دستگاه لایه نشانی چرخشی با گرمایش در خلاء
۱. دستگاه لایهنشانی چرخشی آزمایشگاهی VTC-100PAD یک دستگاه لایهنشانی چرخشی آزمایشگاهی با کارایی بالا است که برای رسوبدهی دقیق لایهها و پوششهای نازک روی نیمهرساناها، کریستالها و قطعات نوری طراحی شده است.
۲. دستگاه لایهنشانی چرخشی آزمایشگاهی دارای یک سیستم گرمایش یکپارچه (تا ۱۰۰ درجه سانتیگراد) و یک محفظه PTFE مقاوم در برابر خوردگی است و بهترین راه حل برای محققانی است که روی سلولهای خورشیدی پروسکایت، الکترونیک آلی و تجزیه و تحلیل مواد پیشرفته کار میکنند.
- Shenyang Kejing
- شنیانگ، چین
- ۱۰ روز کاری
- ۵۰ مجموعه
- اطلاعات
معرفی دستگاه پوششدهی حرارتی خلاء VTC-100PAD:
دستگاه پوششدهی حرارتی خلاء VTC-100PAD برای پوششدهی سطح و فرآیندهای آمادهسازی لایه نازک شامل موادی مانند نیمهرساناها، کریستالها، اجزای نوری و صفحات چاپ طراحی شده است.
این تجهیزات آمادهسازی لایه نازک با محلولهای پوششدهی خورنده - از جمله اسیدهای قوی و بازهای قوی - سازگار است و در نتیجه الزامات طیف وسیعی از فرآیندهای پیچیده را برآورده میکند. این دستگاه به صورت استاندارد با یک سه نظام خلاء آلومینیومی 3 اینچی با عملکرد گرمایشی یکپارچه ارائه میشود. علاوه بر این، سه نظامهای با مشخصات مختلف را میتوان برای تطبیق با اندازههای مختلف نمونه سفارشی کرد.
در حین کار، نمونهها از طریق جذب خلاء به نگهدارنده نمونه متصل میشوند و پایداری عملیاتی و موقعیتیابی دقیق را تضمین میکنند. این سیستم از کنترل قابل برنامهریزی چندبخشی پشتیبانی میکند که هر برنامه شامل شش مرحله عملیاتی مجزا است. این امر امکان تنظیم سرعت چرخش و شتابدهی روان را فراهم میکند و به طور مؤثر یکنواختی لایه نازک روی سطح نمونه را افزایش میدهد و همزمان ضایعات مواد را به حداقل میرساند.
این دستگاه با ساختار جمع و جور، سهولت کار و تمیز کردن و نگهداری راحت، به طور گسترده در دانشگاهها، مؤسسات تحقیقاتی و آزمایشگاههای مرتبط برای کاربردهایی در تهیه لایه نازک و تحقیقات مواد مورد استفاده قرار میگیرد.
مشخصات فنی دستگاه لایه نشانی چرخشی کوچک:
| نام محصول | دستگاه پوششدهی حرارتی در خلاء VTC-100PAD (اسپین کوتر آزمایشگاهی) | |
| مدل محصول | VTC-100PAD | |
| الزامات نصب تجهیزات آمادهسازی لایه نازک | ۱. دما و رطوبت: ۱۰ تا ۸۵٪ رطوبت نسبی (در دمای ۲۵ درجه سانتیگراد، بدون میعان)؛ دما: ۰ تا ۴۵ درجه سانتیگراد. ۲. ناحیه اطراف تجهیزات باید عاری از منابع لرزش قوی و گازهای خورنده باشد. ۳. آب: این دستگاه مجهز به خروجی تخلیه آب است. ۴. برق: برق تک فاز ۲۲۰ ولت AC، ۵۰ هرتز؛ پریز استاندارد ۳ پین (۱۰ آمپر)؛ باید به درستی به زمین متصل شود. ۵. گاز: خلاء (از طریق پمپ خلاء) با سرعت جریان پمپاژ حداقل ۷۰ لیتر در دقیقه (این تجهیزات همچنین از ورود گازهای بیاثر محافظ، مانند Ar یا N2، پشتیبانی میکنند). ۶. میز کار: ابعاد پیشنهادی: ۸۰۰ × ۶۰۰ × ۷۰۰ میلیمتر؛ ظرفیت تحمل بار: ۵۰ کیلوگرم (یک میز بتنی محکم ترجیح داده میشود). ۷. تهویه: الزامات خاصی ندارد. | |
