تی سی-200PV |
مدل محصول | وی تی سی-200PV |
شرایط نصب | ۱. دما و رطوبت: ۱۰-۸۵٪ آر اچ (در دمای ۲۵ درجه سانتیگراد بدون چگالش) دما: ۰-۴۵ درجه سانتیگراد. ۲. هیچ منبع زلزله قوی و گاز خورنده ای در اطراف تجهیزات وجود ندارد. ۳. آب: این تجهیزات مجهز به خروجی فاضلاب هستند. ۴. برق: تک فاز: AC220V 50Hz 10A. ۵. گاز: فشار منفی خلاء (پمپ خلاء) سرعت جریان اگزوز کمتر از ۷۰ لیتر در دقیقه نباشد (تجهیزات میتوانند گاز بیاثر محافظ را عبور دهند) ۶. میز کار: توصیه میشود ابعاد میز کار ۱۵۰۰ میلیمتر × ۶۰۰ باشد.میلیمتر×۷۰۰ میلیمتر و تحمل بار بیش از ۱۰۰ کیلوگرم (سکوی سیمانی محکم بهتر است) ۷. دستگاه تهویه: هیچ الزام خاصی ندارد |
پارامترهای اصلی (مشخصات) | ۱. رابط منبع تغذیه: سوکت برق فیوزدار: AC220V، ۵۰Hz؛ مشخصات فیوز: ۱۰A، φ5×۲۰mm. ۲. توان کل: ۶۰۰ وات (شامل پمپ خلاء بدون روغن متصل به ۴۵۰ وات). ۳. محفظه اصلی (جنس): پلیپروپیلن. ۴. نگهدارنده بستر (سه نظام + سه نظام وکیوم): پیکربندی استاندارد: ۱ نگهدارنده بستر از نوع سه نظام (قابل تنظیم برای نمونههای ۲، ۳ و ۴ اینچی) و ۱ سه نظام وکیوم پلیپروپیلن با قطر Ø۱۰۰ میلیمتر. ۵. حالت عملیاتی: حداکثر ۱۲ برنامه را ذخیره میکند که هر کدام شامل ۶ مرحله متوالی است. ۶. سرعت چرخش: ۵۰۰ تا ۶۰۰۰ دور در دقیقه (موثر). ۷. نرخ افزایش/کاهش سرعت در هر مرحله: محدوده قابل تنظیم: ۱۰۰–۲۰۰۰ دور در دقیقه بر ثانیه. ۸. زمان در هر مرحله: محدوده قابل تنظیم: ۰ تا ۶۰ ثانیه. ۹. پایداری سرعت: ±۱٪. ۱۰. سیستم کنترل: میکروکنترلر برد مدار چاپی با عملکرد صفحه کلید و نمایشگر ال سی دی ال ام سی. ۱۱. ابعاد و وزن محصول: · واحد اصلی: Ø250 میلیمتر × 360 میلیمتر · جعبه کنترل: ۳۳۰ میلیمتر × ۳۸۰ میلیمتر × ۱۵۰ میلیمتر · وزن: ۲۵ کیلوگرم ۱۲. تجهیزات پشتیبانی: مدل: آ.پ-1400C/V، تغذیه از طریق سوکت متصل به واحد اصلی · ولتاژ: AC220V، 50/60Hz، 2A، 0.45 کیلووات · حداکثر خلاء: -0.0933 مگاپاسکال · سرعت پمپاژ: ۱۵۰ لیتر در دقیقه · پمپ خلاء مکانیکی (برای تخلیه محفظه پوشش) مدل: وی آر دی-8، با سوکت مستقل تغذیه میشود · ولتاژ: AC220V، 50Hz، 2.5A، 0.4 کیلووات · حداکثر خلاء: 5×10⁻² پاسکال · سرعت پمپاژ: 8 متر مکعب در ساعت |
سلوازم جانبی استاندارد
خیر. | نام | تعداد | تصویر |
1 | چاک خلاء (φ100mm) | ۱ عدد | |
2 | صفحه بست ۲ اینچ، ۳ اینچ، ۴ اینچ | ۱ عدد | |
3 | موقعیتیاب/مکانیاب مرکزی (شامل ۴ پایه موقعیتیاب) | ۱ عدد | |
4 | تزریق کننده/سرنگ اپوکسی | ۱ عدد |
|
5 | پمپ خلاء بدون روغن | ۱ عدد | |
6 | پمپ خلاء روتاری پره ای دابل کلیک وی آر دی-8 | ۱ عدد |
اینلوازم جانبی اختیاری
خیر. | نام | نوع عملکردی | تصویر |
1 | چاک خلاء با مشخصات دیگر | (اختیاری) |
|
2 | پیپت (ساخت چین) | (اختیاری) |
|
3 | پیپت (وارداتی) | (اختیاری) | |
4 | پمپ مکانیکی وی آر دی-16 | (اختیاری) |
گارانتی
یک سال محدود با پشتیبانی مادام العمر (شامل قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری نمیشود)
لجستیک