دستگاه پوشش‌دهی چرخشی پرسرعت (۱۰ هزار دور در دقیقه و حداکثر ۵ اینچ) با پوشش اشعه ماوراء بنفش
دستگاه لایه نشانی چرخشی اشعه ماوراء بنفش مدل وی تی سی-100PA-اشعه ماوراء بنفش برای فرآیندهای نیمه هادی، کریستال، دیسک نوری، ساخت پلیت و پوشش سطح و غیره مناسب است. پوشش بالایی از منبع نور اشعه ماوراء بنفش استفاده می‌کند و به ویژه برای مواد حساس به نور اشعه ماوراء بنفش مناسب است که می‌تواند به سرعت فیلم پوشش داده شده را جامد کند. علاوه بر این، لامپ اشعه ماوراء بنفش دارای عملکرد پلیمریزاسیون نیز هست که می‌تواند مونومر را به یک فیلم پلیمری پلیمریزه کند.
- Shenyang Kejing
- شنیانگ، چین
- ۱۰ روز کاری
- ۵۰ مجموعه
- اطلاعات
معرفی محصول
دستگاه لایه‌نشانی چرخشی وی تی سی-100PA-اشعه ماوراء بنفش (که با نام‌های لایه‌نشانی مقاوم در برابر نور، لایه‌نشانی چرخشی یا سیستم لایه‌نشانی چرخشی نیز شناخته می‌شود) برای فرآیندهایی مانند ساخت نیمه‌هادی‌ها، کریستال‌ها، دیسک‌های نوری، لیتوگرافی و لایه‌نشانی سطح طراحی شده است.
این محفظه از پلی‌پروپیلن ساخته شده است که مقاومت عالی در برابر خوردگی و عمر طولانی ارائه می‌دهد و برای کاربردهای پوشش‌دهی شامل محلول‌های اسیدی قوی و قلیایی قوی مناسب است. پوشش بالایی مجهز به عملکرد تابش لامپ اشعه ماوراء بنفش است که آن را به ویژه برای مقاومت‌های حساس به اشعه ماوراء بنفش مناسب می‌کند. این امر امکان پخت سریع مقاومت‌های پوشش داده شده را فراهم می‌کند و همچنین از پلیمریزاسیون پشتیبانی می‌کند و مونومرها را به فیلم‌های پلیمری تبدیل می‌کند.
یک دریچه تزریق مایع در مرکز پوشش بالایی قرار دارد که مجهز به یک درپوش است؛ در صورت نیاز به محیط محفظه آب‌بندی شده، باید درپوش را وارد کرد. محفظه همچنین دارای یک ورودی گاز است که امکان ورود گاز محافظ را در طول فرآیند پوشش‌دهی چرخشی فراهم می‌کند.
نمونه‌ها با استفاده از جذب خلاء تثبیت می‌شوند که عملیات آسان و بارگیری/تخلیه راحت را تضمین می‌کند. با ابزار مرکزی اختصاصی، نمونه‌ها می‌توانند دقیقاً در مرکز چاک قرار گیرند، ارتعاش خارج از مرکز را کاهش داده و از شکستن ویفر جلوگیری کنند. چاک‌های مختلف را می‌توان با توجه به اندازه نمونه انتخاب کرد و تعویض آنها ساده و راحت است.
این سیستم توسط یک موتور دی سی بدون جاروبک دقیق تغذیه می‌شود که راه‌اندازی سریع، سرعت پایدار و تضمین ثبات و یکنواختی ضخامت پوشش را فراهم می‌کند.
ویژگی‌های اصلی
1. نمونه با استفاده از جذب خلاء ثابت می‌شود، که کار با آن آسان و گرفتن و قرار دادن نمونه‌ها راحت است، که می‌توان آنها را در صورت نیاز سفارشی کرد.
۲. پوشش بالایی از منبع نور فرابنفش استفاده می‌کند که قدرت آن را می‌توان در یک محدوده خاص تنظیم کرد.
۳. سوراخ تزریق در مرکز پوشش بالایی قرار دارد و مجهز به یک درپوش لاستیکی است که در صورت نیاز به محیط آب‌بندی شده برای محفظه، اعمال می‌شود.
۴. سوراخ ورودی گاز در محفظه برای اتصال به گاز محافظ استفاده می‌شود.
۵. بخش موتور و بخش کنترل نور اشعه ماوراء بنفش به طور مستقل کنترل می‌شوند. سیستم تنظیم سرعت موتور توسط یک کامپیوتر تک برد به همراه یک صفحه نمایش ال سی دی کنترل می‌شود، نمایش اعداد بصری‌تر و قابل اعتمادتر است. نور اشعه ماوراء بنفش توسط یک کنترلر پی ال سی با ضد تداخل قوی کنترل می‌شود.
۶. سرعت پوشش‌دهی این دستگاه ۵۰۰ تا ۱۰۰۰ دور در دقیقه است. ۱۲ گروه برنامه قابل ذخیره است که هر گروه از برنامه‌ها شامل ۶ مرحله عملیاتی است و پارامترهای عملیاتی هر مرحله را می‌توان به طور مستقل تنظیم کرد تا سرعت به آرامی تا حد مجاز افزایش یابد که این امر منجر به تشکیل لایه یکنواخت روی سطح نمونه می‌شود و اتلاف زیادی نخواهد داشت.
