
دستگاه پوششدهی چرخشی پرسرعت با پوشش گرمایشی ۲۰۰ درجه سانتیگراد
دستگاه لایه نشانی چرخشی خلاء وی تی سی-100PA-دوم برای فرآیندهای نیمه هادی، کریستال، دیسک نوری، ساخت پلیت و پوشش سطح و غیره مناسب است. میتوان از آن برای محلولهای پوشش اسیدی قوی و قلیایی قوی استفاده کرد. این دستگاه مجهز به دو سه نظام خلاء با اندازههای مختلف (برای استاندارد) است که بر اساس اندازه نمونه تنظیم میشوند. این دستگاه میتواند 12 مجموعه برنامه را ذخیره کند و هر مجموعه شامل 6 مرحله اجرا است.
- Shenyang Kejing
- شنیانگ، چین
- ۱۰ روز کاری
- ۵۰ مجموعه
- اطلاعات
معرفی محصول
دستگاه لایهنشانی چرخشی خلاء گرمشونده وی تی سی-100PA-دوم برای فرآیندهای لایهنشانی سطح در نیمهرساناها، کریستالها، دیسکهای نوری، لیتوگرافی نوری و کاربردهای مرتبط طراحی شده است. این دستگاه قادر به تهیه پوششها با استفاده از محلولهای اسیدی و قلیایی قوی است.
این سیستم مجهز به دو سه نظام خلاء با اندازههای مختلف است که به کاربران امکان میدهد سه نظام مناسب را بر اساس ابعاد نمونه انتخاب کنند. در حین کار، نمونه با مکش خلاء به طور ایمن روی نگهدارنده ثابت میشود. این پوششدهنده تا 12 دستور پخت قابل برنامهریزی را پشتیبانی میکند که هر دستور پخت شامل 6 مرحله متوالی است. در هر مرحله، سرعت چرخش را میتوان به طور مستقل تنظیم کرد و سیستم را قادر میسازد تا به تدریج تا حداکثر سرعت شتاب بگیرد. این امر تشکیل لایه نازک یکنواخت در سراسر سطح نمونه را تضمین میکند و در عین حال ضایعات مواد را به حداقل میرساند و راندمان را بهبود میبخشد.
دستگاه لایهنشانی چرخشی خلاء حرارتی وی تی سی-100PA-دوم با ویژگیهایی مانند کاربری آسان، تمیز کردن آسان و طراحی جمعوجور، انتخابی ایدهآل برای آزمایشگاههای دانشگاهها و مؤسسات تحقیقاتی فعال در زمینه تهیه لایه نازک است.
ویژگیهای اصلی
۱. نمونه با استفاده از جذب خلاء تثبیت میشود که کار با آن آسان است.
2. درجه خلاء میتواند به -0.08MPa برسد.
۳. نمونهها را میتوان به راحتی با استفاده از ابزار موقعیتیابی در مرکز قرار داد تا لرزش یا پرتاب شدن ناشی از عدم تراز کاهش یابد.
4. با توجه به مشخصات نمونه، میتوان از چاکهای مختلف استفاده کرد و تعویض آن راحت و ساده است.
۵. یک موتور دی سی بدون جاروبک ۲۴ ولتی به کار گرفته شده است که دارای مزایای قابلیت اطمینان بالا، سازگاری قوی، تعمیر و نگهداری ساده، سر و صدای کم، لرزش کم، عملکرد پایدار، راهاندازی سریع و پایدار، عملکرد پایدار پس از شتابگیری است تا از ثبات و یکنواختی ضخامت پوشش اطمینان حاصل شود.
۶. پمپ خلاء میله موازی بدون روغن مزایای اندازه کوچک، ساختار ساده، عملکرد آسان، نگهداری راحت و عدم آلودگی محیط زیست را دارد.
7. محفظه از جنس پلیپروپیلن با طول عمر بیشتر ساخته شده است تا توانایی مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و ترک خوردگی ناشی از تنش عالی را بهبود بخشد و بدنه دستگاه از ساختار آلومینیوم ریختهگری شده استفاده میکند که بادوام و سبک وزن است.
۸. پوششدهی را میتوان در اتمسفر گاز بیاثر (مانند آرگون، نیتروژن) انجام داد.2).
۹. سیستم عامل انگلیسی
۱۰. این دستگاه دارای عملکرد محافظت در برابر باز شدن پوشش است. هنگامی که پوشش بالایی در طول فرآیند پوششدهی یا در پایان پوششدهی باز میشود، دستگاه بلافاصله به سرعت سرعت خود را کاهش میدهد تا زمانی که متوقف شود.
