مانیتور ضخامت فیلم EQ-TM106
۱. این دستگاه بازرسی پوشش آزمایشگاهی، یک مانیتور ضخامت لایه QCM با دقت بالا برای MBE، OLED و کندوپاش است. اطمینان حاصل کنید که ضخامت پوشش مطابق با الزامات آزمایشگاهی است.
۲. این تجهیزات همچنین دارای کنترل نرخ در لحظه، وضوح ۰.۰۱۳۶Å و خروجی داده به کامپیوتر شخصی هستند.
۳. این تجهیزات با پشتیبانی اختصاصی قبل و بعد از فروش ارائه میشوند. در صورت بروز هرگونه نقص در تجهیزات یا آسیب به قطعات، لطفاً فوراً با ما تماس بگیرید؛ ما خدمات گارانتی یک ساله مربوطه را ارائه میدهیم (شامل مشکلات غیر انسانی).
- Shenyang Kejing
- شنیانگ، چین
- ۱۰ روز کاری
- ۵۰ مجموعه
- اطلاعات
معرفی دستگاه ضخامت سنج آماده سازی فیلم:
دستگاه اندازهگیری ضخامت فیلم EQ-TM106 از اصل نوسان کریستال کوارتز، همراه با فناوری پیشرفته اندازهگیری فرکانس، برای نظارت بر ضخامت فیلم به صورت درجا و در لحظه استفاده میکند. این دستگاه عمدتاً در فرآیندهای رسوبگذاری لایه نازک - مانند فرآیندهایی که شامل MBE، تبخیر حرارتی OLED و تجهیزات کندوپاش مگنترون میشوند - برای نظارت مداوم بر ضخامت لایه فیلم و نرخ رسوبگذاری به کار میرود.
بر اساس نرخ رسوبگذاری در لحظه لایه نازک، مانیتور EQ-TM106 یک سیگنال خروجی آنالوگ PWM (مدولاسیون پهنای پالس) تولید میکند. این دستگاه که به عنوان یک حسگر ضخامت اختصاصی عمل میکند، با کنترلکنندههای خارجی و منابع تغذیه تبخیر ادغام میشود تا کنترل نرخ حلقه بسته منبع تبخیر را امکانپذیر سازد و در نتیجه اندازهگیری دقیق ضخامت لایه رسوبگذاری شده را تسهیل کند.
دستگاه اندازهگیری ضخامت فیلم EQ-TM106 دارای طراحی جمعوجور است که فضای آزمایشگاهی را اشغال نمیکند؛ علاوه بر این، اصول عملکرد ساده و رابط کاربری آسان آن، آن را به ویژه برای استفاده در کاربردهای رسوبگذاری لایه نازک در مقیاس آزمایشگاهی مناسب میسازد.
مشخصات فنی محصول:
| نام محصول | مانیتور ضخامت فیلم EQ-TM106 | ||
| مدل محصول | EQ-TM106 | ||
| مشخصات فنی | ماژول مانیتورینگ EQ-TM106-1 ۱. منبع تغذیه: DC 5V (±۱۰%)، حداکثر جریان ۴۰۰ میلیآمپر ۲. وضوح فرکانس: ±۰.۰۳ هرتز ۳. وضوح ضخامت فیلم: ۰.۰۱۳۶ آنگستروم (آلومینیوم) ۴. دقت ضخامت لایه: ±۰.۵٪ (بسته به شرایط فرآیند، به ویژه موقعیت حسگر، تنش ماده، دما و چگالی) ۵. سرعت اندازهگیری: ۱۰۰ میلیثانیه تا ۱ ثانیه در هر اندازهگیری (قابل تنظیم) 6. محدوده اندازه گیری: 500000 Å (آلومینیوم) ۷. کریستال سنسور استاندارد: ۶ مگاهرتز ۸. رابط کامپیوتر: رابط سریال RS-232/485 (نرخهای باود قابل تنظیم: ۱۲۰۰، ۲۴۰۰، ۴۸۰۰، ۹۶۰۰، ۱۹۲۰۰، ۳۸۴۰۰؛ بیتهای داده: ۸؛ بیتهای توقف: ۱؛ بیت توازن: هیچکدام) ۹. خروجی آنالوگ: وضوح ۸ بیتی، خروجی PWM (مدولاسیون پهنای پالس) (خروجی کلکتور باز یا ۵ ولت داخلی) ۱۰. محیط عملیاتی: دما ۰ تا ۵۰ درجه سانتیگراد؛ رطوبت ۵٪ تا ۸۵٪ رطوبت نسبی (غیر متراکم) ۱۱. ابعاد: ۹۰ میلیمتر × ۵۰ میلیمتر × ۱۸ میلیمتر | ||