۷. دستگاه پوشش‌دهی چرخشی خلاء اشعه ماوراء بنفش به سرعت شروع به کار می‌کند و سرعت چرخش پایداری دارد که می‌تواند یکنواختی و ثبات ضخامت فیلم را تضمین کند.
۸. در ساختار نصب، اقدامات جذب ضربه برای کاهش نویز در حین کار انجام می‌شود.
9. محفظه از جنس پی پی با طول عمر بیشتر ساخته شده است تا توانایی مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و ترک خوردگی ناشی از تنش عالی را بهبود بخشد و بدنه دستگاه از ساختار آلومینیوم ریخته‌گری شده استفاده می‌کند که بادوام و سبک وزن است.
تیپارامترهای فنی
نام محصول | دستگاه لایه نشانی چرخشی اشعه ماوراء بنفش مدل وی تی سی-100PA-اشعه ماوراء بنفش | |
مدل محصول | وی تی سی-100PA-اشعه ماوراء بنفش | |
شرایط نصب | ۱. دما و رطوبت: ۱۰-۸۵٪ آر اچ (در دمای ۲۵ درجه سانتیگراد بدون چگالش) دما: ۰-۴۵ درجه سانتیگراد. 2. هیچ منبع لرزش قوی و گاز خورنده ای در اطراف تجهیزات وجود ندارد. ۳. آب: نیازی نیست. ۴. برق: تک فاز: AC220V 50Hz 10A. ۵. گاز: فشار منفی خلاء (پمپ خلاء) سرعت جریان هوا کمتر از ۷۰ لیتر در دقیقه نباشد (تجهیزات می‌توانند گاز بی‌اثر محافظ را عبور دهند). ۶. میز کار: توصیه می‌شود ۸۰۰ میلی‌متر × ۶۰۰ باشدمیلی‌متر×۷۰۰ میلی‌متر و تحمل بار بیش از ۵۰ کیلوگرم (سکوی سیمانی محکم بهتر است). ۷. دستگاه تهویه: الزامات خاصی ندارد. | |
| پارامترهای اصلی | ۱. رابط منبع تغذیه: پریز برق با بیمه: AC220V 50Hz، مشخصات لوله بیمه ۱۰A، φ5×20mm است (این دستگاه از سفارشی‌سازی محصول AC110V 50/60Hz پشتیبانی می‌کند). ۲. توان کل: ۱۸۰ وات (به استثنای پمپ خلاء خارجی). ۳. حفره میزبان پوشش (جنس): پلی‌پروپیلن. ۴. سینی نمونه (مکش): مکنده پلی‌پروپیلن، هر کدام ۱۹ میلی‌متر Φ، ۶۰ میلی‌متر Φ. ۵. حالت عملیاتی: ۱۲ مجموعه برنامه قابل ذخیره است، هر مجموعه برنامه شامل ۶ مرحله عملیاتی است. 6. سرعت پوشش: 500rpm-10000rpm موثر است. ۷. نرخ افزایش و کاهش سرعت: محدوده تنظیم هر نرخ افزایش و کاهش سرعت ۱۰۰ دور در دقیقه تا ۲۰۰۰ دور در دقیقه است. ۸. زمان پوشش: هر محدوده زمانی: ۰-۶۰ ثانیه. ۹. پایداری سرعت: ±۱٪. 10. حالت کنترل میزبان: صفحه نمایش ال سی دی ال ام سی کنترل کلید میکرو کامپیوتر تک تراشه برد مدار چاپی. ۱۱. روش پخت: ۱۶ مهره نور بنفش ال ای دی. ۱۲. زمان خشک شدن: محدوده تنظیم زمان نور بنفش: ۱-۸۰۰ ثانیه. ۱۳. قدرت پخت: محدوده توان نور بنفش: ۵-۳۰ وات قابل تنظیم. ۱۴. روش کنترل پخت: صفحه لمسی (کنترل مستقل سیستم نور بنفش، مربوط به کنترل میزبان نیست). | |
ابعاد: ۴۵۰ میلی‌متر × ۲۸۰ میلی‌متر × ۳۴۰ میلی‌متر · وزن: ۱۸ کیلوگرم |
| |
لوازم جانبی استاندارد
| خیر. | نام | مقدار | پیوند تصویر |
| 1 | ساکشن وکیوم (با حلقه O) (قطر ۱۹ میلی‌متر و قطر ۶۰ میلی‌متر) | 2 |   |
| 2 | مرکز یاب | 1 |  |
| 3 | پمپ خلاء بدون روغن | 1 |  |
لوازم جانبی اختیاری
| خیر. | نام | دسته بندی عملکردی | پیوند تصویر |
| 1 | اندازه‌های دیگر لیوان‌های خلاء | (اختیاری) |  |
| 2 | تفنگ پیپت خانگی | (اختیاری) |  |
| 3 | پیپت وارداتی | (اختیاری) |  |
گارانتی
یک سال محدود با پشتیبانی مادام العمر (شامل قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری نمی‌شود)
لجستیک
