دستگاه پوشش‌دهی چرخشی پرسرعت (۱۰ هزار دور در دقیقه و حداکثر ۵ اینچ)

معرفی محصول

دستگاه لایه‌نشانی چرخشی خلاء وی تی سی-100PA برای فرآیندهای لایه‌نشانی سطح در نیمه‌رساناها، کریستال‌ها، دیسک‌های نوری و لیتوگرافی نوری طراحی شده است. همچنین برای تهیه فیلم با استفاده از محلول‌های پوشش‌دهی اسیدی قوی یا قلیایی قوی مناسب است.

این دستگاه به صورت استاندارد با دو سه نظام خلاء با اندازه‌های مختلف عرضه می‌شود که به کاربران امکان می‌دهد سه نظام مناسب را بر اساس ابعاد نمونه انتخاب کنند. در حین کار، وی تی سی-100PA نمونه را از طریق مکش خلاء روی سه نظام محکم می‌کند. این دستگاه می‌تواند تا 12 برنامه را ذخیره کند که هر برنامه شامل 6 مرحله عملیاتی است. مراحل مختلف مربوط به سرعت‌های چرخش مختلف است و به پوشش‌دهنده این امکان را می‌دهد که به تدریج به حداکثر سرعت برسد. این امر تشکیل یکنواخت فیلم روی سطح نمونه را تضمین می‌کند و در عین حال ضایعات مواد را کاهش داده و راندمان را بهبود می‌بخشد.

دستگاه لایه نشانی چرخشی در خلاء وی تی سی-100PA با ویژگی‌هایی مانند کارکرد آسان، تمیز کردن راحت و فضای کم حجم، به طور گسترده در آزمایشگاه‌های دانشگاه‌ها، مؤسسات تحقیقاتی و مراکز تحقیق و توسعه برای ساخت لایه‌های نازک مورد استفاده قرار می‌گیرد.

ویژگی‌های اصلی

۱. نمونه با استفاده از جذب خلاء تثبیت می‌شود که کار با آن آسان است.

2. درجه خلاء می‌تواند به -0.08MPa برسد.

۳. نمونه‌ها را می‌توان به راحتی با استفاده از ابزار موقعیت‌یابی در مرکز قرار داد تا لرزش یا پرتاب شدن ناشی از عدم تراز کاهش یابد.

4. با توجه به مشخصات نمونه، می‌توان از چاک‌های مختلف استفاده کرد و تعویض آن راحت و ساده است.

5. یک موتور دی سی بدون جاروبک 24 ولتی به کار گرفته شده است که دارای مزایای قابلیت اطمینان بالا، سازگاری قوی، تعمیر و نگهداری ساده، سر و صدای کم، لرزش کم، عملکرد پایدار، راه اندازی سریع و پایدار، عملکرد پایدار پس از شتاب گیری است تا از ثبات و یکنواختی ضخامت پوشش اطمینان حاصل شود.

۶. پمپ خلاء میله موازی بدون روغن مزایای اندازه کوچک، ساختار ساده، عملکرد آسان، نگهداری راحت و عدم آلودگی محیط زیست را دارد.

7. محفظه از جنس پی پی با طول عمر بیشتر ساخته شده است تا توانایی مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و ترک خوردگی ناشی از تنش عالی را بهبود بخشد و بدنه دستگاه از ساختار آلومینیوم ریخته‌گری شده استفاده می‌کند که بادوام و سبک وزن است.

۸. پوشش‌دهی را می‌توان در اتمسفر گاز بی‌اثر (مانند آرگون، نیتروژن) انجام داد.₂).

۹. سیستم عامل انگلیسی

۱۰. این دستگاه دارای عملکرد محافظت در برابر باز شدن پوشش است. هنگامی که پوشش بالایی در طول فرآیند پوشش‌دهی یا در پایان پوشش‌دهی باز می‌شود، دستگاه بلافاصله به سرعت سرعت خود را کاهش می‌دهد تا زمانی که متوقف شود.

۱۱. رابط کنترل از یک صفحه لمسی به همراه سیستم کنترل کامپیوتری تک برد استفاده می‌کند و نمایش عددی بصری‌تر و قابل اعتمادتر است.

تیپارامترهای فنی

سلوازم جانبی استاندارد

اینلوازم جانبی اختیاری

خیر.	نام	نوع عملکردی	تصویر
1	چاک‌های خلاء با مشخصات دیگر	(اختیاری)
2	پیپت (ساخت چین)	(اختیاری)
3	پیپت (وارداتی)	(اختیاری)

گارانتی

    یک سال محدود با پشتیبانی مادام العمر (شامل قطعات زنگ زده به دلیل شرایط نامناسب نگهداری نمی‌شود)

لجستیک