تجهیزات پوشش‌دهی با خلاء بالا مگنترون

معرفی تجهیزات پوشش‌دهی آزمایشگاهی:

وی تی سی-800G یک دستگاه پوشش‌دهی کوچک مگنترون اسپاترینگ است که به‌طور مستقل توسط ما توسعه داده شده است. این دستگاه پوشش‌دهی کوچک به‌طور گسترده در تهیه فیلم‌های فروالکتریک تک‌لایه یا چندلایه، فیلم‌های رسانا، فیلم‌های آلیاژی، فیلم‌های نیمه‌رسانا، فیلم‌های سرامیکی، فیلم‌های دی‌الکتریک، فیلم‌های نوری، فیلم‌های اکسیدی، فیلم‌های سخت و فیلم‌های پلی‌تترافلوئورواتیلن استفاده می‌شود.

تجهیزات پوشش‌دهی کوچک را می‌توان به یک سیستم تفنگ چند هدفه مجهز کرد که از پاشش با توان آر اف برای مواد غیر رسانا و پاشش با توان دی سی برای مواد رسانا پشتیبانی می‌کند تا نیازهای مختلف فرآیند را برآورده سازد.

در مقایسه با تجهیزات مشابه، دستگاه پوشش‌دهی کوچک وی تی سی-800G از نظر اندازه کوچک، کاربری آسان و انعطاف‌پذیری در کاربرد است. این دستگاه انتخابی ایده‌آل برای آماده‌سازی آزمایشگاهی مواد لایه نازک کاربردی، به‌ویژه برای تحقیق و توسعه مواد جدید مانند الکترولیت‌های جامد و OLEDها است.

ویژگی‌های اصلی تجهیزات پوشش‌دهی دقیق:

۱. تجهیزات پوشش‌دهی کوچک را می‌توان به چندین تفنگ هدف‌گیری مجهز کرد که از منابع تغذیه آر اف و دی سی پشتیبانی می‌کنند و به ترتیب برای پوشش‌دهی اسپاترینگ مواد هدف نارسانا و رسانا استفاده می‌شوند و تفنگ‌های هدف‌گیری را می‌توان در صورت نیاز به صورت انعطاف‌پذیر تعویض کرد.

۲. تجهیزات پوشش‌دهی دقیق با تهیه فیلم‌های کاربردی مختلف سازگار است و طیف گسترده‌ای از کاربردها را دارد.

۳. تجهیزات پوشش‌دهی دقیق، کوچک، ساختار جمع‌وجور، کاربری آسان و مناسب برای محیط‌های آزمایشگاهی مختلف هستند.

4. تجهیزات پوشش‌دهی دقیق دارای طراحی ماژولار هستند و محفظه خلاء، گروه پمپ و سیستم کنترل قدرت از هم جدا هستند و می‌توانند با توجه به نیازهای واقعی به صورت انعطاف‌پذیر ترکیب شوند.

۵. تجهیزات پوشش‌دهی آزمایشگاهی از روش‌های کنترل توان چندگانه پشتیبانی می‌کنند: یک منبع تغذیه، چندین تفنگ هدف‌گیری را کنترل می‌کند یا چندین منبع تغذیه به طور مستقل تفنگ‌های هدف‌گیری را برای برآورده کردن نیازهای مختلف فرآیند کنترل می‌کنند.

پارامترهای فنی تجهیزات پوشش دقیق:

نام محصول	تجهیزات پوشش‌دهی به روش کندوپاش مگنترون
مدل محصول	وی تی سی-800G
پارامترهای اصلی	1. ساختار محفظه: طراحی پوشش بالایی استوانه‌ای، سیستم اگزوز عقب. ۲. خلاء نهایی: ۶.۰×۱۰-۵ پاسکال ۳. میزان نشت خلاء: ≤۰.۵ پاسکال در عرض ۱ ساعت. ۴. زمان تخلیه: حدود ۳۰ دقیقه از اتمسفر تا فشار ۵.۰×۱۰-۳ پاسکال. ۵. پیکربندی گروه پمپ خلاء: پمپ مکانیکی + پمپ مولکولی. ۶. پارامترهای مرحله نمونه: · اندازه: Ø205 · محدوده دما: دمای اتاق ~ ۵۰۰℃، دقت ±۱℃ · سرعت چرخش: 5~20rpm (قابل تنظیم). ۷. تابع بایاس: اختیاری (برای بهبود کیفیت فیلم استفاده می‌شود). ۸. سیستم پر کردن گاز: فلومتر جرمی دو کاناله (هر کدام آرگون/نیتروژن) ۹. زاویه سر هدف: زاویه بین سر هدف و محور مرکزی جایگاه نمونه ۳۴ درجه است ۱۰. تعداد سرهای هدف: ۲ عدد به صورت استاندارد (می‌تواند به صورت اختیاری تا ۴ عدد افزایش یابد). ۱۱. روش خنک‌سازی تفنگ هدف‌گیری: خنک‌سازی با آب ۱۲. مشخصات ماده هدف: قطر Ø۳ اینچ، ضخامت ۰.۱ تا ۵ میلی‌متر (بسته به ماده هدف)
	۱۳. مشخصات تجهیزات پوشش‌دهی با روش کندوپاش مگنترون: · اندازه کلی: 700 میلی‌متر × 1093 میلی‌متر × 1380 میلی‌متر

درباره ما:

شرکت ما سال‌هاست که عمیقاً در زمینه فیلم‌سازی فعالیت دارد و تجربه فوق‌العاده‌ای دارد. در عین حال، شرکت ما تجهیزات متنوعی را برای مواد مختلف و برای رفع نیازهای مختلف شما ارائه می‌دهد. ما همچنین می‌توانیم به شما در آزمایش تأثیر تجهیزات کمک کنیم. شما می‌توانید نمونه‌هایی را ارائه دهید و ما نمونه‌هایی را آماده خواهیم کرد تا بتوانید تأثیر محصولات ما را به طور شهودی‌تری مشاهده کنید. اگر محصولات ما را تأیید می‌کنید، می‌توانید آنها را خریداری کنید و به شما امکان می‌دهیم کار خود را روان‌تر انجام دهید.