روکش چرخشی ضد خوردگی (6K دور در دقیقه و حداکثر 6 اینچ ویفر) -

نام تجاری Shenyang Kejing

منبع محصول شن یانگ، چین

زمان تحویل 22 روز کاری

ظرفیت عرضه 50 ست

روکش اسپین خلاء VTC-200P برای فرآیندهای نیمه هادی، کریستال، دیسک نوری، ساخت صفحه و پوشش سطح و غیره مناسب است. این تجهیزات می تواند 12 مجموعه برنامه را ذخیره کند و هر مجموعه شامل 6 مرحله اجرا است. پوشش بالایی محفظه می تواند نمونه را گرم کند (عملکرد اختیاری) که برای فرآیند پوشش مواد لایه نازک با ویسکوزیته بالا مفید است.

Email

روکش چرخشی ضد خوردگی (6K دور در دقیقه و حداکثر 6 اینچ ویفر) -

ویژگی های اصلی

1. این تجهیزات می تواند 12 مجموعه برنامه را ذخیره کند و هر مجموعه شامل 6 مرحله اجرا است. محدوده تنظیم نرخ شتاب و کاهش سرعت برای هر مرحله: 100rpm/s-2000rpm/s، محدوده زمانی برای هر مرحله: 0-60s

2. نمونه با استفاده از جذب خلاء ثابت می شود که کارکرد آن آسان است.

3. درجه خلاء می تواند به -0.08MPa برسد.

4. نمونه ها را می توان به راحتی با استفاده از ابزار موقعیت یابی در مرکز قرار داد تا لرزش یا خروجی های ناشی از ناهماهنگی کاهش یابد.

5. چاک های مختلف را می توان با توجه به مشخصات نمونه استفاده کرد و جایگزینی راحت و ساده است.

6. یک موتور دی سی بدون جاروبک 24 ولت پذیرفته شده است و دارای مزایای قابلیت اطمینان بالا، سازگاری قوی، تعمیر و نگهداری ساده، سر و صدای کم، لرزش کوچک، عملکرد پایدار، راه اندازی سریع و پایدار، عملکرد پایدار پس از شتاب، برای اطمینان از ثبات و یکنواختی ضخامت پوشش

7. این دستگاه را می توان در جعبه دستکش استفاده کرد، اما قسمت کنترل و پمپ خلاء باید در خارج از جعبه قرار گیرد.

8. پوشش را می توان در یک اتمسفر گاز بی اثر (مانند آر، N2) انجام داد.

9. پمپ خلاء نوار موازی بدون روغن دارای مزایای اندازه کوچک، ساختار ساده، عملیات آسان، نگهداری راحت و بدون آلودگی محیطی است.

10. محفظه از مواد PP با عمر طولانی تر برای بهبود توانایی های مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و ترک استرس عالی ساخته شده است و بدنه دستگاه از ساختار آلومینیوم ریخته گری استفاده می کند که با دوام و وزن سبک است.

11. سیستم عامل انگلیسی

12. عملکرد محافظت از پوشش باز را دارد. هنگامی که پوشش بالایی در طول فرآیند پوشش یا در انتهای پوشش باز می شود، سرعت دستگاه بلافاصله کاهش می یابد تا زمانی که متوقف شود.

13. کنترلر یک جعبه کنترل با صفحه نمایش عددی ال سی دی را انتخاب می کند که بصری تر و قابل اعتمادتر است.

تیپارامترهای فنی

نام محصول	روکش چرخشی وکیوم VTC-200P
نمونه محصول	VTC-200P
شرایط نصب	1. دما و رطوبت: 10-85٪ RH (در 25 ℃ بدون تراکم) دما: 0-45 ℃. 2. هیچ منبع زلزله قوی و گاز خورنده در اطراف تجهیزات وجود ندارد. 3. آب: تجهیزات مجهز به خروجی فاضلاب است 4. برق: تک فاز: AC220V 50Hz سوکت استاندارد ملی سه قطب 10A باید به خوبی زمین شود 5. گاز: میزان جریان خروجی اگزوز فشار منفی خلاء (پمپ خلاء) کمتر از 70 لیتر در متر نیست (تجهیزات می توانند گاز بی اثر محافظ را عبور دهند) 6. میز کار: توصیه می شود 800X600X700 میلی متر باشد و بار بیش از 100 کیلوگرم را تحمل کند (سکوی سیمان جامد بهتر است) 7. دستگاه تهویه: بدون نیاز خاص
پارامترهای اصلی (مشخصات)	1. رابط منبع تغذیه: سوکت برق با بیمه: AC220V 50Hz، مشخصات لوله بیمه 10A، φ5×20mm است (این دستگاه از سفارشی سازی محصول AC110V 50/60Hz پشتیبانی می کند.) 2. توان کل: ≤150 وات (به استثنای پمپ خلاء خارجی) 3. پوشش حفره میزبان (مواد): پلی پروپیلن 4. سینی نمونه (کاپ مکش): Φ100 فنجان مکش خلاء پلی پروپیلن 1 (با عملکرد گرمایش، از پلی تترا فلوئورواتیلن ساخته شده است) 5. حالت عملیات: 12 مجموعه از برنامه ها را می توان ذخیره کرد، هر مجموعه از برنامه ها شامل 6 مرحله عملیاتی است. 6. سرعت پوشش: 500rpm-6000rpm 7. نرخ شتاب و کاهش سرعت: هر محدوده تنظیم شتاب و کاهش سرعت: 100 دور در دقیقه - 2000 دور در دقیقه 8. زمان پوشش: هر بازه زمانی: 0-60 ثانیه 9. ثبات سرعت: ± 1٪ 10. حالت کنترل: PCB تک تراشه میکرو کامپیوتر کنترل صفحه نمایش ال سی دی LMC 11. حالت گرمایش: تجهیزات استاندارد این عملکرد را ندارند (این دستگاه را می توان با عملکرد گرمایش، سیستم کنترل دمای مستقل، غیر مرتبط با کنترل میزبان سفارشی کرد) 12. دمای گرمایش: حد بالای دمای قابل تنظیم: RT-100℃ 13. قدرت گرمایش: AC220V 1000W 14. دقت کنترل دما: ± 2 ℃
ابعاد و وزن محصول	ابعاد: واحد اصلی: Φ250mmX360mm جعبه کنترل: 330mmX380mmX150mm وزن: 15 کیلوگرم

اسلوازم جانبی استاندارد

خیر	نام	تعداد	تصویر
1	چاک خلاء (φ100 میلی متر)	1 عدد
2	واشر	1 عدد
3	موقعیت یاب مرکزی (شامل 4 گل میخ تعیین موقعیت)	1 عدد
4	انژکتور/سرنگ اپوکسی (20 میلی لیتر)	1 عدد
5	براکت انژکتور/سرنگ	1 عدد
6	پمپ وکیوم بدون روغن	1 عدد

لوازم جانبی اختیاری

خیر	نام	نوع عملکردی	تصویر
1	وکیوم چاک سایر مشخصات	(اختیاری)
2	پیپت (ساخت چین)	(اختیاری)
3	پیپت (وارداتی)	(اختیاری)