
عوامل موثر بر کندوپاش مگنترون خلاء بالا چیست؟
2025-03-20 09:38بر اساس کندوپاش مگنترون اساسی، محیط رشد خلاء و دمای بالا معرفی میشود و فناوری پلاسما برای بهبود راندمان واکنش رسوب واکنشی ترکیب میشود تا اپیتاکسی فیلم کندوپاش مگنترون را تحقق بخشد. فیلم تهیه شده در این شرایط خلاء بالا دارای جهت گیری شبکه ای بهتر و خواص کریستالی برجسته تر است. این طیف گسترده ای از کاربردها در کوانتومی ابررسانا، مواد فروالکتریک، مواد پیزوالکتریک، مواد ترموالکتریک و سایر زمینه ها دارد. حالت خلاء بالا به کاهش نفوذ ناخالصی ها کمک می کند و اطمینان حاصل می کند که ذرات پراکنده شده با گازهای دیگر در طول فرآیند رسوب واکنش نامطلوب نشان نمی دهند.
مواد مورد نظر منبع مواد برای کندوپاش مگنترون با خلاء بالا.ماده ماده هدف، ترکیب و خواص فیلم رسوبشده را تعیین میکند. انواع مختلف مواد هدف، مانند فلز، آلیاژ یا مواد هدف ترکیبی، بر خواص فیلم رسوبشده تأثیر میگذارند. ترکیب، خلوص، اندازه دانه، جهت گیری، و غیره از مواد هدف برای کندوپاش مگنترون با خلاء بالا به طور مستقیم بر ترکیب، ساختار و خواص فیلم تاثیر می گذارد. خواص مغناطیسی مواد هدف برای کندوپاش مگنترون با خلاء بالامانند مغناطش اشباع و نیروی اجباری، بر رفتار پلاسما و خواص مغناطیسی فیلم در طول کندوپاش تأثیر میگذارند. تمیزی و ناهمواری سطح هدف برای کندوپاش مگنترون با خلاء بالا بر سرعت کندوپاش و کیفیت فیلم تاثیر می گذارد.
هنگامی که مواد پوشش و بستر تعیین شد، انتخاب پارامترهای فرآیند تأثیر زیادی بر کیفیت پوشش و سرعت رشد پوشش خواهد داشت. قدرت کندوپاش بر سرعت کندوپاش، ترکیب فیلم و ساختار تأثیر می گذارد. هنگامی که قدرت کندوپاش خیلی زیاد است، منبع مواد هدف پوشش ممکن است بیش از حد گرم شود، استرس داخلی فیلم ممکن است افزایش یابد و ممکن است فیلم پاره شود. هنگامی که قدرت خیلی کم باشد، سرعت کندوپاش کند، ساختار فیلم شل، ذرات بزرگ و کیفیت فیلم ضعیف خواهد بود.
شرکت ما همیشه به فلسفه تجاری " مشتری اول، کیفیت اولدددههه پایبند است، محصولات و خدمات با کیفیت بالا را به مشتریان ارائه می دهد و شهرت خوبی در بازار کسب کرده است. را کندوپاش مگنترون با خلاء بالا ابزار تولید شده توسط شرکت ما یک تجهیزات پوششی است که به تازگی توسعه یافته است، که می تواند برای تهیه فیلم های فروالکتریک تک لایه یا چند لایه، فیلم های رسانا، فیلم های آلیاژی، فیلم های نیمه هادی، فیلم های سرامیکی، فیلم های دی الکتریک، فیلم های نوری، فیلم های اکسید، فیلم های سخت، فیلم های پلی تترا فلوئورواتیلن استفاده شود. عملیات آسان این یک تجهیزات ایده آل برای تهیه فیلم های مواد در آزمایشگاه است.