دستگاه لایه نشانی چرخشی ضد خوردگی (6 هزار دور در دقیقه و حداکثر ویفر 6 اینچی) -
دستگاه لایه نشانی چرخشی خلاء وی تی سی-200P برای فرآیند نیمه هادی، کریستال، دیسک نوری، ساخت پلیت و پوشش سطح و غیره مناسب است. این دستگاه می‌تواند 12 مجموعه برنامه را ذخیره کند و هر مجموعه شامل 6 مرحله اجرا است. پوشش بالایی محفظه می‌تواند نمونه را گرم کند (عملکرد اختیاری)، که برای فرآیند پوشش مواد لایه نازک با ویسکوزیته بالا مفید است.
- Shenyang Kejing
- شنیانگ، چین
- ۲۲ روز کاری
- ۵۰ مجموعه
- اطلاعات
معرفی محصول
دستگاه لایه‌نشانی چرخشی خلاء وی تی سی-200P برای فرآیندهای لایه‌نشانی سطح در نیمه‌هادی‌ها، کریستال‌ها، دیسک‌های نوری، لیتوگرافی و کاربردهای مرتبط طراحی شده است. این دستگاه برای تهیه پوشش‌ها با استفاده از محلول‌های اسیدی قوی یا قلیایی قوی مناسب است.
خود محفظه قابل تخلیه نیست؛ در عوض، در حین کار، نمونه با جذب چاک خلاء روی نگهدارنده زیرلایه ثابت می‌شود. این سیستم می‌تواند تا 12 برنامه را ذخیره کند که هر کدام شامل 6 مرحله متوالی است. سرعت چرخش‌های مختلف را می‌توان برای هر مرحله تنظیم کرد و به پوشش‌دهنده اجازه می‌دهد تا به تدریج به حداکثر سرعت خود برسد. این امر تشکیل لایه نازک یکنواخت روی سطح نمونه را تضمین می‌کند و در عین حال ضایعات مواد را به حداقل می‌رساند.
پوشش بالایی محفظه می‌تواند به صورت اختیاری به عملکرد گرمایشی مجهز شود که پوشش‌دهی مواد فیلم با ویسکوزیته بالا را تسهیل می‌کند.
دستگاه لایه نشانی چرخشی در خلاء وی تی سی-200P با مزایایی مانند کارکرد آسان، تمیز کردن راحت و طراحی جمع و جور، به طور گسترده در آزمایشگاه‌های دانشگاه‌ها و موسسات تحقیقاتی برای تهیه لایه نازک مورد استفاده قرار می‌گیرد.
ویژگی‌های اصلی
۱. این دستگاه می‌تواند ۱۲ مجموعه برنامه را ذخیره کند و هر مجموعه شامل ۶ مرحله اجرا است. محدوده تنظیم سرعت شتاب‌گیری و کاهش سرعت برای هر مرحله: ۱۰۰ دور در دقیقه بر ثانیه تا ۲۰۰۰ دور در دقیقه بر ثانیه، محدوده زمانی برای هر مرحله: ۰ تا ۶۰ ثانیه
2. نمونه با استفاده از جذب خلاء تثبیت می‌شود که کار با آن آسان است.
۳. درجه خلاء می‌تواند به -۰.۰۸ مگاپاسکال برسد.
۴. نمونه‌ها را می‌توان به راحتی با استفاده از ابزار موقعیت‌یابی در مرکز قرار داد تا لرزش یا پرتاب شدن ناشی از عدم تراز کاهش یابد.
5. با توجه به مشخصات نمونه، می‌توان از چاک‌های مختلف استفاده کرد و تعویض آن راحت و ساده است.
۶. یک موتور دی سی بدون جاروبک ۲۴ ولتی به کار گرفته شده است که دارای مزایای قابلیت اطمینان بالا، سازگاری قوی، تعمیر و نگهداری ساده، سر و صدای کم، لرزش کم، عملکرد پایدار، راه‌اندازی سریع و پایدار، عملکرد پایدار پس از شتاب‌گیری است تا از ثبات و یکنواختی ضخامت پوشش اطمینان حاصل شود.
۷. این دستگاه را می‌توان در جعبه‌ی دستکش‌دار استفاده کرد، اما قسمت کنترل و پمپ خلاء باید خارج از جعبه قرار گیرند.
۸. پوشش‌دهی را می‌توان در اتمسفر گاز بی‌اثر (مانند آر، N2) انجام داد.
۹. پمپ خلاء میله موازی بدون روغن مزایای اندازه کوچک، ساختار ساده، عملکرد آسان، نگهداری راحت و عدم آلودگی محیط زیست را دارد.
۱۰. محفظه از جنس پی پی با طول عمر بیشتر ساخته شده است تا توانایی مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و ترک خوردگی ناشی از تنش عالی را بهبود بخشد، و بدنه دستگاه از ساختار آلومینیوم ریخته‌گری شده استفاده می‌کند که بادوام و سبک وزن است.