۱۱. رابط کنترل از یک صفحه لمسی به همراه سیستم کنترل کامپیوتری تک برد استفاده میکند و نمایش عددی بصریتر و قابل اعتمادتر است.
تیپارامترهای فنی
نام محصول | دستگاه لایه نشانی چرخشی در خلاء وی تی سی-100PA-دوم با عملکرد گرمایشی | |
مدل محصول | وی تی سی-100PA-دوم | |
شرایط نصب | ۱. دما و رطوبت: ۱۰ تا ۸۵٪ رطوبت نسبی (در دمای ۲۵ درجه سانتیگراد، بدون میعان)؛ دمای عملیاتی: ۰ تا ۴۵ درجه سانتیگراد. ۲. محیط: عاری از منابع ارتعاش قوی و گازهای خورنده. ۳. منبع تغذیه آب: مجهز به خروجی فاضلاب. ۴. منبع تغذیه: تک فاز AC220V، ۵۰Hz، ۱۰A. ۵. منبع تغذیه گاز: فشار منفی خلاء (پمپ خلاء) با سرعت پمپاژ ≥۷۰ لیتر در دقیقه. این سیستم همچنین میتواند با گازهای بیاثر محافظ مانند آر یا N₂ پاکسازی شود. ۶. میز کار: اندازه پیشنهادی ۸۰۰ میلیمتر × ۶۰۰ میلیمتر × ۷۰۰ میلیمتر، با ظرفیت بار ≥۵۰ کیلوگرم (میز سیمانی محکم ترجیح داده میشود). ۷. تهویه: الزامات خاصی ندارد. | |
پارامترهای اصلی (مشخصات) | ۱. رابط منبع تغذیه: واحد اصلی: AC220V 50Hz 10A؛ گرمایش: AC220V 50Hz 10A ۲. توان کل: ≤۱۱۵۰ وات (به استثنای پمپ خلاء خارجی) 3. محفظه پوشش (جنس): PTFE ۴. نگهدارنده نمونه (سه نظام خلاء): سه نظامهای PTFE Φ۱۹ میلیمتر و Φ۶۰ میلیمتر، هر کدام یک عدد ۵. حالت عملیاتی: تا ۱۲ برنامه قابل ذخیره؛ هر برنامه شامل ۶ مرحله عملیاتی است ۶. سرعت چرخش: ۵۰۰ دور در دقیقه – ۱۰۰۰۰ دور در دقیقه (موثر) ۷. نرخ شتاب/کاهش سرعت: محدوده قابل تنظیم در هر مرحله: ۱۰۰ دور در دقیقه - ۲۰۰۰ دور در دقیقه ۸. زمان چرخش: محدوده قابل تنظیم در هر مرحله: ۰ تا ۶۰ ثانیه ۹. پایداری سرعت: ±۱٪ 10. سیستم کنترل: میکروکنترلر برد مدار چاپی، کنترل صفحه کلید، صفحه نمایش ال سی دی ال ام سی ۱۱. روش گرمایش: لوله گرمایشی فیبر کربنی با سیستم کنترل دمای مستقل، بدون اتصال به واحد کنترل اصلی ۱۲. دمای گرمایش: دمای اتاق - ۲۰۰ درجه سانتیگراد ۱۳. توان گرمایش: AC220V 1000W ۱۴. دقت کنترل دما: ±۲℃ | |
۱۵. مشخصات محصول: ابعاد: ۴۵۰ میلیمتر × ۳۴۰ میلیمتر × ۲۸۰ میلیمتر · وزن: 20 کیلوگرم |
سلوازم جانبی استاندارد
خیر. | نام | تعداد | تصویر |
1 | سه نظام وکیوم (شامل اورینگ) (۱۹ میلیمتر وØ60 میلیمتر) | ۲ عدد | |
2 | موقعیتیاب/مکانیاب مرکزی (شامل ۴ پایه موقعیتیاب) | ۱ عدد | |
3 | تزریق کننده/سرنگ اپوکسی (20 میلی لیتر) | ۱ عدد | |
4 | براکت تزریق/سرنگ | ۱ عدد | - |
5 | پمپ خلاء بدون روغن | ۱ عدد | |
6 | لوله لاستیکی (شامل گیره) | ۱ عدد | - |
اینلوازم جانبی اختیاری
خیر. | نام | نوع عملکردی | تصویر |
1 | چاکهای خلاء با مشخصات دیگر | (اختیاری) | |
2 | پیپت (ساخت چین) | (اختیاری) | |
3 | پیپت (وارداتی) | (اختیاری) |
گارانتی
یک سال محدود با پشتیبانی مادام العمر (شامل قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری نمیشود)
لجستیک