
دستگاه لایه نشانی چرخشی فوق سریع 20000 دور در دقیقه
دستگاه لایه نشانی چرخشی خلاء وی تی سی-100PAH برای فرآیندهای نیمه هادی، کریستال، دیسک نوری، ساخت صفحات و پوشش سطح و غیره مناسب است. نمونه با استفاده از جذب خلاء ثابت میشود تا نمونهها بتوانند آزادانه گرفته و قرار داده شوند. موتور به سرعت و با ثبات شروع به کار میکند که میتواند ثبات و یکنواختی ضخامت پوشش را تضمین کند.
- Shenyang Kejing
- شنیانگ، چین
- ۲۲ روز کاری
- ۵۰ مجموعه
- اطلاعات
معرفی محصول
دستگاه لایه نشانی چرخشی خلاء وی تی سی-100PAH برای آماده سازی پوشش سطح در فرآیندهای نیمه هادی، کریستال ها، دیسک های نوری و کاربردهای لیتوگرافی طراحی شده است. وی تی سی-100PAH به عنوان یک لایه نشانی چرخشی دقیق با کارایی بالا، از یک مفهوم طراحی پیشرفته همراه با یک سیستم کنترل حرکت دقیق بهره می برد که امکان عملیات لایه نشانی چرخشی با دقت و یکنواختی بالا را فراهم می کند.
این محفظه از پلیپروپیلن ساخته شده است که دارای مقاومت حرارتی عالی، عایق الکتریکی و عملکرد پردازشی بالا در برابر سایش است. خود محفظه قابل مکش نیست؛ در عوض، در حین کار، سه نظام مکش و خط لوله گاز به یک پمپ مکش خارجی متصل هستند که نمونه را محکم روی نگهدارنده زیرلایه نگه میدارد. این چیدمان امکان کارکرد ساده، بارگیری و تخلیه آسان نمونه را فراهم میکند و مکش سه نظام تا -0.08 مگاپاسکال میرسد.
اسپیندل چرخان توسط یک موتور دی سی بدون جاروبک با سرعت بالا هدایت میشود که سر و صدای کم، حداقل لرزش، عملکرد روان، قابلیت اطمینان بالا، سازگاری گسترده و نگهداری آسان را ارائه میدهد. موتور به سرعت روشن میشود و پس از شتابگیری به طور پایدار کار میکند و ضخامت پوشش ثابت و یکنواخت را تضمین میکند.
دستگاه لایه نشانی چرخشی در خلاء وی تی سی-100PAH با عملکرد ساده، تمیز کردن راحت و طراحی جمع و جور، به طور گسترده در آزمایشگاههای دانشگاهها و موسسات تحقیقاتی برای تهیه لایه نازک استفاده میشود.
ویژگیهای اصلی:
۱. نمونه با استفاده از جذب خلاء تثبیت میشود که کار با آن آسان است.
2. درجه خلاء میتواند به -0.08MPa برسد.
۳. بر اساس مشخصات نمونه، میتوان از چاکهای مختلف استفاده کرد و تعویض آنها راحت و ساده است.
4. قابلیت اطمینان بالا، سازگاری قوی، تعمیر و نگهداری ساده، سر و صدای کم، لرزش کم، عملکرد پایدار، راه اندازی سریع و پایدار، عملکرد پایدار پس از شتاب گیری، و تضمین ثبات و یکنواختی ضخامت پوشش
۵. پمپ خلاء میله موازی بدون روغن مزایای اندازه کوچک، ساختار ساده، عملکرد آسان، نگهداری راحت و عدم آلودگی محیط زیست را دارد.
6. محفظه از جنس پلیپروپیلن با طول عمر بیشتر ساخته شده است تا توانایی مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و ترک خوردگی ناشی از تنش عالی را بهبود بخشد و بدنه دستگاه از ساختار آلومینیوم ریختهگری شده استفاده میکند که بادوام و سبک وزن است.
۷. دارای عملکردهای تشخیص خلاء و تشخیص باز بودن پوشش است و پوشش بالایی دارای قفل محافظ است.
۸. این دستگاه دارای عملکرد محافظت در برابر باز شدن پوشش است. هنگامی که پوشش بالایی در طول فرآیند پوشش یا در پایان پوشش باز میشود، دستگاه بلافاصله به سرعت سرعت خود را کاهش میدهد تا زمانی که متوقف شود.
