دستگاه پاشش پلاسما مگنترون دی سی کوچک

۱. توان ورودی دستگاه کندوپاش پلاسمای مگنترون کوچک: ۲۲۰ ولت ای سی 50/60 هرتز

2. توان دستگاه لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ دی سی آزمایشگاهی: <1000W

۳. ولتاژ خروجی دستگاه لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ آزمایشگاهی دی سی: دی سی 500V

4. جریان پاشش: 0-80 میلی آمپر، قابل تنظیم

5. زمان پاشش: 0-120 ثانیه، قابل تنظیم

۱. ابعاد محفظه کوارتز: قطر خارجی ۱۶۶ میلی‌متر × قطر داخلی ۱۵۰ میلی‌متر × ارتفاع ۱۵۰ میلی‌متر

2. آب‌بندی: اورینگ لاستیکی فلوئور

۳. یک شاتر دستی برای پیش‌پاشش تارگت روی پوشش فلنج نصب شده است. یک اتصال فشاری با قطر ۶.۳۵ میلی‌متر به عنوان دریچه ورودی هوا برای اتصال لوله ورودی هوا عمل می‌کند. یک شیر تخلیه هوای دستی برای پر کردن محفظه کوارتز با هوا استفاده می‌شود.

۴. یک توری از جنس فولاد ضد زنگ، کل محفظه کوارتز را می‌پوشاند تا از پلاسما محافظت کند.

۵. جریان گاز عامل به داخل محفظه با تنظیم شیر کنترل بسیار دقیق در سمت راست محفظه کنترل می‌شود و در نتیجه سطح خلاء درون محفظه تنظیم می‌گردد.

۶. جریان پاشش با تنظیم پتانسیومتر سمت راست محفظه کنترل می‌شود.

۱. یک هد تارگت مگنترون اسپاترینگ ۲ اینچی بدون خنک‌کننده آبی. حداکثر دمای کارکرد هد تارگت مگنترون اسپاترینگ ۸۰ درجه سانتیگراد است. در دمای بالاتر از ۸۰ درجه سانتیگراد، هد تارگت مگنترون اسپاترینگ خاصیت مغناطیسی خود را از دست داده و غیرقابل استفاده می‌شود.

2. زمان پاشش: قابل تنظیم از 1 تا 120 ثانیه

۳. هدف استاندارد مسی گنجانده شده است

۴. الزامات اندازه هدف: φ2" x (0.5-5) میلی‌متر ضخامت

۵. مناسب برای کندوپاش طلا، نقره، مس و سایر فلزات (قابل خریداری از شرکت ما).

۱. یک جایگاه نمونه با ارتفاع قابل تنظیم، با فاصله قابل تنظیم بین جایگاه نمونه و هدف ۲۵-۷۰ میلی‌متر.

۲. اندازه مرحله نمونه: φ2"

۳. گرمایش مرحله نمونه اختیاری، با حداکثر دمای گرمایش ۵۰۰ درجه سانتیگراد.

۱. محدوده اندازه‌گیری: ۱ × ۱۰-۴ میلی‌بار تا ۱۰۰۰ میلی‌بار (۱ × ۱۰-۴ تا ۷۵۰ تور)

۲. دقت: ۱۰۰۰ میلی بار تا ۲۰ میلی بار (۳۰٪ مقدار خوانده شده)

۲۰ تا ۰.۰۰۲ میلی بار (۲٪ مقدار خوانده شده)

۳. تکرارپذیری: ۲۰ تا ۰.۰۰۲ میلی بار (۰.۰۰۰ تا ۰.۰۰۲ میلی بار) ۲٪

۴. رطوبت عملیاتی: ≤۸۰٪ در دمای ۳۰ درجه سانتیگراد، ≤۵۰٪ در دمای ۴۰ درجه سانتیگراد، بدون میعان؛

۵. دمای کارکرد: ۵ تا ۶۰ درجه سانتیگراد

۱. یک ضخامت‌سنج فیلم ارتعاشی کوارتز دقیق روی دستگاه نصب شده است که امکان نظارت بر ضخامت فیلم را در زمان واقعی با وضوح ۰.۱۰ آنگستروم فراهم می‌کند.

۲. نمایشگر ال ای دی هم نمایش و هم ورودی داده‌های ضخامت فیلم را فراهم می‌کند.

۱. مدل: وی آر دی-8

۲. نرخ پمپاژ: ۲.۲ لیتر بر ثانیه

۳. قدرت موتور: ۳۷۰ وات

۴. فشار نهایی: ۵ × ۱۰-۱ پاسکال (بدون بار)

۵. فشار واقعی: ≤ ۵ پاسکال (پمپاژ مکانیکی به مدت ۲۰ دقیقه در شرایط سرد)

۶. برای سطوح خلاء بالاتر (۱۰-۵ تن یا بهتر)، واحدهای خلاء بالای داخلی یا وارداتی موجود است.

ابعاد: ۵۰۰ میلی‌متر × ۳۵۰ میلی‌متر × ۵۵۰ میلی‌متر (طول × عرض × ارتفاع)

وزن: تقریباً 20 کیلوگرم (بدون احتساب پمپ خلاء و تجهیزات خنک‌کننده آب)

۱. برای دستیابی به ضخامت لایه مورد نظر، چندین چرخه کندوپاش مورد نیاز است.

۲. قبل از انجام عملیات کندوپاش، مطمئن شوید که هد کندوپاش، هدف، زیرلایه و صفحه نمونه تمیز هستند.

۳. برای اطمینان از چسبندگی خوب بین فیلم و زیرلایه، سطح زیرلایه را قبل از پاشش تمیز کنید.

یک سال گارانتی و پشتیبانی فنی مادام العمر.

نکات ویژه:

۱. مواد مصرفی مانند المنت‌های حرارتی، لوله‌های کوارتز و بوته‌های نمونه شامل گارانتی نمی‌شوند.

۲. خسارات ناشی از استفاده از گازهای خورنده و اسیدی شامل گارانتی نمی باشد.

· فشار داخل محفظه نباید از 0.02 مگاپاسکال (فشار نسبی) بیشتر شود.

· از آنجا که فشار داخلی سیلندر گاز نسبتاً زیاد است، هنگام ورود گاز به لوله کوارتز، باید یک شیر کاهنده فشار روی سیلندر نصب شود. برای اطمینان از ایمنی، توصیه می‌کنیم فشار زیر 0.02 مگاپاسکال کار کند. برای دقت و ایمنی بیشتر، توصیه می‌کنیم یک شیر کاهنده فشار از شرکت ما خریداری کنید که محدوده 0.01 مگاپاسکال-0.1 مگاپاسکال را دارد.

· ما استفاده از گازهای قابل اشتعال، انفجار یا سمی را توصیه نمی‌کنیم. اگر فرآیند شما نیاز به استفاده از گازهای قابل اشتعال، انفجار یا سمی دارد، لطفاً اقدامات حفاظتی و ضد انفجار مناسب را اجرا کنید. شرکت ما مسئولیتی در قبال مشکلات ناشی از استفاده از گازهای قابل اشتعال، انفجار یا سمی ندارد.