دستگاه پاشش پلاسمایی سه هدفه
۱. این دستگاه لایه‌نشانی پلاسمایی سه‌گانه روتاری تارگت، طراحی جمع‌وجور دارد که باعث صرفه‌جویی در فضای آزمایشگاه و امکان قرارگیری روی میز کار می‌شود.
2. این دستگاه لایه‌نشانی پلاسمایی 33 اینچی روتاری تارگت دارای یک پنل کنترل پی ال سی است که کار با آن را راحت‌تر و شهودی‌تر می‌کند و خطاهای آزمایش را کاهش می‌دهد.
۳. دستگاه لایه‌نشانی پلاسمایی سه‌گانه روتاری تارگت ما، حاصل سال‌ها تجربه است که به طور کامل نیازهای مشتری را برآورده کرده و نتایج فوق‌العاده‌ای ارائه می‌دهد.
- Shenyang Kejing
- شنیانگ، چین
- ۱۰ روز کاری
- ۵۰ مجموعه
- اطلاعات
معرفی دستگاه پوشش‌دهی با روش کندوپاش پلاسما:
دستگاه اسپاترینگ پلاسمای سه هدفه وی تی سی-16-3HD یک سیستم اسپاترینگ لایه نازک پلاسمای فشرده و دارای گواهینامه م. است که قادر به پوشش‌دهی زیرلایه‌هایی با حداکثر قطر 2 اینچ می‌باشد. دستگاه اسپاترینگ پلاسمای سه هدفه دارای یک صفحه کنترل لمسی است و می‌تواند سه ماده هدف مختلف را اسپاتر کند. برای لایه‌های نازک، زمان اسپاترینگ را می‌توان کاهش داد؛ برای لایه‌های ضخیم‌تر، زمان اسپاترینگ را می‌توان افزایش داد. دستگاه اسپاترینگ پلاسمای سه هدفه وی تی سی-16-D در درجه اول برای تولید لایه‌های نازک فلزی با مساحت تولید تا 4 اینچ طراحی شده است. اندازه جمع و جور و مقرون به صرفه بودن بالای آن، آن را به یک سیستم پوشش‌دهی ایده‌آل برای انواع لایه‌های نازک فلزی تبدیل می‌کند.
ویژگی‌های اصلی دستگاه پوشش‌دهی با روش کندوپاش پلاسما:
۱. دستگاه اسپاترینگ پلاسمای ۳ هدفه مجهز به پنل کنترل پی ال سی، صفحه نمایش لمسی ۴.۳ اینچی و کنترل دمای پی آی دی است.
۲. پارامترهای قابل کنترل دستگاه پوشش‌دهی با روش کندوپاش پلاسما شامل سطح خلاء، جریان، موقعیت هدف و دمای گرمایش زیرلایه است.
۳. دستگاه پوشش‌دهی با روش کندوپاش پلاسما می‌تواند با پمپ خلاء و گیره‌های سریع بازشونده از جنس استیل ضد زنگ کی اف دی ۲۵ مورد استفاده قرار گیرد.
۴. دستگاه پوشش‌دهی با روش کندوپاش پلاسما دارای گواهینامه م. است.
پارامترهای فنی دستگاه پوشش دهی با روش پاشش پلاسما:
| نام محصول | تجهیزات اسپاترینگ پلاسمای سه هدفه وی تی سی-16-3HD | |
| مدل | وی تی سی-16-3HD 3 | |
| پارامترهای اصلی | ۱. توان ورودی دستگاه لایه نشانی پلاسمایی سه فاز دوار تارگت: ای سی 220V 50/60Hz ۲. جریان پاشش ۳ دستگاه لایه نشانی پاشش پلاسمای دوار: ۰-۴۰ میلی آمپر، قابل تنظیم 3. قدرت: <1kW ۴. ولتاژ خروجی: حداکثر ۱۶۸۰ ولت دی سی | |
| محفظه پاشش | 1. جنس: محفظه کوارتز ۲. ابعاد: قطر خارجی ۱۶۶ میلی‌متر × قطر داخلی ۱۵۰ میلی‌متر × ۱۵۰ میلی‌متر 3. آب بندی: آب بندی حلقه ای O شکل ۴. یک بافل دستی برای پیش‌پاشش تارگت روی پوشش فلنج نصب شده است. یک اتصال فشاری φ 6.35 میلی‌متری به عنوان دریچه ورودی هوا برای اتصال به لوله ورودی عمل می‌کند. یک شیر تخلیه هوای دستی برای تزریق هوا به محفظه کوارتز استفاده می‌شود. ۵. یک پوشش توری از جنس استیل ضد زنگ، کل محفظه کوارتز را می‌پوشاند تا از پلاسما محافظت کند. |
|
۶. سرعت جریان گاز عامل ورودی به محفظه کوارتز با تنظیم شیر کنترل میکرودقت در سمت راست محفظه کنترل می‌شود و در نتیجه سطح خلاء درون محفظه تنظیم می‌گردد. ۷. جریان پاشش با تنظیم پتانسیومتر سمت راست محفظه کنترل می‌شود.