واحد نمایشگر EQ-TM106-2 ۱. توان ورودی: AC 220V ± ۱۰٪ ۲. توان خروجی: DC 5V 3A ۳. نمایشگر: ۱۲×۲ لامپهای دیجیتال و LED ۴. پورت ارتباطی: RS-485 (نرخهای باود قابل انتخاب: ۱۲۰۰، ۲۴۰۰، ۴۸۰۰، ۹۶۰۰، ۱۹۲۰۰، ۳۸۴۰۰؛ بیتهای داده: ۸؛ بیتهای توقف: ۱؛ برابری: هیچکدام) ۵. ابعاد: ۱۸۲ میلیمتر × ۶۵ میلیمتر × ۱۶۰ میلیمتر | |||
پراب EQ-TM106-3 ۱. فرکانس کریستال سازگار: ۶ مگاهرتز 2. اندازه کریستال سازگار: Ø14mm ۳. فلنج نصب: CF35 ۴. لولههای آب خنککننده: قطر ۳ میلیمتر؛ طولها: ۳۰۰ میلیمتر، ۵۰۰ میلیمتر، ۱۰۰۰ میلیمتر 5. فشار آب خنک کننده: <0.3MPa 6. لوله کرکره پنوماتیک: Ø3 میلیمتر 7. فشار هوای فشرده: <0.8MPa، >0.5MPa ۸. دمای پخت: <200°C (با جریان آب)؛ فلنج <100°C (بدون جریان آب) ۹. رابط برق: سوکت BNC | |||
| لوازم جانبی استاندارد | 1 | ماژول مانیتورینگ EQ-TM106-1 | ۱ واحد |
| 2 | واحد نمایشگر EQ-TM106-2 | ۱ واحد | |
| 3 | پراب EQ-TM106-3 | ۱ واحد | |
ویژگیهای کلیدی مانیتور رسوب لایه نازک:
۱. این دستگاه قابلیت اتصال به کامپیوتر را دارد.
۲. واحد نمایشگر دارای رابط کاربری تمیز، کاربرپسند و سازماندهیشدهای است که عملکرد راحت و سریعی را ارائه میدهد. این واحد، نمایش بصری لحظهای پارامترهای عملیاتی، از جمله ضخامت فیلم اندازهگیری شده، نرخ رسوب، فرکانس و درصد خروجی کنترل PWM را فراهم میکند.
۳. کاربران میتوانند از طریق نرمافزار یا واحد نمایشگر، تنظیمات مختلفی مانند زمان گیت، حالت خروجی، الگوریتم سرعت، پارامترهای مواد، محدوده خروجی و پارامترهای ارتباطی را پیکربندی کنند و دادههای اندازهگیری شده مربوطه را مستقیماً به یک فایل اکسل صادر کنند.
۴. این دستگاه دارای فضای کم، دقت اندازهگیری بالا، عملکرد ساده و راحتی کاربرپسند است.
چرا Shenyang Kejing را انتخاب کنید؟
هنگام سرمایهگذاری در تجهیزات علم مواد دقیق، به چیزی بیش از یک تأمینکننده نیاز دارید - شما به یک شریک فناوری قابل اعتماد نیاز دارید.
· تخصص اثبات شده:شنیانگ کجینگ، به عنوان یک تولیدکننده پیشرو در صنعت تجهیزات اتوماسیون، راهکارهای تحقیق و توسعه در سطح صنعتی ارائه میدهد که مورد اعتماد آزمایشگاههای سراسر جهان است.
· تجربه آزمایشگاه باز:ما فقط تجهیزات نمیفروشیم؛ ما قابلیتهای آنها را اثبات میکنیم. ما از طریق آزمایشگاه آزاد اختصاصی خود، تجربیات قبل از فروش محصول و آموزش فنی ارائه میدهیم.
· سفارشیسازی جامع:آیا به تغییرات خاصی نیاز دارید؟ ما همکاریهای آزمایشگاهی مشترک، مشارکتهای پروژهای و تولید تجهیزات سفارشی را برای برآورده کردن دقیق نیازهای علمی شما ارائه میدهیم.
· پشتیبانی جامع:از آزمایش پردازش مواد گرفته تا پشتیبانی تجاریسازی اختراع، تیم مهندسی متعهد ما پشت هر محصولی که میسازیم ایستاده است.
