سیستم پوشش‌دهی کندوپاش مگنترونی چند محفظه‌ای پیوسته

معرفی سیستم پوشش‌دهی کندوپاش مگنترون: 

دستگاه پوشش‌دهی اسپاترینگ وی تی سی-600GC-صبح یک دستگاه آماده‌سازی لایه نازک با عملکرد بالا و به تازگی توسعه یافته است که از یک محفظه انتقال و یک محفظه پوشش‌دهی اسپاترینگ تشکیل شده است. نگهدارنده زیرلایه بین دو محفظه که توسط یک موتور مدوله شده با فرکانس هدایت می‌شود، رفت و برگشت می‌کند و به عملکرد خودکار همزمان دست می‌یابد. موقعیت حرکت رفت و برگشتی و سرعت عملکرد را می‌توان به طور دقیق تنظیم کرد. هر دو محفظه دستگاه پوشش‌دهی اسپاترینگ مجهز به توابع کالیبراسیون موقعیت‌یابی هستند که از تنظیم مجدد سریع مبدا برای اطمینان از پایداری و تکرارپذیری فرآیند پشتیبانی می‌کنند.

دستگاه پوشش‌دهی اسپاترینگ برای تهیه انواع مختلف لایه‌های نازک، از جمله: لایه‌های نازک فروالکتریک، لایه‌های نازک رسانا، لایه‌های نازک آلیاژی، لایه‌های نازک نیمه‌هادی، لایه‌های نازک سرامیکی، لایه‌های نازک دی‌الکتریک، لایه‌های نازک نوری، لایه‌های نازک اکسیدی، لایه‌های نازک سخت، لایه‌های نازک PTFE و غیره مناسب است. دستگاه پوشش‌دهی اسپاترینگ می‌تواند به یک ساختار چند هدفه مجهز شود و می‌تواند با یک منبع تغذیه آر اف (برای اهداف غیر رسانا) و یک منبع تغذیه دی سی (برای اهداف رسانا) جفت شود تا نیازهای پوشش‌دهی اسپاترینگ سیستم‌های مختلف مواد را برآورده کند و آن را به طور گسترده قابل استفاده کند.

در مقایسه با تجهیزات سنتی، دستگاه پوشش‌دهی اسپاترینگ وی تی سی-600GC-صبح نه تنها دارای طیف گسترده‌ای از کاربردها و قابلیت توسعه‌پذیری عملکردی قوی است، بلکه دارای ساختار جمع‌وجور، عملکرد راحت و فضای اشغالی کم نیز می‌باشد. این دستگاه، سیستمی ایده‌آل برای آماده‌سازی آزمایشگاهی مواد لایه نازک با کیفیت بالا، به‌ویژه برای زمینه‌های تحقیقاتی پیشرفته مانند الکترولیت‌های حالت جامد، OLEDها و مواد اپتوالکترونیکی آلی/معدنی است.

وی تی سی-600GC-صبح با عملکرد پایدار و قابل اعتماد، اثر پاشش یکنواخت بالا و قابلیت‌های انبساط انعطاف‌پذیر، یک راهکار حرفه‌ای و کارآمد برای تهیه لایه نازک در اختیار محققان قرار می‌دهد.

ویژگی‌های کلیدی دستگاه پوشش‌دهی با روش کندوپاش مگنترون:

• ساختار دو محفظه‌ای: دستگاه پوشش‌دهی مگنترون اسپاترینگ از یک محفظه انتقال و یک محفظه اسپاترینگ تشکیل شده است که امکان انتقال سریع نمونه و پوشش‌دهی پیوسته را فراهم می‌کند و به طور قابل توجهی راندمان آماده‌سازی فیلم را بهبود می‌بخشد.

• پیکربندی انعطاف‌پذیر چند هدفه: دستگاه پوشش‌دهی مگنترون اسپاترینگ می‌تواند به چندین تفنگ هدف‌گیری مجهز شود، از منابع تغذیه آر اف و دی سی پشتیبانی می‌کند و برای اهداف رسانا و نارسانا مناسب است. تفنگ‌های هدف‌گیری را می‌توان آزادانه با توجه به نیازهای فرآیند تعویض کرد.

