ظهور فناوری پولیش مکانیکی شیمیایی
با توسعه سریع صنعت نیمه هادی، اندازه دستگاه های الکترونیکی همچنان در حال کوچک شدن است و الزامات برای صافی سطح ویفر سخت تر می شود. به خصوص در فرآیند تولید مدار مجتمع امروزی، سطح ویفر باید در سطح نانومتری صاف شود و فناوری سنتی مسطح کردن محلی دیگر نمی تواند این تقاضا را برآورده کند. با این حال، UMIPOL-1203 مادستگاه پولیش مکانیکی شیمیاییدر حال حاضر می تواند به یکسان سازی جهانی دست یابد.
فناوری پرداخت مکانیکی شیمیایی از دهه 1990 پدیدار شد و به بخشی ضروری از فرآیند تولید مدارهای مجتمع در مقیاس بسیار بزرگ (VLSI) تبدیل شد. یونیپل-1203 در مقایسه با فرآیندهای مسطح سازی محلی سنتی مانند روش جریان حرارتی، روش شیشه ریسی و رسوب انتخابیدستگاه پولیش مکانیکی شیمیایینه تنها می تواند به سطح بندی جامع دست یابد، بلکه دارای مزایای فرآیند ساده، راندمان بالا و هزینه کم است.دستگاه پولیش مکانیکی شیمیاییبه طور گسترده ای در پردازش گرافیکی ویفر سیلیکونی استفاده می شود.
شنیانگ کجینگدستگاه پولیش مکانیکی شیمیایی تمام اتوماتیک می‌تواند نه تنها صفحه‌بندی با دقت بالا ویفرهای سیلیکونی را فراهم کند، بلکه به طور گسترده در سنگ زنی و پرداخت دقیق مواد سرامیکی و فلزی استفاده می‌شود. مواد ضد خوردگی مورد استفاده دردستگاه پولیش مکانیکی شیمیایی تمام اتوماتیکمی تواند حتی زمانی که سیال سنگ زنی خورنده است به طور موثر عمل کند و دوام و سازگاری تجهیزات را تا حد زیادی بهبود بخشد.
ویژگی های اصلی و مزایای فنی دستگاه سنگ زنی و پرداخت مکانیکی شیمیایی:
1. صاف کردن با دقت بالا:ماشین سنگ زنی و پرداخت مکانیکی شیمیاییمجهز به دیسک پولیش فولاد ضد زنگ فوق العاده مسطح و محور چرخش فوق العاده دقیق، دستگاه پولیش مکانیکی شیمیایی خودکار می تواند صافی سطح را در سطح نانومتر کنترل کند.
2. طراحی خودکار:ماشین سنگ زنی و پرداخت مکانیکی شیمیاییدارای یک صفحه نمایش لمسی کنترل تمام اتوماتیک است که می تواند سرعت اسپیندل، سرعت بازوی چرخشی و زمان سنگ زنی و پرداخت را تنظیم کند، از عملیات چند کاره پشتیبانی کند و کارایی پردازش را بیشتر بهبود بخشد.
3. طراحی مقاوم در برابر خوردگی: بخش سنگ زنی ازدستگاه پولیش مکانیکی شیمیایی خودکاراز مواد مقاوم در برابر خوردگی شیمیایی ساخته شده است که می تواند با خوردگی مایعات صیقل دهنده شیمیایی مختلف مقابله کند و با طیف گسترده ای از نیازهای سنگ زنی مواد سازگار شود.
دستگاه پولیش مکانیکی شیمیایی خودکارروش های پردازش مسطح کارآمد و دقیق را برای شرکت های صنعت نیمه هادی، تولید دقیق و علم مواد ارائه می دهد. علاوه بر این، محصولات ما به ژاپن، روسیه، اروپا و سایر کشورها و مناطق صادر شده است و مورد استقبال مشتریان قرار گرفته است. به شرکت ما خوش آمدید یا نیازهای خود را برای ما ارسال کنید، ما به شریک مورد اعتماد شما تبدیل خواهیم شد!