دستگاه پوشش‌دهی چرخشی پرسرعت با پوشش گرمایشی ۱۰۰ درجه سانتیگراد

معرفی محصول
دستگاه لایه‌نشانی چرخشی خلاء VTC-100PA-I برای فرآیندهای لایه‌نشانی سطح در نیمه‌رساناها، کریستال‌ها، دیسک‌های نوری و لیتوگرافی نوری طراحی شده است. این دستگاه برای تهیه پوشش‌ها با استفاده از محلول‌های اسیدی یا قلیایی قوی مناسب است. این سیستم به صورت استاندارد با دو سه نظام خلاء با اندازه‌های مختلف ارائه می‌شود که به کاربران امکان می‌دهد سه نظام مناسب را بر اساس ابعاد نمونه انتخاب کنند.

در حین کار، نمونه با استفاده از یک سه نظام خلأ به طور ایمن روی جایگاه نمونه ثابت می‌شود. VTC-100PA-I می‌تواند تا 12 برنامه را ذخیره کند که هر برنامه شامل 6 مرحله متوالی است. سرعت چرخش در مراحل مختلف متفاوت است و دستگاه را قادر می‌سازد تا به تدریج به حداکثر سرعت خود برسد. این امر تشکیل لایه نازک یکنواخت روی سطح نمونه را تضمین می‌کند، ضایعات مواد را به حداقل می‌رساند و کارایی را بهبود می‌بخشد.

VTC-100PA-I دارای عملکرد ساده، تمیز کردن آسان و طراحی جمع و جور است. این دستگاه به طور گسترده در آزمایشگاه‌های دانشگاه‌ها و موسسات تحقیقاتی برای فرآیندهای رسوب لایه نازک استفاده می‌شود.

ویژگی‌های اصلی

۱. نمونه با استفاده از جذب خلاء تثبیت می‌شود که کار با آن آسان است.

2. درجه خلاء می‌تواند به -0.08MPa برسد.

۳. نمونه‌ها را می‌توان به راحتی با استفاده از ابزار موقعیت‌یابی در مرکز قرار داد تا لرزش یا پرتاب شدن ناشی از عدم تراز کاهش یابد.

4. با توجه به مشخصات نمونه، می‌توان از چاک‌های مختلف استفاده کرد و تعویض آن راحت و ساده است.

۵. یک موتور DC بدون جاروبک ۲۴ ولتی به کار گرفته شده است که دارای مزایای قابلیت اطمینان بالا، سازگاری قوی، تعمیر و نگهداری ساده، سر و صدای کم، لرزش کم، عملکرد پایدار، راه‌اندازی سریع و پایدار، عملکرد پایدار پس از شتاب‌گیری است تا از ثبات و یکنواختی ضخامت پوشش اطمینان حاصل شود.

۶. پمپ خلاء میله موازی بدون روغن مزایای اندازه کوچک، ساختار ساده، عملکرد آسان، نگهداری راحت و عدم آلودگی محیط زیست را دارد.

7. محفظه از جنس پلی‌پروپیلن با طول عمر بیشتر ساخته شده است تا توانایی مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و ترک خوردگی ناشی از تنش عالی را بهبود بخشد و بدنه دستگاه از ساختار آلومینیوم ریخته‌گری شده استفاده می‌کند که بادوام و سبک وزن است.

۸. پوشش‌دهی را می‌توان در اتمسفر گاز بی‌اثر (مانند Ar، N2) انجام داد.

۹. سیستم عامل انگلیسی

۱۰. این دستگاه دارای عملکرد محافظت در برابر باز شدن پوشش است. هنگامی که پوشش بالایی در طول فرآیند پوشش‌دهی یا در پایان پوشش‌دهی باز می‌شود، دستگاه بلافاصله به سرعت سرعت خود را کاهش می‌دهد تا زمانی که متوقف شود.

۱۱. رابط کنترل از یک صفحه لمسی به همراه سیستم کنترل کامپیوتری تک برد استفاده می‌کند و نمایش عددی بصری‌تر و قابل اعتمادتر است.

تیپارامترهای فنی

سلوازم جانبی استاندارد

اینلوازم جانبی اختیاری

گارانتی

    یک سال محدود با پشتیبانی مادام العمر (شامل قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری نمی‌شود)

لجستیک