-
سیستم رسوب شیمیایی بخار با خلاء بالا (PECVD)
PECVD خازنی صفحه موازی، فناوری است که از پلاسما برای فعال کردن گازهای واکنشی برای ترویج واکنش های شیمیایی در سطح بستر یا فضای نزدیک به سطح برای تشکیل فیلم های حالت جامد استفاده می کند. اصل اساسی فناوری رسوب بخار شیمیایی پلاسما این است که تحت تأثیر میدان الکتریکی با فرکانس بالا یا دی سی، گاز منبع یونیزه می شود تا پلاسما را تشکیل دهد و پلاسما با دمای پایین به عنوان منبع انرژی استفاده می شود، مقدار مناسبی از گاز واکنش پذیر است. معرفی می شود و تخلیه پلاسما برای فعال کردن گاز راکتیو استفاده می شود و رسوب بخار شیمیایی را تشکیل می دهد.
Send Email جزئیات