| پارامترهای اصلی تجهیزات آمادهسازی لایه نازک | ۱. منبع تغذیه دستگاه پوشش گرمایشی خلاء: AC 220V، 50Hz | |
| ۲. محفظه پوشش (جنس): PTFE (پلی تترافلوئورواتیلن) | ||
| ۳. نگهدارنده نمونه (سه نظام خلاء): ۱ سه نظام خلاء آلومینیومی ۳ اینچی (سایزهای دیگر بنا به درخواست موجود است) | ||
| ۴. حالت عملیاتی: شامل ۱ مجموعه برنامه است؛ هر مجموعه شامل ۶ مرحله عملیاتی مجزا است. | ||
| ۵. سرعت پوششدهی: ۵۰۰ دور در دقیقه – ۱۰۰۰۰ دور در دقیقه (برد مؤثر)؛ افزایش سرعت: ۱۰۰ دور در دقیقه. | ||
| ۶. مدت زمان پوششدهی: محدوده زمانی در هر مرحله: ۱ تا ۹۹۹۹ ثانیه. | ||
| ۷. پایداری سرعت: ±۱٪ | ||
| 8. سیستم کنترل: برنامه نویس PLC + رابط صفحه لمسی | ||
| ۹. روش گرمایش: گرمایش سیم مقاومتی؛ کنترل گرمایش با سیستم کنترل واحد اصلی یکپارچه شده است. | ||
| ۱۰. دمای گرمایش: RT (دمای اتاق) – ۱۰۰ درجه سانتیگراد؛ حداکثر مدت زمان گرمایش تا ۹۹۹۹ ثانیه قابل تنظیم است. کنترل دما را میتوان طوری پیکربندی کرد که همراه با توالی برنامهریزی شده عمل کند یا به طور مستقل (از طریق یک کلید فعالسازی دمای اختصاصی) عمل کند. | ||
| ۱۱. توان گرمایش: AC 220V، ۱۵۰W؛ دقت کنترل دما: ±۵°C. | ||
۱۲. مشخصات تجهیزات آمادهسازی لایه نازک: · ابعاد: ۴۵۰ میلیمتر × ۲۸۰ میلیمتر × ۳۴۰ میلیمتر؛ · وزن: 20 کیلوگرم |  | |
| انطباق | گواهینامه CE، UL یا CSA با هزینه اضافی در دسترس است. | |
لوازم جانبی استاندارد دستگاه پوشش گرمایشی خلاء:
| خیر. | نام | مقدار | لینک تصویر |
| 1 | سه نظام وکیوم ۳ اینچی (استاندارد امپریال) | ۱ واحد |  |
| 2 | ترازکننده مرکزی (با ۴ پایه ترازبندی) | ۱ واحد |  |
| 3 | قطرهچکان | ۱ واحد |  |
| 4 | پمپ خلاء بدون روغن | ۱ واحد |  |
لوازم جانبی اختیاری دستگاه پوشش گرمایش خلاء:
| خیر. | نام | دسته بندی عملکرد | لینک تصویر |
| 1 | پیپتهای وارداتی | (اختیاری) |  |
| 2 | پیپتهای خانگی | (اختیاری) |  |
| 3 | ساکشنهای وکیوم (سایزهای دیگر) | (اختیاری) |  |
ویژگیهای کلیدی تجهیزات آمادهسازی لایه نازک:
دستگاه لایه نشانی چرخشی آزمایشگاهی از جذب در خلاء برای ایمن سازی نمونه ها استفاده می کند و عملکرد ساده و موقعیت یابی قابل اعتمادی را با سطح خلاء تا -0.08 مگاپاسکال ارائه می دهد.
دستگاه لایهنشانی چرخشی آزمایشگاهی مجهز به یک ابزار موقعیتیابی نمونه است که قرار دادن سریع نمونه در مرکز را تسهیل میکند و در نتیجه لرزشها یا مشکلات خروج نمونه ناشی از خروج از مرکز را کاهش میدهد.
