اخبار

عوامل موثر بر کندوپاش مگنترون خلاء بالا چیست؟

بر اساس کندوپاش مگنترون اساسی، محیط رشد خلاء و دمای بالا معرفی می‌شود و فناوری پلاسما برای بهبود راندمان واکنش رسوب واکنشی ترکیب می‌شود تا اپیتاکسی فیلم کندوپاش مگنترون را تحقق بخشد. فیلم تهیه شده در این شرایط خلاء بالا دارای جهت گیری شبکه ای بهتر و خواص کریستالی برجسته تر است. این طیف گسترده ای از کاربردها در کوانتومی ابررسانا، مواد فروالکتریک، مواد پیزوالکتریک، مواد ترموالکتریک و سایر زمینه ها دارد. حالت خلاء بالا به کاهش نفوذ ناخالصی ها کمک می کند و اطمینان حاصل می کند که ذرات پراکنده شده با گازهای دیگر در طول فرآیند رسوب واکنش نامطلوب نشان نمی دهند.

ادامه مطلب