تفاوت بین دی سی، اگر و RF در کندوپاش کردن چیست؟
2025-03-21 10:08پیدایش و کاربرد فناوری کندوپاش مراحل بسیاری را طی کرده است. پس از بیش از 30 سال توسعه، فناوری کندوپاش مگنترون به روشی غیرقابل جایگزین برای لایه های نازک نوری، الکتریکی و سایر عملکردها تبدیل شده است. چقدر در مورد آنها می دانید؟
کندوپاش مگنترونی به معرفی میدان مغناطیسی بین دو قطب یک میدان الکتریکی خارجی اشاره دارد. در حالی که الکترون ها تحت تأثیر نیروی میدان الکتریکی قرار می گیرند، توسط نیروی مغناطیسی لورنتس نیز محدود می شوند، که مسیر حرکت آنها را از خط مستقیم اصلی به یک سیکلوئید تغییر می دهد، در نتیجه احتمال برخورد الکترون های پرسرعت با مولکول های آرگون را افزایش می دهد، که می تواند درجه یونیزاسیون مولکول های آرگون را تا حد زیادی افزایش دهد و در نتیجه فشار گاز کار را کاهش دهد. تحت شتاب میدان الکتریکی با ولتاژ بالا، یون‌های آر سطح ماده هدف را بمباران می‌کنند و باعث می‌شوند اتم‌ها یا مولکول‌های بیشتری روی سطح ماده هدف از شبکه اصلی جدا شده و از ماده هدف برای پرواز به زیرلایه پاشیده شوند و ضربه و بارش با سرعت بالا روی لایه لایه نازکی تشکیل دهد. کندوپاش مگنترون دارای ویژگی های سرعت تشکیل فیلم بالا، دمای پایین ورق، چسبندگی خوب فیلم و پوشش با سطح وسیع است.
کندوپاش مگنترونی به کندوپاش دی سی، کندوپاش با فرکانس متوسط و کندوپاش فرکانس رادیویی تقسیم می‌شود.
1. کندوپاش دی سی: استفاده از یک میدان الکتریکی دی سی برای تسریع یون های گاز برای بمباران مواد مورد نظر، به طوری که اتم های هدف به بیرون پراکنده شده و روی بستر قرار می گیرند تا یک لایه نازک تشکیل دهند. اصل تجهیزات کندوپاش دی سی ساده است و سرعت آن در هنگام کندوپاش فلزات نیز سریع است.
2. کندوپاش با فرکانس متوسط: استفاده از منبع تغذیه AC با فرکانس بین ده ها کیلوهرتز تا صدها کیلوهرتز برای انتقال انرژی به پلاسما از طریق کوپلینگ خازنی یا کوپلینگ القایی. انرژی بمباران یون ها بیشتر از کندوپاش دی سی است که می تواند نرخ رسوب را پایدارتر و یکنواخت تر کند و برای تهیه فیلم های با کیفیت بالا مناسب است.
3. کندوپاش RF: از قدرت RF برای یونیزه کردن مواد هدف استفاده می شود و پلاسمای تولید شده پایدارتر است. انرژی بمباران یون ها بیشتر از کندوپاش با فرکانس متوسط است. همه انواع مواد مورد نظر از جمله مواد رسانا، نیمه هادی و عایق را می توان پراکنده کرد. تقریبا هیچ قوسی وجود ندارد و کیفیت فیلم بالاست.
ابزار کندوپاش مگنترون سه هدفتولید شده توسط شرکت ما مجهز به سه تفنگ هدف و سه منبع تغذیه، یک منبع تغذیه RF برای پوشش کندوپاش مواد غیر رسانا، یک منبع تغذیه دی سی برای پوشش کندوپاش مواد رسانا، و یک هدف مغناطیسی قوی اختیاری برای پوشش کندوپاش مواد فرومغناطیسی است. در مقایسه با تجهیزات مشابه،ابزار کندوپاش مگنترون سه هدف دارای مزایای اندازه کوچک و عملکرد آسان و طیف گسترده ای از مواد قابل استفاده است. می توان از آن برای تهیه فیلم های فروالکتریک تک لایه یا چند لایه، فیلم های رسانا، فیلم های آلیاژی، فیلم های نیمه هادی، فیلم های سرامیکی، فیلم های دی الکتریک، فیلم های نوری، فیلم های اکسیدی، فیلم های سخت، فیلم های پلی تترا فلوئورواتیلن و غیره استفاده کرد.ابزار کندوپاش مگنترون سه هدفمنیک وسیله ایده آل برای تهیه فیلم های مختلف مواد در آزمایشگاه است.