9. سیستم عامل قابل تعویض چینی/انگلیسی
۱۰. رابط کنترل از صفحه لمسی استفاده میکند و نمایش اعداد بصریتر و قابل اعتمادتر است.
تیپارامترهای فنی:
نام محصول | دستگاه لایه نشانی چرخشی در خلاء وی تی سی-100PAH | |
مدل محصول | وی تی سی-100PAH | |
۱. دما و رطوبت: ۱۰ تا ۸۵٪ رطوبت نسبی (در دمای ۲۵ درجه سانتیگراد، بدون میعان)؛ دما: ۰ تا ۴۵ درجه سانتیگراد. ۲. محیط: هیچ منبع لرزش قوی یا گازهای خورنده در اطراف تجهیزات وجود نداشته باشد. ۴. منبع تغذیه: ای سی ۱۰۰–240V، ۵۰/۶۰Hz. ۵. منبع تغذیه هوا: فشار منفی خلاء (پمپ خلاء) با سرعت پمپاژ حداقل ۷۰ لیتر در دقیقه. ۶. میز کار: اندازه پیشنهادی ۸۰۰ × ۶۰۰ × ۷۰۰ میلیمتر، ظرفیت بار ≥ ۵۰ کیلوگرم (یک میز بتنی محکم ترجیح داده میشود). ۷. تهویه: الزامات خاصی ندارد. | ||
پارامترهای اصلی | ۱. منبع تغذیه تجهیزات: ۲۴ ولت مستقیم، آداپتور استاندارد: ورودی ای سی ۱۰۰-240V 50/60Hz، خروجی DC24V 15A ۲. توان: ۱۵۰ وات (پمپ خلاء خارجی شامل نمیشود) ۳. محفظه اصلی (جنس): پلیپروپیلن + اکریلیک ۴.مشخصات ساکشن کاپ: ۲ اینچ، ۴ اینچ ۵. برنامه عملیاتی: شامل ۱۶ مرحله عملیاتی است ۶. محدوده سرعت: تنظیم: ۱۵۰۰-۲۰۰۰۰ دور در دقیقه (افزایش تدریجی: ۱۰۰ دور در دقیقه به عنوان واحد) ۷. محدوده تنظیم سرعت افزایش هر بخش: ۱۰۰ دور در دقیقه — ۶۰۰۰ دور در دقیقه. ۸. محدوده سرعت کاهش سرعت و پارک: ۱۰۰ دور در دقیقه — ۳۰۰۰ دور در دقیقه. ۹. محدوده زمانی: ۱-۹۹ ثانیه (محدوده سرعت تنظیم شده: ۱۵۰۰-۱۰۰۰۰ دور در دقیقه) ۱-۶۰ ثانیه (محدوده سرعت تنظیم شده: بیشتر از ۱۰۰۰۰ تا ۲۰۰۰۰ دور در دقیقه) ۱۰. رابط خلاء: کانکتور اتصال سریع، متصل به لوله پلوتونیم φ8. ۱۱. (یا: ۱۱.) رابط کاربری: صفحه نمایش لمسی 7 اینچی | |
ابعاد و وزن محصول | ۱۲. مشخصات محصول ابعاد: ۲۵۰ میلیمتر × ۳۴۰ میلیمتر × ۳۲۰ میلیمتر · وزن: ۱۲ کیلوگرم |
لوازم جانبی استاندارد:
خیر. | نام | تعداد | تصویر |
1 | سه نظام وکیوم (شامل حلقه O) (۲ اینچ و ۴ اینچ) | ۲ عدد | ![]() |
2 | تزریق کننده/سرنگ اپوکسی (20 میلی لیتر) | ۱ عدد | ![]() |
3 | پمپ خلاء بدون روغن | ۱ عدد | ![]() |
4 | آداپتور ۲۴ ولت/۱۵ آمپر | ۱ عدد | ![]() |
لوازم جانبی اختیاری:
خیر. | نام | نوع عملکردی | تصویر |
1 | چاکهای خلاء با مشخصات دیگر | (اختیاری) | ![]() |
2 | پیپت (ساخت چین) | (اختیاری) | ![]() |
3 | پیپت (وارداتی) | (اختیاری) | ![]() |
گارانتی:
یک سال محدود با پشتیبانی مادام العمر (شامل قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری نمیشود)
لجستیک: