دستگاه یکپارچه پوشش خلاء جعبه دستکش برای پروسکایت سلول خورشیدی

الف سیستم سه فاز پنج سیم. پنج سیم: 380 VAC (+/-5%)، 50 هرتز، سه سیم برق، یک سیم زمین و یک سیم نول. حداکثر توان 8 کیلو وات، حداکثر جریان 32 آمپر.

ب علاوه بر این، یک سیم اتصال به زمین پوسته مستقل مورد نیاز است.

2. آب:

دبی 15-20 لیتر در دقیقه، 15 تا 25 درجه سانتیگراد، اختلاف فشار آب ورودی و خروجی 1 تا 2 کیلوگرم، فشار ورودی آب 2 تا 3 کیلوگرم، قطر خارجی ورودی و خروجی آب تجهیزات 12 میلی متر است (توصیه می شود از لوله لاستیکی آب بهتر استفاده شود). توصیه می شود در جلوی ورودی آب تجهیزات یک شیر توپی نصب شود تا فشار آب و جریان آب به راحتی تنظیم شود.

3. گاز:

الف هوای فشرده: خشک، تمیز، بدون آب، هوای فشرده بدون روغن، لوله هوای پلاستیکی 8 میلی متر، فشار 5.5-6

کیلوگرم (0.55-0.6MPA).

ب نیتروژن معمولی: نیتروژن خشک که برای شکستن خلاء در محفظه تجهیزات استفاده می شود. لوله هوا پلاستیکی 8 میلی متر، فشار 1-2 کیلوگرم (0.1-0.2MPA).

1. محفظه فولاد ضد زنگ 304 مخصوص خلاء، الکترو پولیش داخلی، قطر محفظه خلاء حدود 400 میلی متر عرض، 400 میلی متر عمق و 450 میلی متر ارتفاع است، با ساختار درب جلو و عقب عمودی.

2. ریل درب جلو از طراحی ریل دوگانه وارداتی با ظاهر هماهنگ تر و قفل دستی استفاده می کند. درب عقب از ساختار لولای دستی استفاده می کند که به راحتی سفت و آب بندی می شود. این سیستم یک آستر فولادی ضد زنگ با ساختار چند تکه برای جداسازی و نصب آسان فراهم می کند. سطوح داخلی و خارجی محفظه خلاء صیقل داده شده است. محفظه مجهز به رابط های تجهیزاتی مانند روشنایی و ضخامت سنج فیلم است.

3. سمت چپ محفظه خلاء به شیر اصلی و پمپ مولکولی و رابط اندازه گیری خلاء متصل است. قسمت بالایی مجهز به یک مرحله نمونه چرخان با آب خنک شده، یک بافل مرحله نمونه و یک رابط کاوشگر ضخامت سنج فیلم است. صفحه پایین مجهز به 2 مجموعه الکترود تبخیر فلزی، 4 مجموعه منابع آلی و 2 پورت نصب پروب ضخامت سنج فیلم است.

4. درهای جلو و عقب با پنجره های مشاهده شیشه ای: 1 پنجره مشاهده با قطر 4 اینچ با بافل در جلوی درب اتاق خلاء. مجهز به شیشه ضد رسوب؛ 2 پنجره دید کوچک روی درب عقب به ترتیب منبع و نمونه را مشاهده می کنند که مجهز به شیشه ضد رسوب هستند.

II. منبع تبخیر: مجهز به منبع تبخیر فلزی و منبع تبخیر غیر فلزی

III. سیستم هشدار کامل: تشخیص و حفاظت کمبود و ولتاژ کم، تشخیص و حفاظت توالی فاز، تشخیص و حفاظت دما، تشخیص و حفاظت سیستم خلاء. هشدار برای شرایط غیرعادی مانند کمبود آب، جریان اضافه، اضافه ولتاژ و قطعی مدار پمپ ها و الکترودها و اجرای اقدامات حفاظتی مربوطه. برنامه منطقی کامل سیستم حفاظتی درهم قفل.

IV. روش کنترل:

پاناسونیک PLC + صفحه نمایش لمسی کنترل خودکار دستی. نرخ و ضخامت نهایی می تواند ورودی باشد، تنظیم PID به طور خودکار خروجی توان تبخیر را کنترل می کند. محتوای کنترل: پمپ مکانیکی، پمپ مولکولی، پنوماتیک، شیر الکترومغناطیسی، گیج خلاء و غیره؛ جاروبرقی اتوماتیک، روکش اتوماتیک، اگزوز اتوماتیک و غیره؛

حفاظت کامل اینترلاک (اینترلاک سخت افزاری، نرم افزاری)، در حالت دستی و اتوماتیک، تجهیزات تحت حفاظت کامل اینترلاک هستند تا ایمنی پرسنل و تجهیزات تضمین شود. علاوه بر این، این سیستم مجهز به دستگاه هشدار دهنده جریان آب است.

