سیستم رسوب لیزر پالسی کروی

شرایط نصب

1. دمای محیط: 10℃ تا 35℃

2. رطوبت نسبی: حداکثر 75٪

3. منبع تغذیه: 220 ولت، تک فاز، 50±0.5 هرتز

4. قدرت تجهیزات: کمتر از 4KW

5. تامین آب: فشار آب 0.2MPa ~ 0.4MPa، دمای آب 15℃ ~ 25℃،

6. محیط اطراف تجهیزات باید مرتب باشد، هوا تمیز باشد و گرد و غبار یا گازی وجود نداشته باشد که باعث خوردگی دستگاه برقی یا سایر سطوح فلزی شود یا باعث هدایت بین فلزات شود.

پارامترهای اصلی

(مشخصات)

1. این سیستم ساختار کروی و درب ورودی دستی را اتخاذ می کند.

2. اجزای محفظه خلاء و لوازم جانبی همه از فولاد ضد زنگ با کیفیت بالا (304)، جوش آرگون، و سطح با انفجار شیشه و پولیش و غیرفعال کردن الکتروشیمیایی درمان می شود.

3. محفظه خلاء مجهز به پنجره مشاهده بصری است. اندازه موثر محفظه خلاء Φ300 میلی متر است.

4. حد درجه خلاء: ≤6.67×10^-5پا (پس از پخت و گاز زدایی، از پمپ مولکولی 600L/S برای پمپاژ هوا استفاده کنید و از 8L/S برای مرحله جلویی استفاده کنید).

نرخ نشت تشخیص نشت خلاء سیستم: ≤5.0×10^-7پا.L/S; 

این سیستم شروع به پمپاژ هوا از جو به 8.0×10 می کند^-4پا، که می توان در 40 دقیقه به آن رسید. 

درجه خلاء پس از توقف پمپ به مدت 12 ساعت: ≤20 پا

5. مرحله نمونه: اندازه نمونه φ40 میلی متر است، سرعت چرخش 1-20 دور در دقیقه است، و فاصله بین مرحله بستر و هدف چرخش 40-90 میلی متر است.

6. حداکثر دمای گرمایش نمونه: 800 ℃، دقت کنترل دما: ± 1 ℃، و متر کنترل دما برای کنترل دما استفاده می شود.

7. هدف چرخش چهار ایستگاه: هر موقعیت هدف φ40 میلی متر است، فقط یک موقعیت هدف روی بافل / شاتر در معرض دید قرار می گیرد، پرتو لیزر برای ضربه زدن به موقعیت هدف بالا مورد نیاز است و هدف چرخشی عملکردهای چرخش و چرخش خودکار را دارد.

8. دستگاه های پخت، روشنایی و هشدار فشار آب در محفظه خلاء تعبیه شده است

9. فلومتر جرمی یک طرفه MFC (برای کنترل هوای ورودی): 0-100sccm