• طیف گسترده کاربردها: دستگاه لایه نشانی کندوپاش مگنترون می‌تواند انواع مختلفی از لایه‌های نازک، از جمله فلزات، اکسیدها، سرامیک‌ها، دی‌الکتریک‌ها و لایه‌های نوری را تهیه کند و نیازهای تحقیقاتی حوزه‌های مختلف را برآورده سازد.

• اندازه جمع و جور و عملکرد ساده: دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ مگنترون دارای فضای اشغالی کم و چیدمان منطقی است که آن را برای استفاده آزمایشگاهی مناسب می کند.

• طراحی ماژولار: محفظه انتقال، محفظه خلاء، مجموعه پمپ و منبع تغذیه همگی می‌توانند به طور مستقل پیکربندی شوند و این امر گسترش و نگهداری را تسهیل می‌کند.

• پیکربندی منبع تغذیه اختیاری: دستگاه پوشش‌دهی اسپاترینگ مگنترون از کنترل منبع تغذیه واحد برای چندین تفنگ هدف، یا کنترل مستقل چندین منبع تغذیه پشتیبانی می‌کند و الزامات فرآیندهای مختلف آماده‌سازی فیلم را برآورده می‌سازد.

پارامترهای فنی دستگاه پوشش‌دهی با روش کندوپاش مگنترون:

نکات کلیدی عملیاتی سیستم پوشش‌دهی با روش کندوپاش مگنترون:

۱. عملیات سطحی زیرلایه: قبل از پوشش‌دهی، زیرلایه نیاز به عملیات سطحی مناسب دارد تا چسبندگی یکنواخت و دوام خوب آن تضمین شود. روش‌های عملیات سطحی می‌تواند شامل تمیز کردن، رفع آلودگی، صیقل دادن و حکاکی باشد.

۲. انتخاب پوشش: هنگام انتخاب یک پوشش، باید خواص فیزیکوشیمیایی، حلالیت، ویسکوزیته و محتوای جامد آن در نظر گرفته شود و یک پوشش مناسب بر اساس الزامات مواد انتخاب شود.

۳. کنترل ضخامت پوشش: ضخامت پوشش یکی از عوامل مهم مؤثر بر عملکرد پوشش است. ضخامت پوشش باید در طول فرآیند پوشش‌دهی کنترل شود، معمولاً با کنترل سرعت خراشیدن سیم یا تیغه، ضخامت لایه نازک دستگاه پوشش‌دهی و ویسکوزیته پوشش.

۴. کنترل یکنواختی پوشش: یکنواختی پوشش نیز تأثیر قابل توجهی بر عملکرد پوشش دارد. در طول فرآیند پوشش، لازم است توزیع یکنواخت پوشش حفظ شود و اطمینان حاصل شود که سطح پوشش عاری از عیوب و حباب‌های آشکار است.

۵. تنظیمات پارامترهای دستگاه پوشش‌دهی: تنظیمات پارامترهای دستگاه پوشش‌دهی نیز بسیار مهم هستند. دما، سرعت، سطح خلاء و سایر پارامترهای دستگاه پوشش‌دهی باید به طور مناسب و بر اساس پوشش‌ها و انواع زیرلایه‌های مختلف تنظیم شوند تا کیفیت و عملکرد پوشش تضمین شود.

۶. عملیات ایمن: هنگام کار با دستگاه پوشش‌دهی باید اقدامات احتیاطی ایمنی رعایت شود، به خصوص از آنجایی که برخی از مواد سمی هستند. برای جلوگیری از آسیب به پرسنل و محیط زیست، استفاده از عینک محافظ، دستکش و ماسک توصیه می‌شود.

درباره خدمات ما: 

ما سال‌هاست که بر تحقیق و طراحی تجهیزات آزمایشگاهی تمرکز کرده‌ایم و از فناوری برتر و تجربه غنی برخورداریم. در مورد دستگاه‌های پوشش‌دهی تخت، ما سال‌ها تجربه تحقیق و توسعه داریم و تجهیزات ما از مزایای قابل توجهی در دقت، پایداری و کارایی برخوردار است.