| ||
| هدف | ۱. سه هدف مسی استاندارد هستند. ۲. ابعاد هدف: φ۴۷ x (۰.۱-۳) میلی‌متر ضخامت. ۳. سایر اهداف فلزی برای خرید از شرکت ما موجود است؛ لطفا برای جزئیات بیشتر با بخش فروش ما تماس بگیرید. ۴. یک بافل دستی برای پیش پاشش تارگت نصب شده است. | |
| مرحله نمونه | ۱. یک پایه نمونه چرخان ۵۰ میلی‌متری با پیچ‌هایی روی ستون نگهدارنده پایه نمونه برای تنظیم ارتفاع پایه نمونه. ۲. زاویه چرخش جایگاه نمونه: ۰/۱۲۰/۲۴۰ درجه. ۳. فاصله بین هدف و پایه نمونه از ۲۰ تا ۷۰ میلی‌متر قابل تنظیم است. ۴. محفظه نمونه می‌تواند به صورت اختیاری گرم شود، حداکثر دمای آن ۵۰۰ درجه سانتیگراد است. |  |
| کنترل پنل | یک صفحه کنترل لمسی یکپارچه پی ال سی با اندازه ۱.۴"، خلاء، جریان و زمان پاشش نمونه را کنترل می‌کند. ۲. یک تابع ثبت داده‌ها، پارامترهای فرآیند مانند خلاء، جریان و زمان پاشش را برای هر اجرای پاشش ثبت می‌کند و دسترسی مشتریان به داده‌ها را آسان می‌سازد. |  |
| سیستم خلاء (اختیاری) | ۱. مدل: وی آر دی-8 ۲. نرخ پمپاژ: ۲.۲ لیتر بر ثانیه ۳. قدرت موتور: ۳۷۰ وات ۴. فشار نهایی: ۵ × ۱۰-۱ پاسکال (بدون بار). ۵. فشار واقعی: ≤ ۵ پاسکال (۲۰ دقیقه پمپاژ مکانیکی در شرایط سرد). |  |
۶. اگر می‌خواهید درجه خلاء بالاتری (۱۰-۵ درجه یا بهتر) داشته باشید، می‌توانید واحدهای خلاء بالای داخلی یا وارداتی را خریداری کنید.
| ||
| مشخصات | ابعاد: ۴۶۰ میلی‌متر × ۴۰۰ میلی‌متر × ۵۰۰ میلی‌متر (طول × عرض × ارتفاع) وزن: تقریباً 20 کیلوگرم |  |
| دستورالعمل‌ها | ۱. برای دستیابی به ضخامت لایه مورد نظر، چندین چرخه کندوپاش مورد نیاز است. ۲. قبل از انجام عملیات پاشش، مطمئن شوید که هد پاشش، هدف، نمونه و صفحه نمونه تمیز هستند. ۳. برای اطمینان از پیوند خوب بین فیلم و زیرلایه، قبل از پاشش، سطح زیرلایه را تمیز کنید. برای این منظور می‌توان از تجهیزات تمیزکننده ما استفاده کرد. ۴. این تجهیزات را می‌توان برای کندوپاش در محفظه‌ی مخصوص (اتمسفر آر یا N2) استفاده کرد. | |
| موارد احتیاط | ۱. فشار محفظه نباید از ۰.۰۲ مگاپاسکال (فشار نسبی) بیشتر شود. ۲. با توجه به فشار بالای داخل سیلندر گاز، هنگام ورود گاز به لوله کوارتز، باید یک شیر کاهنده فشار نصب شود. برای اطمینان از ایمنی، توصیه می‌کنیم در فشاری کمتر از ۰.۰۲ مگاپاسکال کار کنید. برای دقت و ایمنی بیشتر، توصیه می‌کنیم یک شیر کاهنده فشار از شرکت ما خریداری کنید که محدوده فشار آن بین ۰.۰۱ مگاپاسکال تا ۰.۱ مگاپاسکال باشد. ۳. ما استفاده از گازهای قابل اشتعال، انفجار یا سمی را توصیه نمی‌کنیم. اگر فرآیند شما نیاز به استفاده از گازهای قابل اشتعال، انفجار یا سمی دارد، لطفاً اقدامات حفاظتی و ضد انفجار مناسب را اجرا کنید. شرکت ما هیچ مسئولیتی در قبال هرگونه مشکل ناشی از استفاده از گازهای قابل اشتعال، انفجار یا سمی بر عهده نمی‌گیرد. | |
| انطباق | گواهینامه م.، یو ال یا سی اس ای با هزینه اضافی در دسترس است. | |
درباره ما:
در عین حال، خط تولید ما زمینه‌های مختلفی از تجهیزات آزمایشگاهی، اره برش و برش، ماشین سنگ‌زنی و پرداخت، سیستم ذوب، کوره آزمایشگاهی و غیره را پوشش می‌دهد. برای جهت‌های مختلف تحقیقاتی شما، ما تجهیزات مربوطه را برای کمک به پروژه شما و بهبود عملکرد و دقت واقعی پروژه داریم.
ما همچنین خدمات سفارشی مربوطه را ارائه می‌دهیم. با توجه به متغیرهای موجود در هر آزمایش، می‌توانیم طرح‌ها یا توصیه‌های اضافی را بر اساس شرایط شما ارائه دهیم. لطفاً برای جزئیات خاص با تیم ما مشورت کنید.
