پاک کننده پلاسما با پمپ جاروبرقی
محفظه پلاسما پاک کننده پلاسما کوچک PCE-6 یک محفظه کوارتز Ø160mm×190mm است. توان RF مورد استفاده 3.0 مگاهرتز (1%) است و توان خروجی در سه سطح 7.2 وات، 10.2 وات و 29.6 وات قابل تنظیم است. این دستگاه عمدتاً از طریق پلاسمای هوا، اکسیژن یا آرگون و سایر گازها، لایه اکسید و آلاینده های روی لایه ها را حذف می کند و همچنین می تواند خواص سطح اجسام (مانند آب دوستی و آب گریزی و ...) را تغییر دهد.
- Shenyang Kejing
- شن یانگ، چین
- 10 روز کاری
- 50 ست
- اطلاعات
ویژگی های اصلی
1. از طریق دکمه ها و سوئیچ های کنترل پنل، قدرت RF، باز و بسته شدن پمپ خلاء و زمان تمیز کردن قابل کنترل و تنظیم است.
2. زمان، توان، درجه خلاء و سایر اطلاعات در یک گروه 4 لامپ دیجیتال نمایش داده می شود.
3. مجهز به یک شیر سه طرفه، که می تواند به طور دقیق جریان هوای ورودی را کنترل کند و محفظه را با هوای اتمسفر تمیز کند. رابط ورودی یک رابط آستین کارت 6 میلی متری است.
4. یک تجهیزات منبع تغذیه RF با قدرت بالا برای انجام آزمایش های اچینگ و خاکستر پلاسما انتخاب می شود.
تیپارامترهای فنی
نام محصول | پاک کننده پلاسما کوچک PCE-6 |
نمونه محصول | PCE-6 |
پارامترهای اصلی (مشخصات) | 1. منبع تغذیه: AC220V 50/60Hz 2. توان خروجی: 7.2W، 10.2W، 29.6W 3. قدرت پمپ خلاء: &آن;500W 4. توان کل: &آن;600W 5. فرکانس RF: 3.0MHz، قدرت را می توان به صورت دستی در 3 سطح تنظیم کرد 6. محفظه پلاسما: محفظه کوارتز با خلوص بالا Ø160mm×190mm، مهر و موم شده با فلنج تاشو آلومینیومی با پنجره مشاهده Ø45mm روی فلنج 7. پمپ خلاء: 120 لیتر در دقیقه، پمپ خلاء دو مرحله ای با اتصال مستقیم 8. خلاء نهایی: 50 mtorr 9. معرفی گاز: گازهای مختلفی را می توان برای تولید پلاسما معرفی کرد، مانند N2، آر، اچ2، O2 ، هوا و گازهای مخلوط (بر اساس خواص مواد انتخاب می شوند) برای تمیز کردن و حکاکی |
ابعاد و وزن محصول | ابعاد: 400mm×300mm×300mm که درهشت:10.2 کیلوگرم
|
لوازم جانبی اختیاری | 1. 2"-6"قایق کوارتز / حامل (برای نگه داشتن بستر) 2. 2-4 کانال پروتون یا سیستم اختلاط گاز شناور |
ضمانتنامه
یک سال محدود با پشتیبانی مادام العمر (بدون احتساب قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری)
لجستیک
