پاک کننده پلاسما با منبع تغذیه آر اف بالا

مدل محصول

پی سی ای-6V

پارامترهای اصلی

(مشخصات)

۱. ولتاژ: AC220V 10A

2. مصرف برق: <500 وات (شامل پمپ خلاء)

۳. منبع تغذیه آر اف: توان خروجی ۱۰۰ وات، فرکانس خروجی ۱۳.۵۶ مگاهرتز

۴. محفظه: Ø۱۹۰ میلی‌متر × ۹۸ میلی‌متر

۵. لوله کوارتز: Ø۱۸۰ میلی‌متر × ۵۵ میلی‌متر، ضخامت دیواره ۷ میلی‌متر

6. محفظه داخلی: Ø165mm×55mm

۷. الکترود تمیزکننده: Ø۱۲۰ میلی‌متر

۸. جایگاه نمونه: Ø۱۵۰ میلی‌متر، اندازه مؤثر Ø۱۴۰ میلی‌متر

9. فاصله بین پایه نمونه و الکترود: 15 تا 50 میلی‌متر قابل تنظیم

۱۰. لوله اگزوز: Ø۱۲ میلی‌متر

۱۱. درجه خلاء نهایی: ۰.۱ پاسکال

۱۲. درجه خلاء کاری: ۶۰Pa-۵۰۰Pa

۱۳. تعداد کانال‌های هوا: ۲ (اختیاری)

۱۴. تعداد کنترل‌کننده‌های جریان: ۱، ۲

۱۵. نشانگر جریان: ۲ کانال

۱۶. رابط پنوماتیک: Ø۶ میلی‌متر

۱۷. مرحله نمونه گرمایش: Ø۱۰۰ میلی‌متر، دمای نمونه گرمایش ۲۰۰℃-۵۰۰℃ (اختیاری)

۱۸. فشار آب خنک‌کننده: ۰.۲ کیلوپاسکال-۰.۴ کیلوپاسکال

۱۹. محیط کار: دمای ۵ تا ۳۵ درجه سانتیگراد، رطوبت کمتر از ۸۰٪ (رطوبت نسبی) بدون چگالش.

ابعاد و وزن محصول

ابعاد: 245 میلی‌متر × 235 میلی‌متر × 460 میلی‌متر (به استثنای پمپ خلاء)

وزن: 20 کیلوگرم (بدون پمپ خلاء)