V. ویژگی های ساختاری: این سیستم دارای چرخ ها و پایه های جهانی برای حرکت آسان است. (همانطور که در شکل نشان داده شده است)

ما جزئیات:

در جلوی پمپ مکانیکی یک غربال مولکولی نصب می شود و در خروجی هوا قطعات محافظی مانند فیلترها و دریچه ها نصب می شود. مسیر گاز برای جلوگیری از گرد و غبار طراحی شده است. منبع ارگانیک به طور مستقل در داخل نصب می شود.

تمام مراحل نمونه، بافل های منبع، و چرخش های مرحله نمونه با سیال مغناطیسی مهر و موم شده اند تا از پایداری طولانی مدت سیستم اطمینان حاصل شود.

رله ها، بلوک های ترمینال، اتصالات لوله آب و گاز، شیرهای برقی و سایر اجزای کوچک، همگی محصولات اصیل باکیفیت هستند.

1. سیستم خلاء:

با استفاده از کالیبر FF-200/1300 پمپ مولکولی روغن کاری شده با گریس ژونگکه Keyi، سرعت پمپاژ: 1300 L/S + سیستم خلاء پمپ مکانیکی فییو VRD-16، دریچه فلپر پنوماتیک 8 اینچی، اندازه گیری خلاء: یک سوئیچ خودکار با اتمسفر پایین و یک سوئیچ خودکار با اتمسفر 9 درجه بالا اندازه گیری خلاء کم و خلاء زیاد. قرائت های خلاء برای کنترل فرآیند به PLC وارد می شوند.

شیر خلاء: مدل: 2 مجموعه شیر فلپر DN40mm; 1 ست شیر ​​اصلی پنوماتیک ژونگکه Keyi DN200.

مهر و موم خلاء: مهر و موم استاتیک قابل جدا شدن با حلقه فلورو لاستیک مهر و موم شده است. مهر و موم استاتیکی که به ندرت جدا می شود با مس بدون اکسیژن آب بندی می شود.

2. حد خلاء:

بهتر از 2.0×10-5Pa. میزان نشت: بهتر از 5×10-8Pa*L/S (استاندارد ملی). پس از خاموش شدن به مدت 12 ساعت، درجه خلاء ≤5Pa است.

3. سرعت پمپاژ: زمان پمپاژ: فشار اتمسفر ~ 5×10-4Pa کمتر از 20 دقیقه

1. ساختار از نوع کشو، حمل نمونه حداکثر 150 * 150 میلی متر، مجهز به بافل بستر پنوماتیک.

2. فاصله بین بستر و منبع تبخیر به صورت الکتریکی قابل تنظیم است و حداکثر فاصله تنظیم بالابر الکتریکی 60 میلی متر است.

3. مرحله نمونه با عملکرد خنک کننده آب قابل چرخش است: سرعت چرخش مرحله نمونه به طور مداوم از 0 تا 30 دور در دقیقه قابل تنظیم است.

1. دستگاه پوشش تبخیر پرتو الکترونی با خلاء بالا مجهز به 2 مجموعه از منابع تبخیر قایق است. منبع فلزی از یک الکترود مسی خنک‌شده با آب + ساختار قایق تبخیر (حداکثر درجه حرارت 1500 درجه) استفاده می‌کند. دستگاه پوشش تبخیر پرتو الکترونی با خلاء بالا مجهز به منبع تغذیه تبخیر 2.4 کیلووات است. منبع تغذیه منبع تبخیر دارای دو حالت درایو است: جریان ثابت و ولتاژ ثابت، که می تواند سوئیچ شود. منبع تغذیه تبخیر را می توان با نرم افزار یا به صورت دستی کنترل کرد. منبع تغذیه تبخیر همچنین می تواند به طور خودکار میزان تبخیر را از طریق پید ضخامت سنج فیلم (کنترل حلقه بسته) تنظیم کند. دارای صفحه نمایش دیجیتال

2. دستگاه پوشش تبخیر پرتو الکترونی با خلاء بالا مجهز به 4 مجموعه کوره های منبع پرتو تبخیر آلی، 4 منبع تغذیه تبخیر آلی، منابع تبخیر آلی با عملکرد نمایش دما، و کوره های منبع پرتو آلی از کنترل کننده های دمای رسانای ژاپنی استفاده می کنند. مجهز به 4 مجموعه بوته، دمای گرمایش: 0-700 درجه سانتیگراد. محدوده زاویه قابل تنظیم: 0-15 درجه،

1. منبع تغذیه: دی سی 5V (±10%)، حداکثر جریان 400mA.

2. وضوح فرکانس: ± 0.03 هرتز.

3. وضوح ضخامت فیلم: 0.0136Å (آلومینیوم).

4. دقت ضخامت فیلم: ± 0.5٪، بسته به شرایط فرآیند، به ویژه موقعیت سنسور، تنش مواد، دما و چگالی.

5. سرعت اندازه گیری: 100ms-1s/زمان، قابل تنظیم.

6. محدوده اندازه گیری: 500000Å (آلومینیوم).