دستگاه لایه نشانی چرخشی کوچک را میتوان با سه نظامهای خلاء با مشخصات مختلف پیکربندی کرد تا با اندازههای مختلف نمونه سازگار شود؛ این سه نظامها دارای عملکرد گرمایشی یکپارچه هستند و به راحتی قابل تعویض میباشند.
· این دستگاه از یک موتور بدون جاروبک 24 ولت DC بهره میبرد که عملکرد روان، صدای کم و حداقل لرزش را تضمین میکند. قابلیتهای راهاندازی پایدار و شتابدهی آن، به طور موثری ثبات و یکنواختی ضخامت پوشش رسوب داده شده را تضمین میکند.
· دستگاه لایه نشانی چرخشی آزمایشگاهی مجهز به یک پمپ خلاء دو سیلندر بدون روغن است که با ساختار ساده، فضای کم حجم، سهولت نگهداری و عدم آلودگی روغن مشخص میشود.
محفظه پوششدهی از پلیتترافلوئورواتیلن (PTFE) ساخته شده است که مقاومت عالی در برابر اسیدها و بازهای قوی، مقاومت عالی در برابر ترکخوردگی ناشی از تنش و عمر طولانی را ارائه میدهد. بدنه دستگاه پوششدهی گرمایش در خلاء دارای ساختار آلومینیوم ریختهگری شده است که هم استحکام و هم دوام سبک را تضمین میکند.
سیستم لایهنشانی چرخشی آزمایشگاهی، فرآیندهای تهیه لایه نازک را که در اتمسفر گاز بیاثر (مثلاً Ar یا N₂) انجام میشوند، پشتیبانی میکند.
· دستگاه لایه نشانی چرخشی آزمایشگاهی دارای یک سیستم کنترل PLC متصل به یک رابط کاربری لمسی است که نمایش پارامترهای بصری را فراهم میکند و عملکرد راحت و قابل اعتمادی را تضمین میکند. · تجهیزات آمادهسازی لایه نازک دارای عملکرد محافظت در برابر باز شدن درب است: اگر درب بالایی در حین کار باز شود، دستگاه به طور خودکار سرعت خود را کاهش میدهد تا کاملاً متوقف شود و در نتیجه ایمنی عملیاتی را افزایش میدهد.
کاربردهای دستگاه لایه نشانی چرخشی آزمایشگاهی:
سلولهای خورشیدی پروسکایت: بهینهسازی تبلور از طریق گرمایش درجا
ویفرهای نیمههادی: پوشش مقاوم در برابر نور و عملیات سطحی.
پوششهای نوری: فیلترهای چند لایه و پوششهای ضد انعکاس.
مواد زیستی: پوششهای لایه نازک کاربردی برای حسگرهای زیستی
میکروفلوئیدیک: پوشش کانال و پردازش PDMS
سوالات متداول تجهیزات آماده سازی فیلم نازک:
س: آیا میتوان از این دستگاه پوششدهی گرمایشی خلاء در داخل داشبورد استفاده کرد؟
بله، ابعاد جمع و جور و طراحی دریچههای خلأ/گاز آن، آن را کاملاً با محیطهای گلاوباکس Ar/N2 سازگار میکند.
س: حداکثر اندازه زیرلایهای که میتواند تحمل کند چقدر است؟
الف) دستگاه استاندارد با یک سه نظام ۳ اینچی عرضه میشود، اما ما سه نظامهای خلاء سفارشی را برای اشکال و اندازههای مختلف ارائه میدهیم.
چرا شن یانگ کجینگ؟
معیار صنعت: بیش از 20 سال تجربه در تجهیزات آنالیز مواد.
پشتیبانی جهانی: مورد اعتماد دانشگاهها و موسسات تحقیقاتی برتر در سراسر جهان.
تضمین کیفیت: هر واحد قبل از ارسال، تحت آزمایش دقیق و دقیقی قرار میگیرد.
خدمات آزمایش نمونه: از نتایج مطمئن نیستید؟ زیرلایه خود را برای آزمایش پوشش آزمایشی رایگان برای ما ارسال کنید!