۱۱. سیستم عامل انگلیسی
۱۲. این دستگاه دارای عملکرد محافظت در برابر باز شدن پوشش است. هنگامی که پوشش بالایی در طول فرآیند پوشش‌دهی یا در پایان پوشش‌دهی باز می‌شود، دستگاه بلافاصله به سرعت سرعت خود را کاهش می‌دهد تا زمانی که متوقف شود.
۱۳. کنترلر از یک جعبه کنترل واحد با نمایشگر عددی ال سی دی استفاده می‌کند که شهودی‌تر و قابل اعتمادتر است.
تیپارامترهای فنی
نام محصول | دستگاه لایه نشانی چرخشی در خلاء وی تی سی-200P | |
مدل محصول | وی تی سی-200P | |
شرایط نصب | ۱. دما و رطوبت: ۱۰-۸۵٪ آر اچ (در دمای ۲۵ درجه سانتیگراد بدون چگالش) دما: ۰-۴۵ درجه سانتیگراد. ۲. هیچ منبع زلزله قوی و گاز خورنده ای در اطراف تجهیزات وجود ندارد. ۳. آب: این تجهیزات مجهز به خروجی فاضلاب هستند. ۴. برق: تک فاز: AC220V 50Hz 10A. ۵. گاز: فشار منفی خلاء (پمپ خلاء) سرعت جریان اگزوز کمتر از ۷۰ لیتر در دقیقه نباشد (تجهیزات می‌توانند گاز بی‌اثر محافظ را عبور دهند) ۶. میز کار: توصیه می‌شود ۸۰۰ میلی‌متر × ۶۰۰ باشدمیلی‌متر×۷۰۰ میلی‌متر و تحمل بار بیش از ۱۰۰ کیلوگرم (سکوی سیمانی محکم بهتر است) ۷. دستگاه تهویه: هیچ الزام خاصی ندارد | |
پارامترهای اصلی (مشخصات) | ۱. رابط منبع تغذیه: پریز برق با بیمه: AC220V 50Hz، مشخصات لوله بیمه ۱۰A، φ5×20mm است. ۲. توان کل: ≤۱۵۰ وات (به استثنای پمپ خلاء خارجی) ۳. پوشش حفره میزبان (جنس): پلی‌پروپیلن ۴. سینی نمونه (فنجان مکش): Φ۱۰۰ پلی‌پروپیلن، فنجان مکش خلاء ۱ (با عملکرد گرمایشی، از پلی‌تترافلوئورواتیلن ساخته شده است) 5. حالت عملیات: 12 مجموعه برنامه قابل ذخیره است، هر مجموعه برنامه شامل 6 مرحله عملیاتی است 6. سرعت پوشش: 500rpm-6000rpm ۷. نرخ شتاب‌گیری و کاهش سرعت: محدوده تنظیم شتاب‌گیری و کاهش سرعت هر کدام: ۱۰۰ دور در دقیقه — ۲۰۰۰ دور در دقیقه ۸. زمان پوشش: هر محدوده زمانی: ۰-۶۰ ثانیه ۹. پایداری سرعت: ±۱٪ 10. حالت کنترل: کنترل کلید میکرو کامپیوتر تک تراشه برد مدار چاپی با صفحه نمایش ال سی دی ال ام سی ۱۱. حالت گرمایش: تجهیزات استاندارد این عملکرد را ندارند (این دستگاه را می‌توان با عملکرد گرمایش، سیستم کنترل دمای مستقل، غیرمرتبط با کنترل میزبان، سفارشی‌سازی کرد) ۱۲. دمای گرمایش: حد بالای دمای قابل تنظیم: آر تی-100℃ ۱۳. توان گرمایش: AC220V 1000W ۱۴. دقت کنترل دما: ±۲℃ | |
۱۵. مشخصات محصول： · ابعاد: · واحد اصلی: Φ250mm×360mm · جعبه کنترل: ۳۳۰ میلی‌متر×۳۸۰ میلی‌متر×۱۵۰ میلی‌متر · وزن: ۱۵ کیلوگرم |
| |
سلوازم جانبی استاندارد
خیر. | نام | تعداد | تصویر |
1 | چاک خلاء (φ100mm) | ۱ عدد | |
2 | حلقه اورینگ | ۱ عدد | |
3 | موقعیت‌یاب/مکان‌یاب مرکزی (شامل ۴ پایه موقعیت‌یاب) | ۱ عدد | |
4 | تزریق کننده/سرنگ اپوکسی (20 میلی لیتر) | ۱ عدد |
|
5 | براکت تزریق/سرنگ | ۱ عدد | |
6 | پمپ خلاء بدون روغن | ۱ عدد |  |
لوازم جانبی اختیاری
خیر. | نام | نوع عملکردی | تصویر |
1 | چاک خلاء با مشخصات دیگر | (اختیاری) | |
2 | پیپت (ساخت چین) | (اختیاری) |
|
3 | پیپت (وارداتی) | (اختیاری) |
|
لجستیک
